A polishing device for a substrate includes: a base, the base supporting polishing part, a polishing pad for placing the substrate, a polishing part, including a polishing plate in contact with the substrate, the polishing plate on the base and above the polishing pad, a driving part, and the driving part. Fixed on the base, the driving part drives the polishing part to move, and the substrate of any size can be polished by the linear reciprocating motion of the polishing plate. The polishing device of the substrate adopts the form of linear reciprocating motion to polish the ITO surface, which can avoid the transient wear caused by the high-speed rotating polishing plate and the PIN HOLE phenomenon.
【技术实现步骤摘要】
一种基板的抛光装置
本专利技术涉及基板表面处理
,具体涉及一种基板的抛光装置。
技术介绍
OLED显示技术具有自发光的特性,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有电流通过时,这些有机材料就会发光,OLED显示屏幕可视角度大并且节省电能,近年来该显示设备已经得到了越来越多的广泛运用。其中OLED的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO),与电力正极相连,再加上另一个金属阴极,包成如三明治的结构。其中ITO已广泛应用在商业化的显示器面板制造,其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。一般而言,利用射频溅镀法(RFsputtering)所制造的ITO,易受工艺控制因素不良而导致表面不平整,进而产生表面的尖端物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的过程亦会产生表面突起层。这些不平整层的细粒之间所形成的路径会提供空穴直接射向阴极的机会,而这些错综复杂的路径会使漏电流增加,因此对ITO表面平整度的控制尤为重要。OLED发光器件对其透明阳极的表面ITO表面的粗糙度有较高的要求,目前业内普遍会对该ITO材料表面进行抛光再处理,以提高粗糙度改善器件良率。现有技术中普遍采用的是类似于抛光玻璃基板的方式(旋转抛光)对阳极表面进行处理。例如韩国专利文献KR1020060029332A中公开了一种用于OLED的ITO薄膜的抛光装置,其中该OLED的ITO薄膜的抛光装置被用于以提高ITO表面的抛光精度,其包括自旋转控制器、加压控制器、和操作面板。该OLED的ITO薄膜的抛光装置主要包括下压板、抛光垫、具有抛光固定器的台板、气缸、旋转驱动单元,其中旋转驱动单元用于旋 ...
【技术保护点】
1.一种基板的抛光装置,其包括:基座,所述基座支承抛光部,所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫;抛光部,其包括与所述基板接触的抛光板,所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方;驱动部,所述驱动部固定在所述基座上,所述驱动部驱动所述抛光部运动;其特征在于:通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。
【技术特征摘要】
1.一种基板的抛光装置,其包括:基座,所述基座支承抛光部,所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫;抛光部,其包括与所述基板接触的抛光板,所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方;驱动部,所述驱动部固定在所述基座上,所述驱动部驱动所述抛光部运动;其特征在于:通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。2.根据权利要求1所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光垫为方形垫,所述抛光板平行于所述抛光垫的一条边设置,且其长度与所述抛光垫的所述边相符,所述抛光板沿与所述边垂直的另一条边进行直线往复运动。3.根据权利要求2所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述抛光装置还包括传动部和引导装置,所述传动部连接所述驱动部与所述抛光部,所述抛光部通过连接件分别与所述传动部和所述引导装置连接。4.根据权利要求3所述的基板的抛光装置,其特征在于:所述传动部包括水平带传动装置,所述水平带传动装置包括位于所述抛光垫前后两端的水平带轮和沿所述抛光板运动方向设置的水平传动带,所述连接件的上表面与所述水平传动带固定连接。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:张民井,洪耀,毛成飞,曹瑞丰,郭丰,高裕弟,孙剑,
申请(专利权)人:枣庄维信诺电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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