一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件制造技术

本发明专利技术是一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件，属于光纤传感器技术领域。结构包括光纤、光纤端面、法布里‑珀罗腔、固支端、H型微悬桥、镉金属膜、中间反射体。H型微悬桥由H型微悬桥与中间反射体组成，H型微悬桥位于光纤端面，由四个位于光纤端面边缘的固支端连接H型微悬桥与光纤端面，H型微悬桥与光纤端面构成法布里‑珀罗腔，形成光纤一体化结构，H型微悬桥采用聚焦离子束工艺加工，H型微悬桥外表面镀有镉金属膜，镀膜工艺为磁控溅射法。H型微悬桥保证了中间反射体与光纤端面的平行，并且减少了因扭转而破坏法布里‑珀罗腔平行度的可能，中间反射体增加了反射面积，提高了检测精度。

A H type micro suspension bridge temperature detector with bimetallic coating

The invention relates to a H-type micro-suspension bridge temperature detector device with bimetal coating, which belongs to the technical field of optical fiber sensor. The structure includes optical fiber, optical fiber end face, Fabry-Perot cavity, fixed end, H-type micro-suspension bridge, cadmium metal film and intermediate reflector. H-type micro-suspension bridge is composed of H-type micro-suspension bridge and intermediate reflector. H-type micro-suspension bridge is located at the end of optical fiber. H-type micro-suspension bridge and optical fiber end face are connected by four fixed ends located at the edge of optical fiber end face. H-type micro-suspension bridge and optical fiber end face form Fabry-Perot cavity, forming an integrated optical fiber structure. H-type micro-suspension bridge uses focused ion beam technology. The surface of H type micro suspension bridge is plated with cadmium metal film, and the coating process is magnetron sputtering. The H-type micro-suspension bridge ensures the parallelism of the intermediate reflector and the end face of the optical fiber, and reduces the possibility of destroying the parallelism of the Fabry-Perot cavity due to torsion. The intermediate reflector increases the reflection area and improves the detection accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件
本专利技术属于光纤传感
，涉及一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件。
技术介绍
光纤温度检测器件是目前最常用的温度检测器件之一。光纤传感器件具有很多优点，其主要优点为性能优、对象广、可兼容、易成网、成本低的优点。并且光纤是耐腐蚀的传输介质。其灵敏度高，重量轻，体积小，外形可变，可绕等优点，有利于航空、航天以及狭窄空间的应用。光纤微悬桥传感器件结合了光纤检测器和微悬桥的优点，如微型探头、易实现多点式分布检测、远距离检测、抗干扰、高精度、低功耗特性和全光传输等。现有的利用法布里-珀罗腔的光纤温度检测器件所采用的方式是在光纤端面上制造单端悬臂梁，在悬臂梁上镀上一层膨胀系数较大的金属膜，在温度变化时，金属膜发生较大程度的膨胀，而悬臂梁膨胀程度小，金属膜与悬臂梁产生双膜热挠曲效应使得悬臂梁发生热挠曲，从而令法布里-珀罗腔的腔长发生改变，由激光光源发出的光信号在法布里-珀罗腔中反射，受法布里-珀罗腔影响，检测反射光信号即可检测温度。这种温度传感器的缺点是悬臂梁只有一端固支，当发生挠曲时悬臂梁无法与光纤端面保持平行，并且悬臂梁容易出现扭转而破本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件，包括：光纤、光纤端面、法布里—珀罗腔、固支端、H型微悬桥、镉金属膜、中间反射体；所述的H型微悬桥位于光纤端面上，通过四个光纤端面边缘的固支端与光纤端面连接；所述的中间反射体位于H型微悬桥中间，与光纤端面形成法布里—珀罗腔；所述的H型微悬桥采用聚焦离子束工艺加工；所述的H型微悬桥外表面镀有镉金属膜，镀膜工艺为磁控溅射法。

【技术特征摘要】
1.一种具有双金属镀膜的H型微悬桥温度检测器件，包括：光纤、光纤端面、法布里—珀罗腔、固支端、H型微悬桥、镉金属膜、中间反射体；所述的H型微悬桥位于光纤端面上，通过四个光纤端面边缘的固支端与光纤端面连接；所述的中间反射体位于H型微悬桥中间，与光纤端面形成法布里—珀罗腔；所述的H型微悬桥采用聚焦离子束工艺加工；所述的H型微悬桥外表面镀有镉金属膜，镀膜工艺为磁控溅射法。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘月明，徐程，姜辉，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33