The utility model discloses a mask electrochemical machining device for magnetic adsorption cathode, which belongs to the field of electrochemical machining. The device comprises a permanent magnet block, a workpiece anode, a mask, a magnetic conducting foam metal, a hanging rod, a periodically reversed translational driving unit, a power supply, an electrolyzer, an electrolyte and an electrolyte circulating filtering unit. Based on the device, the permanent magnet block, the workpiece anode, the mask and the magnetic conductive foam metal are successively closely superimposed to form the machining assembly and placed in the electrolytic cell; the workpiece anode and the magnetic conductive foam metal are respectively connected with the positive and negative poles of the electrochemical machining power supply. In the process of machining, the electrolyte enters the machining area through magnetic conductive foam metal, and the electrochemical reaction takes place inside, and the electrolyte product is discharged from the inner micro-hole. The device has good effect of pressure pasting and liquid phase mass transfer, and the flow direction of electrolyte is varied, so that the machining gap is small, the flow field is uniform, and the machining accuracy is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种用于磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置
本技术属于电解加工领域,尤其涉及一种用于磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置。
技术介绍
掩膜电解加工是一种在工件阳极附着有含有大量镂空图形结构的电绝缘屏蔽膜(即掩膜)的特殊形式的电解加工方法。它可单面加工也可双面同时加工。加工时,工件阳极未被掩膜图形屏蔽的区域被选择性的溶解去除,从而一次性形成数量众多且形状各异的群坑或群孔结构。因此,掩膜电解加工在金属微结构阵列制造方面颇具工艺优势。现有的掩膜电解加工有电解转印加工、活动掩膜电解加工、极间充填多孔物掩膜电解加工和泡沫阴极掩膜电解加工等。活动掩膜电解加工掩膜可复用、应用灵活等特点,近年来颇受重视。然而,活动掩膜电解加工目前大都需要借助于机械力来压紧活动掩膜,因此都必需特定的夹持装置,而夹持装置的使用不可避免地会对电解液进出极间间隙、电解产物的排出和均匀流场的构建带来一定负面影响,且增加了工艺成本和操作难度。此外,现有的掩膜电解加工技术极间电解液的供给(主要有正流式冲液、反流式冲液和侧流式冲液等供液方式)基本上都是通过泵送方式实现的。这种供液方式在极间所激发的液流路径基本固定,且具有明显的方向性和流速梯度特征。这些常常也是掩膜电解加工结构尺寸不均匀的主要原因之一。为此,有必要开发新的掩膜电解加工方法,以进一步提高掩膜电解加工精度和可实现性。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种无机械装置压贴活动掩膜、无需泵送供液的磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置。为达到上述目的,本技术的技术方案是:一种用于磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置,包括电解液、电解液循环过滤单元、电解槽、电源和按先后依次顺序 ...
【技术保护点】
1.一种用于磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置,包括电解液(10)、电解液循环过滤单元(1)、电解槽(2)、电源(11)和按先后依次顺序紧密叠加在一起的工件阳极(6)、掩膜(8)及导磁泡沫金属(9),其特征在于:它还包括周期换向平动驱动单元(7),外表面涂覆有耐酸碱腐蚀材料(3)的永磁块(5)和挂杆(4);所述的永磁块(5)固定于挂杆(4)的下端;所述的挂杆(4)与周期换向平动驱动单元(7)铰接且可作周期顺时针或逆时针换向平动;所述的永磁块(5)、工件阳极(6)、掩膜(8)和导磁泡沫金属(9)组合在一起并始终完全浸没于电解液(10)中;所述的工件阳极(6)固定于永磁块(5)上。
【技术特征摘要】
1.一种用于磁力吸附阴极的掩膜电解加工装置,包括电解液(10)、电解液循环过滤单元(1)、电解槽(2)、电源(11)和按先后依次顺序紧密叠加在一起的工件阳极(6)、掩膜(8)及导磁泡沫金属(9),其特征在于:它还包括周期换向平动驱动单元(7),外表面涂覆有耐酸碱腐蚀材料(3)的永磁块(5)和挂杆(4);所述的永磁块(5)固定于挂杆(4)的下端;所述的挂杆(4)与周期换向平动驱动单元(7)铰接且可作周期顺时针或逆时针换向平动;所述的永磁块(5)、工件阳极(6)、掩膜(8)和导磁泡沫金属(9)组合在一起并始终完全浸没于电解液(10)中;所述的工件阳极(6)固定于永磁块(5)上。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:张新民,蔡锦涛,明平美,赵晨昊,闫亮,秦歌,申继文,杨文娟,李欣潮,
申请(专利权)人:河南理工大学,
类型:新型
国别省市:河南,41
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