滤波器及包括滤波器的前端模块制造技术

本发明专利技术提供一种滤波器及包括滤波器的前端模块，所述滤波器可包括：多个体声波谐振器，包括由顺序地堆叠在基板上的第一电极、压电层和第二电极形成的一个或更多个串联谐振器和一个或更多个分路谐振器；盖，所述多个体声波谐振器容纳在所述盖中；及一个或更多个开关，设置在所述盖上。

Filter and front end module including filter

The present invention provides a filter and a front-end module including a filter, which may include: a plurality of body acoustic resonators, including one or more series resonators and one or more shunt resonators formed by a first electrode, a piezoelectric layer and a second electrode sequentially stacked on a substrate; The body acoustic wave resonator is accommodated in the cover, and one or more switches are arranged on the cover.

【技术实现步骤摘要】
滤波器及包括滤波器的前端模块本申请要求于2017年2月3日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0015813号和于2017年5月26日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0065523号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容全部通过引用包含于此。
以下描述涉及一种滤波器及包括滤波器的前端模块。
技术介绍
根据移动通信装置、化学和生物装置等的快速发展，对这样的装置中使用的小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件、声学谐振质量传感器等的需求也已经增加。作为实现这种小且轻的滤光器、振荡器、谐振元件、声学谐振质量传感器等的一个示例，已经使用了薄膜体声波谐振器(FBAR)。这样的薄膜体声波谐振器可以以低成本大批量生产，并且可被实现为具有超小尺寸。此外，FBAR可具有高品质因数(Q)值(滤波器中实现的主要特性)，甚至可在微波频带中使用，并且可允许使用个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的特定频带。近来，由于无线终端已经实现为具有支持多个频带内的通信的能力，因此在无线终端中已经使用控制多个频带的多个滤波器。然而，当控制多个频带的滤波器的数量根据频带的数量的增加而增加时，信号处理过程可能会复杂，同时可能会增加滤波器模块的制造成本和尺寸。
技术实现思路
在一个总体方面，一种滤波器包括：多个体声波谐振器，所述多个体声波谐振器包括由顺序地设置在基板上的第一电极、压电层和第二电极形成的一个或更多个串联谐振器和一个或更多个分路谐振器；盖，容纳所述多个体声波谐振器；及一个或更多个开关，设置在所述盖上。所述串联谐振器和所述分路谐振器中的一个谐振器可连接到所述开关。连接到所述开关的所述谐振器可根据所述开关的开关操作来选择性地操作。所述滤波器的频带可根据所述开关的所述开关操作而改变。所述频带的上限频率可根据连接到所述开关的所述串联谐振器的选择性操作而改变。所述频带的下限频率可根据连接到所述开关的所述分路谐振器的选择性操作而改变。所述开关可设置在所述盖的上表面上。所述盖可包括：盖连接垫，沿着所述盖的所述上表面延伸，并且连接到所述开关；及连接电极，设置为在厚度方向上穿透所述盖的所述上表面，以将所述第一电极和所述第二电极中的一者或两者与所述盖连接垫彼此连接。所述开关的开关操作可根据通过所述盖连接垫施加到所述开关的信号来控制。在一个总体方面，一种前端模块包括：天线，发送和接收射频信号；滤波器模块，包括多个滤波器，对通过所述天线发送和接收的所述射频信号中的特定频带的分量进行滤波；陷波滤波器，连接到所述多个滤波器中的一个滤波器；及开关，设置在所述陷波滤波器与所连接的所述一个滤波器之间，其中，所述开关设置在所述多个滤波器中的所述一个滤波器的盖上。所述陷波滤波器可通过所述开关选择性地操作。所述一个滤波器的频带可根据所述陷波滤波器的选择性操作而改变。所述陷波滤波器可串联连接到所述一个滤波器，所述开关可设置在所述陷波滤波器与所述一个滤波器之间，并且所述一个滤波器的上限频率可根据所述开关的开关操作而改变。所述陷波滤波器可连接在所述一个滤波器的信号路径与地之间，所述开关可设置在所述陷波滤波器与所述信号路径之间，所述一个滤波器的下限频率可根据所述开关的开关操作而改变。附图说明从下面结合附图的详细描述中，本公开的以上和其他方面、特征及优点将被更清楚地理解，其中：图1A是被提供以示出根据实施例的通信频带的发送频带和接收频带的频率的表格；图1B是被提供以示出根据实施例的滤波器模块以及滤波器模块所支持的通信频带的示图；图2是被提供以示出根据实施例的滤波器模块所支持的通信频带的示图；图3是被提供以示出根据实施例的滤波器模块的示图；图4是被提供以示出根据实施例的滤波器模块的模式的示图；图5是被提供以示出根据实施例的滤波器模块的示图；图6是被提供以示出根据实施例的滤波器模块的示图；图7是被提供以示出根据实施例的滤波器模块的示图；图8A和图8B是被提供以示出根据图3的实施例的改变上限频率的方式的示图；图9A至图9C是被提供以示出根据图3的实施例的改变上限频率的方式的示图；图10A和图10B是被提供以示出根据图3的实施例的改变下限频率的方式的示图；图11A和图11B是被提供以示出根据图3的实施例的改变下限频率的方式的示图；图12A和图12B是被提供以示出根据图3的实施例的改变下限频率的方式的示图；图13是被提供以示出将根据实施例的滤波器模块与开关彼此连接的方式的示意图；及图14是示出根据实施例的滤波器模块的截面图。具体实施方式在下文中，将参照附图详细描述本公开的实施例。提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。这里所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于这里所描述的示例。更确切地说，已经提供了这里所描述的示例仅用于示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现这里描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些方式。在整个说明书中，当元件(诸如，层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可不存在介于它们之间的其他元件。如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。单独使用的术语“或”也不一定排除两者的可能性。图1A是被提供以示出根据实施例的通信频带的发送频带和接收频带的频率的表格。图1B是被提供以示出根据实施例的滤波器模块以及滤波器模块所支持的通信频带的示图。图1A所示的通信频带可以是长期演进(LTE)通信频带，通信频带B1至B25、B65和B66可包括作为上行链路频带的发送频带Tx和作为下行链路频带的接收频带Rx。参照图1B，滤波器模块可包括可控制滤波器模块所支持的通信频带的发送频带和接收频带的多个滤波器。当滤波器模块支持通信频带B1、B2、B3、B4和B25时，多个滤波器可控制通信频带B1_Tx、B1_Rx、B2_Tx、B2_Rx、B3_Tx、B3_Rx、B4_Tx、B4_Rx、B25_Tx和B25_Rx，以发送和接收射频信号。当多个滤波器包括与作为所需发送频带和接收频带的数量的小于10的数量对应的六个滤波器F1至F6时，六个滤波器F1至F6中的一些可控制带宽彼此部分地重叠的两个频带。参照图1B，滤波器F1可控制通信频带B3_Tx和B4_Tx，滤波器F2可控制通信频带B3_Rx，滤波器F3可控制通信频带B1_Tx，滤波器F4可控制通信频带B1_Rx和B4_Rx。此外，滤波器F5可控制通信频带B2_Tx和B25_Tx，滤波器F6可控制通信频带B2_Rx和B25_Rx本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤波器，包括：多个体声波谐振器，包括由顺序地设置在基板上的第一电极、压电层和第二电极形成的一个或更多个串联谐振器和一个或更多个分路谐振器；盖，所述多个体声波谐振器容纳在所述盖中；及一个或更多个开关，设置在所述盖上。

【技术特征摘要】
2017.02.03 KR 10-2017-0015813;2017.05.26 KR 10-2011.一种滤波器，包括：多个体声波谐振器，包括由顺序地设置在基板上的第一电极、压电层和第二电极形成的一个或更多个串联谐振器和一个或更多个分路谐振器；盖，所述多个体声波谐振器容纳在所述盖中；及一个或更多个开关，设置在所述盖上。2.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述一个或更多个串联谐振器和所述一个或更多个分路谐振器中的一个谐振器连接到所述开关。3.根据权利要求2所述的滤波器，其中，连接到所述开关的所述一个谐振器根据所述开关的开关操作来选择性地操作。4.根据权利要求3所述的滤波器，其中，所述滤波器的频带根据所述开关的所述开关操作而改变。5.根据权利要求4所述的滤波器，其中，所述频带的上限频率根据所述一个或更多个串联谐振器的连接到所述开关的串联谐振器的选择性操作而改变。6.根据权利要求4所述的滤波器，其中，所述频带的下限频率根据连接到所述开关的所述一个或更多个分路谐振器的选择性操作而改变。7.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述开关通过互补金属氧化物半导体工艺设置在所述盖的上表面上。8.根据权利要求7所述的滤波器，其中，所述盖包括：盖连接垫，沿着所述盖的所述上表面延伸，并且连接到所述开关；及连接电极，设置为在厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：成重宇，金性泰，郑原圭，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR