The invention discloses a universal scanning electron microscope sample stand, which comprises a top surface which is arranged for loading a sample table, at least one sample table hole on which the sample table hole is arranged for placing a cylindrical sample table, and at least one cylindrical sample table. A prop has an outer thread that fits with a screw hole of a screw hole type sample table. The sample pedestal of the invention can match most of the scanning electron microscope sample pedestals on the market. The sample pedestal of the invention greatly improves the observation efficiency and significantly reduces the observation cost of the scanning electron microscope. Moreover, the universal scanning electron microscope sample pedestal of the invention has compact layout and fully and reasonably utilizes the limited space of the sample pedestal.
【技术实现步骤摘要】
一种通用型扫描电子显微镜样品台座
本专利技术涉及电子显微镜领域,尤其涉及一种通用型电子显微镜样品台座。
技术介绍
扫描电镜(SEM),全称扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope),是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维,扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。它由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性观察技术,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。因此扫描电镜在当今科学研究领域具有十分重要的地位,随着研发投入的逐步增加,扫描电镜的使用也越来越普遍。生物类扫描电镜观察样本制备的过程中,需要将样本固定在样品台上,然后再将样品台安装到样品台座上,置入样品室进行观察。但是各扫描电镜厂家出品的扫描电镜型号各异,导致部件无法通用。比如,同一厂家的扫描电镜所配备的样品台和样品台座是对应的,而不同厂家的在形状和规格上差异巨大,无法相互配合使用。在进行多组样品的观测时,如果多组样品分别置于不同型号的样品台上,则需要将样品逐一放入样品室进行观察,观察效率将大大降低。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷,本专利技术所要解决的技术问题是提供一种通用型扫描电子显微镜样品台座和包括该电子显微镜样品台座的扫描电子显微镜。为实现上述目的,本专利技术提供了一 ...
【技术保护点】
1.一种通用型扫描电子显微镜样品台座,其特征在于,所述样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面,在所述顶面上设有至少一个样品台孔,所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台;和,至少一个支柱,所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹。
【技术特征摘要】
1.一种通用型扫描电子显微镜样品台座,其特征在于,所述样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面,在所述顶面上设有至少一个样品台孔,所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台;和,至少一个支柱,所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹。2.如权利要求1所述的样品台座,其特征在于,所述样品台座还包括至少一个和T型样品台上的杆部相配合的盲孔。3.如权利要求1所述的样品台座,其特征在于,所述样品台座还包括样品台夹持机构,所述夹持机构被设置用于夹持不同直径的圆柱型样品台,通过所述样品台夹持机构可调节所述样品台孔的孔径,进而实现对不同直径的圆柱型样品台的夹持固定。4.如权利要求3所述的样品台座,其特征在于,所述样品台夹持机构包括一夹持臂、一调节螺栓、和一弹性部件;所述样品台孔内壁的靠外一侧设有容纳所述夹持臂的凹槽,所述样品台座侧壁上设有与所述调节螺栓相配合...
【专利技术属性】
技术研发人员:倪兵,王奕文,巩志伟,陈丽,
申请(专利权)人:华东师范大学,
类型:发明
国别省市:上海,31
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