一种传感器探头及气体检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供的一种传感器探头及气体检测装置，属于光电气体传感器技术领域。该传感器探头通过将所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器与所述第二反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通，所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通，从而形成一个完整的测试光路。不但在减小了传感器探头的体积的同时增加了光程，而且极大的提高了光路的稳定性和可靠行，同时也降低了生产加工成本。

A sensor probe and gas detection device

The utility model provides a sensor probe and a gas detection device, belonging to the technical field of photoelectric gas sensors. The sensor probe is connected with the first mirror by connecting the first photodetector through the first through hole, the second photodetector through the second through hole, the second photodetector through the second through hole, the second photodetector through the second mirror, and the second reflector through the second through hole. The first mirror is connected, the second mirror is connected with the third mirror through the third through hole, and the third optical detector is connected with the third mirror through the fourth through hole, thereby forming a complete test optical path. It not only reduces the volume of the probe, but also increases the optical path, and greatly improves the stability and reliability of the optical path, but also reduces the production and processing costs.

【技术实现步骤摘要】
一种传感器探头及气体检测装置
本技术涉及光电气体传感器
，具体而言，涉及一种传感器探头及气体检测装置。
技术介绍
近年，随着人们对环境和生产安全的要求日益提高，众多气体检测技术不断出现，其中基于红外激光光谱吸收原理来测量气体成分和浓度的光电技术具有测量浓度范围大，测量精度高，不需要校正时间长等优良的特性，使激光光谱气体传感器能够广泛的应用到不同的生产过程和安全防范领域。光学光谱吸收气体传感器包括红外光谱吸收型和红外激光光谱吸收型。由于不同气体在红外区具有其不同的特征光谱吸收峰，当被测气体通过红外光或红外激光，其光强度在特征光谱吸收峰出将由被测气体调制，光强度调制的幅度和被测气体的浓度成正比，因此通过检测和分析红外吸收峰出的光强变化，可以对被侧气体的浓度检测。相对而言，光学光谱吸收气体传感器具较有高的抗气体交叉干扰能力，特别是激光光谱气体传感器，具有良好的抗气体交叉干扰能力。结合现代的电子处理技术，这些传感器能够实现对被测气体的连续测试、自动运行的功能；具有自动校正，测量精度高，反应时间快的特性。这类传感器可以用于很多工业生产过程，如在石化、采矿、半导体工业等工矿生产检测和报警，例如硫化氢、氧气、一氧化碳、二氧化碳、氯气、甲烷和可燃的碳氢化合物等是主要检测气体。而检测磷、砷和硅烷等物品则时半导体工业中的主要应用。这些传感器也可以用于公共环境和家庭环境的安全检测和报警。家庭中主要用于检测煤气，天燃气和液化气的泄漏和安全提示报警。一般气体传感器的气室大多采用激光源和探测器之间的空间作为气室。在传感器的体积受到限制的情况下，为了提高测量光程长度，测量气室采用镜面或反射体将光路在气室里多次反射的方法实现。因为传感器的光学结构复杂，每个元件的相对位置的变化都会影响测量精度。同时，由于采用的元件多，增加了生产工艺复杂性和降低成品率，不利于大规模生产。因此，如何解决上述问题是本
亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种传感器探头及气体检测装置，其能够克服上述技术问题。本技术的实施例是这样实现的：一种传感器探头，其包括光路模块、第一光探测器、第二光探测器、第三光探测器、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述光路模块内开设有第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔，所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器与所述第二反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通，所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通，所述第一光探测器用于接收平行激光源发出的探测平行光束，并经所述第一通孔到达所述第一反射镜，然后经过所述第一反射镜的反射，将所述探测平行光束通过所述第二通孔反射至所述第二反射镜，再由所述第二反射镜将所述探测平行光束通过所述第三通孔反射到所述第三反射镜，所述第三反射镜将所述探测平行光束通过所述第四通孔反射到所述第三光探测器，以及再由所述第二反射镜将所述探测平行光束部分反射到所述第二光探测器。在本技术较佳的实施例中，上述第二反射镜为半透半反镜。在本技术较佳的实施例中，上述第二反射镜的反射率为80％。在本技术较佳的实施例中，上述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔和所述第四通孔共同构成气体吸收池。在本技术较佳的实施例中，上述气体吸收池中沿通孔方向开设有多个通气孔。在本技术较佳的实施例中，上述每个所述通气孔上均设有金属滤网。在本技术较佳的实施例中，上述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔和所述第四通孔的内壁腔均涂有黑色吸光涂层。在本技术较佳的实施例中，上述多个通气孔中的任意一个所述通气孔内设有一个用于测量所述气体吸收池内温度的温度传感器和一个用于测量所述气体吸收池内压力的压力传感器。在本技术较佳的实施例中，上述第二光探测器为一个自带参考气室的光电探测器，所述参考气室充有高浓度的甲烷气体。一种气体检测装置，包括如上述任意一项实施例所述的传感器探头。本技术实施例的有益效果是：本技术实施例提供了一种传感器探头及气体检测装置，通过将所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器与所述第二反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通，所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通，从而形成一个完整的测试光路。不但在减小了传感器探头的体积的同时增加了光程，而且极大的提高了光路的稳定性和可靠行，同时也降低了生产加工成本。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术实施例而了解。本技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术第一实施例提供的一种传感器探头的结构示意图；图2是本技术第一实施例提供的另一种传感器探头的结构示意图；图3是本技术第二实施例提供的一种气体检测装置的结构示意图。图标：100－传感器探头；110－光路模块；120－第一光探测器；130－第二光探测器；140－第三光探测器；150－第一反射镜；160－第二反射镜；170－第三反射镜；111－第一通孔；112－第二通孔；113－第三通孔；114－第四通孔；115－通气孔；117－温度传感器；118－压力传感器；200－气体检测装置；210－本体。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器探头，其特征在于，包括：光路模块、第一光探测器、第二光探测器、第三光探测器、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述光路模块内开设有第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔，所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器与所述第二反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通，所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通，所述第一光探测器用于接收平行激光源发出的探测平行光束，并经所述第一通孔到达所述第一反射镜，然后经过所述第一反射镜的反射，将所述探测平行光束通过所述第二通孔反射至所述第二反射镜，再由所述第二反射镜将所述探测平行光束通过所述第三通孔反射到所述第三反射镜，所述第三反射镜将所述探测平行光束通过所述第四通孔反射到所述第三光探测器，以及再由所述第二反射镜将所述探测平行光束部分反射到所述第二光探测器。

【技术特征摘要】
1.一种传感器探头，其特征在于，包括：光路模块、第一光探测器、第二光探测器、第三光探测器、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述光路模块内开设有第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔，所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二光探测器与所述第二反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通，所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通，所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通，所述第一光探测器用于接收平行激光源发出的探测平行光束，并经所述第一通孔到达所述第一反射镜，然后经过所述第一反射镜的反射，将所述探测平行光束通过所述第二通孔反射至所述第二反射镜，再由所述第二反射镜将所述探测平行光束通过所述第三通孔反射到所述第三反射镜，所述第三反射镜将所述探测平行光束通过所述第四通孔反射到所述第三光探测器，以及再由所述第二反射镜将所述探测平行光束部分反射到所述第二光探测器。2.根据权利要求1所述的传感器探头，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘统玉，宁雅农，金光贤，王寅，李艳芳，胡杰，
申请(专利权)人：山东微感光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37