The invention discloses a preparation method of Lorentz transmission electron microscope sample for reducing Fresnel diffraction fringe. It consists of cutting the sample into 30_150 nm thick transmissive sheets by using a focused ion beam and cleaning the amorphous layer on the surface of the transmissive sheet. The steps are as follows: using evaporation plating method to evaporate a 500_1000 nm thick metal layer on the surface of the sample to be measured in contact with a vacuum, or using a focused ion beam to connect the sample to a vacuum. The surface of the contact is deposited with a thickness of 500 1000nm of protective layer containing organic matter to produce the desired product. The Fresnel diffraction fringes appearing at the interface between the target product and vacuum are very weak when it is characterized by Lorentz transmission electron microscopy (TEM). Therefore, it is very easy to be used to characterize the samples of various sizes accurately by TEM, and has a broad application prospect in the field of characterizing magnetic information of materials.
【技术实现步骤摘要】
减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法
本专利技术涉及一种透射电镜样品的制备方法,尤其是一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法。
技术介绍
洛伦兹透射电镜技术是一种可以对磁结构进行直接观测,且具有较高分辨率的技术,是目前表征材料磁信息的重要手段。洛伦兹电镜技术的原理如下:当电子束穿过磁性样品时会受到样品内磁畴的散射,在欠焦或过焦模式下会表现出明暗变化的衬度,该衬度也反映了材料内部磁化的分布。目前,人们为了对纳米结构的样品进行洛伦兹透射电镜观测,常需于观测前对其进行精细加工,如题为“ObservationoftheMagneticSkyrmionLatticeinaMnSiNanowirebyLorentzTEM”,NANOLETTER,2013,13(8):3755–3759(“洛伦兹透射电镜技术对MnSi纳米线中斯格明子晶格的观测)”,《纳米快报》2013年第13卷第8期第3755–3759页)的文章。该文中提及的精细加工为对待测纳米线使用聚焦离子束技术减薄为纳米薄片后,清理其表面的非晶层,获得透射电镜样品。这种制备洛伦兹透射电镜样品的方法虽能获得观测样品,却也存在着不足之处:在观测的过程中,由于观测要在离焦模式下进行,样品与真空接触的地方的厚度存在着突变,导致在样品与真空的交界处出现菲涅尔衍射条纹;这对于小尺寸的样品,如纳米颗粒、纳米条带,纳米柱和纳米盘等,当尺寸在百纳米量级时,菲涅尔衍射条纹掩盖磁信号的影响对磁结构的探测尤为突出,大大地限制了洛伦兹电镜对小尺寸样品的观测。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题为克服现有技术中的 ...
【技术保护点】
1.一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法,包括使用聚焦离子束将样品切割成30‑150nm厚的透射薄片后,清理透射薄片表面的非晶层,其特征在于完成步骤如下:使用蒸镀法在待测样品与真空接触的表面蒸镀厚500‑1000nm的金属层;或者,使用聚焦离子束在待测样品与真空接触的表面沉积厚500‑1000nm的含有机物的保护层;制得减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品。
【技术特征摘要】
1.一种减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法,包括使用聚焦离子束将样品切割成30-150nm厚的透射薄片后,清理透射薄片表面的非晶层,其特征在于完成步骤如下:使用蒸镀法在待测样品与真空接触的表面蒸镀厚500-1000nm的金属层;或者,使用聚焦离子束在待测样品与真空接触的表面沉积厚500-1000nm的含有机物的保护层;制得减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品。2.根据权利要求1所述的减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法,其特征是待测样品的尺寸≤1μm。3.根据权利要求1所述的减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法,其特征是蒸镀为磁控溅射,或直流溅射,或电子束蒸发,或电阻丝加热蒸发。4.根据权利要求3所述的减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法,其特征是磁控溅射或直...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜海峰,王莎莎,田明亮,
申请(专利权)人:中国科学院合肥物质科学研究院,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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