用于薄膜气相沉积的掩模组件及其制造方法技术

用于薄膜气相沉积的掩模组件及其制造方法被提供。掩模组件包括用于形成开口的框架和在张力被施加到其上时被固定到框架并形成多个图案开口的掩模。框架包括用于形成开口的框架主体和被安装在框架主体上沿至少一个方向可移动的多个移动构件。掩模在张力被施加到其上时被固定到移动构件。

Mask assembly for thin film vapor deposition and manufacturing method thereof

A mask assembly for thin film vapor deposition and a manufacturing method thereof are provided. The mask assembly includes a frame for forming an opening and a mask fixed to the frame when tension is applied to it and forming a plurality of pattern openings. The frame comprises a frame body for forming an opening and a plurality of movable members mounted on the frame body in at least one direction. The mask is fixed to the mobile member when tension is applied to it.

【技术实现步骤摘要】
用于薄膜气相沉积的掩模组件及其制造方法
本专利技术的实施例总地来说涉及掩模组件，并且更特别地，涉及用于有机发射层或金属层的薄膜沉积过程的掩模组件及其制造方法。
技术介绍
平板显示器、液晶显示器（LCD）和有机发光二极管（OLED）显示器是公知的显示器。平板显示器包括预定图案的金属层，在有机发光二极管（OLED）显示器的情况下，为每个像素形成预定图案的有机发射层。可以应用使用掩模组件的沉积方法作为形成金属层和有机发射层的方法。掩模组件包括具有和要被沉积的金属层或有机发射层相似的形状的图案开口的掩模以及用于支撑掩模的框架。由于掩模被扩大，用于形成图案开口的蚀刻的误差可能被增加，掩模的中心可能由自有引力而下垂，所以在张力被施加到掩模时掩模通过焊接被固定到框架。然而，之后不能控制被固定到框架的掩模的张力。不利地，需要很多时间和精力来扩展掩模和焊接掩模到框架，而且，在扩展和焊接期间有问题的掩模被丢弃。另外，用于沉积过程的掩模可能产生降低图案开口的均匀性和像素位置的精度的问题。如果掩模具有这样的问题，它被从框架分离，然后被丢弃。在
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于增强对所描述的技术的背景的理解，因此它可能包含不形成对于本领域普通技术人员在该国家已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
所描述的技术致力于提供当掩模被固定到框架时用于控制掩模的张力并减少被丢弃的掩模的数量的掩模框架及其制造方法。本专利技术的一个实施例提供一种掩模组件，包括：包括用于形成开口的框架主体和被安装在框架主体中的沿至少一个方向能移动的多个移动构件的框架；以及用于形成多个图案开口并在张力被施加到其上时被固定到移动构件的掩模。掩模沿第一方向和与第一方向相交的第二方向扩展，并被固定到移动构件。框架主体包括平行于第一方向的一对第一直边部和平行于第二方向的一对第二直边部。移动构件对于一对第一直边部和一对第二直边部被提供，并且它们的移动方向和位移被独立控制。移动构件包括被安装在一对第一直边部中并沿第二方向滑动的多个第一移动构件以及被安装在一对第二直边部中并沿第一方向滑动的多个第二移动构件。移动构件包括被安装在框架主体的角部处并沿第三方向滑动的多个第三移动构件。移动构件分别包括：包括掩模固定侧的掩模固定单元；以及被固定到框架主体，和掩模固定单元结合并控制掩模固定单元的移动的移动控制器。移动控制器包括：包括移动引导件的控制器主体；被固定到掩模固定单元的朝框架主体的背面的内螺纹部；以及被安装在控制器主体中并和内螺纹部结合的控制螺杆。掩模固定单元形成用于接纳控制器主体的接纳部分和对应于移动引导件的引导槽。第一移动构件的控制螺杆平行于第二方向，并且第二移动构件的控制螺杆平行于第一方向。第一方向和第二方向分别是掩模的长度方向和宽度方向。第三移动构件的控制螺杆平行于第三方向。第三方向是掩模的对角方向。多个移动构件分别包括：包括掩模固定侧的掩模固定单元以及被安装在框架主体和掩模固定单元之间并分别在第一方向和第二方向移动掩模固定单元的第一移动控制器和第二移动控制器。第一移动控制器被固定到框架主体，第二移动控制器被提供在第一移动控制器和掩模固定单元之间，支撑件被提供在第一移动控制器和第二移动控制器之间。第一移动控制器包括第一控制器主体、第一内螺纹部和第一控制螺杆，第一控制器主体包括第一移动引导件，第一内螺纹部被固定到支撑件的背面，第一控制螺杆被安装在第一控制器主体中并与第一内螺纹部结合。第二移动控制器包括第二控制器主体、第二内螺纹部和第二控制螺杆，第二控制器主体包括第二移动引导件，第二内螺纹部被固定到掩模固定单元的背面，第二控制螺杆被安装在第二控制器主体中并与第二内螺纹部结合。第一控制螺杆平行于第一方向，并且第二控制螺杆平行于第二方向。第一方向和第二方向分别是掩模的长度方向和宽度方向。支撑件形成用于接纳第一控制器主体的第一接纳部分以及对应于第一移动引导件的第一引导槽。掩模固定单元形成用于接纳第二控制器主体的第二接纳部分以及对应于第二移动引导件的第二引导槽。另一实施例提供一种用于制造掩模组件的方法，包括：提供包括框架主体和被安装在框架主体上的沿至少一个方向能移动的多个移动构件的框架；在张力被施加到掩模时固定掩模到移动构件；以及通过滑动移动构件中的至少一个控制掩模的张力。框架主体包括四个直边部，移动构件对于四个直边部被提供，并且它们的移动方向和位移被独立控制。由掩模的张力引起的压缩力被施加到移动构件，并且移动构件沿压缩力被施加的一个方向滑动，以控制掩模的张力。移动构件沿和压缩力被施加的方向交叉的方向滑动，以改变被形成在掩模中的图案开口的位置。掩模组件控制在焊接过程期间产生问题的掩模以及图案开口的均匀性和像素位置的精度降低的掩模的张力，从而进行修复并得到高质量的产品。因此，被丢弃的掩模的数量减少，以降低生产成本，并且用于更换掩模的时间减少，以增加连续操作沉积器的时间，从而提高生产率。附图说明当结合附图来考虑时，通过参照下面的详细说明，本专利技术的更完整的评价及其许多相关优点由于它们变得更容易理解而将是显而易见的，在附图中相同的附图标记表示相同或相似的组件，其中：图1示出构造为根据本专利技术的原理的第一实施例的掩模组件的分解斜视图；图2示出构造为根据本专利技术的原理的第一实施例的掩模组件的俯视图；图3示出图1的部分A的放大图；图4示出沿图3中所示的线IV-IV截取的掩模固定单元和移动构件的剖视图；图5示出构造为根据本专利技术的原理的第二实施例的掩模组件的俯视图；图6示出图5中所示的移动构件的斜视图；图7示出图6中所示的第一移动构件和支撑件的剖视图；图8示出图6中所示的第二移动构件和掩模固定单元的剖视图；图9示出构造为根据本专利技术的原理的一个实施例的用于制造掩模组件的方法的过程流程图；图10示出图9中所示的第二阶段的掩模组件的剖视图；和图11和图12示出图9中所示的第三阶段的掩模组件的剖视图。具体实施例在下文中将参照附图更充分地描述本专利技术，附图中示出本专利技术的示例性实施例。如本领域技术人员将意识到的那样，所描述的实施例可以以各种不同的方式体现，而全部不背离本专利技术的精神或范围。在申请文件中，除非明确描述为相反，词“包括”及其变形将被理解为意味着包括所提出的元件，但并不排除任何其他元件。此外，在申请文件中，目标部分的上部代表目标部分的上部或下部，并不意味着目标部分总是位于基于重力方向的上侧。图1和图2分别示出构造为根据本专利技术的原理的第一实施例的掩模组件的组合状态的分解斜视图和俯视图。参照图1和图2，掩模组件100包括用于形成多个图案开口15的掩模10以及用于形成用于暴露多个图案开口15的开口21并支撑掩模10的框架20。框架20包括框架主体22和被安装在框架主体22中的多个移动构件30，掩模10通过焊接被固定到移动构件30。掩模10被形成为四边形的薄金属板，并形成多个图案开口15。图案开口15被配置为多个细小开口，使得穿过其薄膜可被沉积。因此，在沉积过程期间，沉积材料穿过图案开口15并被沉积在基底（未示出）上，从而以所需形状形成薄膜（例如，金属层或有机发射层）。一个图案开口15对应于一个平面显示设备（例如有机发光二极管（OLED）显示器）。在这种情况下，可以通过使用一个掩模组件100的单一过程同时沉积对应于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模组件，包括：包括形成开口的框架主体和被安装在所述框架主体中的多个移动构件的框架，所述多个移动构件的每一个沿至少一个方向能移动；和包括多个图案开口并被固定到所述多个移动构件的掩模，其中所述掩模沿第一方向和与所述第一方向相交的第二方向扩展，并被固定到所述多个移动构件，并且所述至少一个方向平行于所述第一方向或所述第二方向，其中所述框架主体包括平行于所述第一方向的一对第一直边部和平行于所述第二方向的一对第二直边部，并且所述多个移动构件对于所述一对第一直边部和所述一对第二直边部被提供，并且所述多个移动构件中的每一个的移动方向和位移被独立控制，其中所述多个移动构件的每一个包括：包括掩模固定侧的掩模固定单元；和被安装在所述框架主体和所述掩模固定单元之间并分别沿所述第一方向和所述第二方向移动所述掩模固定单元的第一移动控制器和第二移动控制器。

【技术特征摘要】
2012.12.10 KR 10-2012-01427671.一种掩模组件，包括：包括形成开口的框架主体和被安装在所述框架主体中的多个移动构件的框架，所述多个移动构件的每一个沿至少一个方向能移动；和包括多个图案开口并被固定到所述多个移动构件的掩模，其中所述掩模沿第一方向和与所述第一方向相交的第二方向扩展，并被固定到所述多个移动构件，并且所述至少一个方向平行于所述第一方向或所述第二方向，其中所述框架主体包括平行于所述第一方向的一对第一直边部和平行于所述第二方向的一对第二直边部，并且所述多个移动构件对于所述一对第一直边部和所述一对第二直边部被提供，并且所述多个移动构件中的每一个的移动方向和位移被独立控制，其中所述多个移动构件的每一个包括：包括掩模固定侧的掩模固定单元；和被安装在所述框架主体和所述掩模固定单元之间并分别沿所述第一方向和所述第二方向移动所述掩模固定单元的第一移动控制器和第二移动控制器。2.如权利要求1所述的掩模组件，其中所述第一移动控制器被固定到所述框架主体，所述第二移动控制器被提供在所述第一移动控...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩政洹，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR