The invention discloses a method for preparing the sputtering target of molybdenum titanium alloy. The method is: first, the sponge titanium is selected by the porous sieve sieve; two, the mixture of the molybdenum powder and the screened sponge titanium is mechanically mixed; three, the mixed material is made and the sponge titanium with the average particle size not more than 15mm is mixed in the lower layer of sponge titanium and middle layer. The material and the upper layer of titanium sponge are made in the order of cloth, and the molybdenum titanium alloy electrode is made after pressing. Four, the molybdenum titanium alloy electrode prepared in the vacuum smelting furnace is melted in the vacuum self consuming arc melting furnace to get the Mo Ti alloy ingot. Five, the molybdenum titanium alloy ingot is cut into a specific shape molybdenum titanium alloy sputtering target after the surface treatment. The molybdenum titanium alloy target prepared by the invention has the characteristics of simple process, low cost and wide adjustable range compared with the traditional powder metallurgy method, and the prepared alloy target is compact, well homogeneous in composition, stable in quality and suitable for large batch industrial production.
【技术实现步骤摘要】
一种制备钼钛合金溅射靶材的方法
本专利技术属于有色金属靶材制备
,具体涉及一种制备钼钛合金溅射靶材的方法。
技术介绍
靶材,通常应用于镀膜行业。一般的合金靶材,致密度和成分均匀性尤其重要,在合金靶的熔炼过程中,某些元素容易挥发或偏析,导致铸锭中合金元素含量成分比例差异,因此,在制备的过程中,具有一定的工艺技术难题。Mo-Ti合金靶材主要采用粉末冶金工艺生产,最常用的制备方法是热压烧结(HP)和热等静压(HIP)。专利申请号为CN201210497167.4的专利技术专利公布了一种钼钛合金靶材的制备方法,该方法是将钼粉、钛粉和成形剂混合得到钼钛合金粉末,然后进行真空热压成型制备合金靶材。申请号为CN201310744517.7的专利技术专利公布了一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法。该方法是向钼粉与Ti粉内加溶剂和粘结剂制成浆料,再用喷雾机对浆料喷雾造粒,得到Mo-Ti符合粉,制成坯料后热等静压烧结制备靶材。图1是现有的粉末冶金法制备的钼钛合金靶材的高倍组织图,从图上可以看出钼钛合金靶材具有多孔疏松组织,因此,钼钛合金靶材密度均无法达到100%理论密度。而且这种采用高温高压的热压成型工艺受限于设备的使用条件,成本较高,靶材尺寸可调范围窄,不利于大批量工业生产。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足,提供了一种制备钼钛合金溅射靶材的方法。该方法制备的合金靶材100%致密、成分均匀性良好,靶材无孔隙,适合大批量工业化生产。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种制备钼钛合金溅射靶材的方法,其特征在于,该 ...
【技术保护点】
1.一种制备钼钛合金溅射靶材的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、用多孔筛筛选出平均粒度为8mm~10mm的海绵钛;步骤二、将钼粉和步骤一中筛选出的海绵钛进行机械混合得到混合料;所述钼粉的平均粒度为10μm~15μm;步骤三,将步骤二中制成的混合料和平均粒度不超过15mm的海绵钛按照下层海绵钛、中层混合料和上层海绵钛的顺序进行布料,压制后制成钼钛合金电极;步骤四、将步骤三中制备的钼钛合金电极置于真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼,得到钼钛合金铸锭;步骤五、将步骤四中得到的钼钛合金铸锭经过表面处理后,切割成特定形状的钼钛合金溅射靶材。
【技术特征摘要】
1.一种制备钼钛合金溅射靶材的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、用多孔筛筛选出平均粒度为8mm~10mm的海绵钛;步骤二、将钼粉和步骤一中筛选出的海绵钛进行机械混合得到混合料;所述钼粉的平均粒度为10μm~15μm;步骤三,将步骤二中制成的混合料和平均粒度不超过15mm的海绵钛按照下层海绵钛、中层混合料和上层海绵钛的顺序进行布料,压制后制成钼钛合金电极;步骤四、将步骤三中制备的钼钛合金电极置于真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼,得到钼钛合金铸锭;步骤五、将步骤四中得到的钼钛合金铸锭经过表面处理后,切割成特定形状...
【专利技术属性】
技术研发人员:周伟,李倩,辛社伟,李磊,陈军,张思远,
申请(专利权)人:西北有色金属研究院,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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