高精密支撑掩膜版制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精密支撑掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于板框的顶面，每个条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方且被固定于板框上，支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本实用新型专利技术实施例提供的高精密支撑掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。

High precision support mask

The utility model discloses a high precision support mask plate, which comprises a plate frame, a plurality of strip masks and a supporting membrane network, and a plurality of strip mask patches are sequentially arranged along the longitudinal direction, and the adjacent two bar diaphragms have a splicing gap between them; each bar mask is extended laterally and each end is welded on the top surface of the plate frame. The strip mask is provided with at least one mask pattern; the supporting membrane network is located below a plurality of strip masks and is fixed on the plate frame. The support membrane network supports a plurality of strip masks and covers the various splice gaps, but does not shield the various mask patterns. The high precision support mask provided according to the practical example of the utility model can not only meet the requirements of large size glass substrate, achieve batch production, improve production efficiency, but also meet the good rate and precision requirements of the display in the process of mass production. Besides, the service life is long and the cost of the user end is low.

【技术实现步骤摘要】
高精密支撑掩膜版
本技术涉及掩膜版，尤其涉及一种高精密支撑掩膜版。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器是一种自发光的显示装置。因其具有功耗低、显示亮度高、可视角度宽以及响应速度快等优点，OLED显示器越来越受到市场的欢迎。在OLED显示器的制造技术中，真空蒸镀中的掩模版技术(例如精细金属掩膜片(FineMetalMaskSheet，FMMSheet))是一项非常重要和关键的技术，直接影响OLED产品的质量和制造成本。一般的，掩膜版上具有至少一个掩膜图案，而为了批量生产加工，掩膜版上的掩膜图案为多个且呈矩阵分布，通过该掩膜版进行镀膜加工时，利用这些掩膜图案可以在玻璃基板上形成相同数量的薄膜图形，再将玻璃基板按照薄膜图形数量切割即可形成多个显示器件。掩膜版的尺寸越大，可以对大尺寸的玻璃基板镀膜，每次批量生产加工的显示器件的数量越多，但是，掩膜版的尺寸越大，精密度难以控制，导致生产加工的显示器件的精度及分辨率达不到预期要求，不良率高。同时，由于在保证精度的前提下，不得不缩小掩膜版的尺寸，则对应的生产效率下降。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的目的在于提出一种高精密支撑掩膜版。为实现上述目的，根据本技术实施例的高精密支撑掩膜版，包括：板框；多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。根据本技术实施例提供的高精密支撑掩膜版，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙，支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方，该支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡条形膜片上的掩膜图案，如此，多个条形掩膜片拼接可以满足大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率；而利用支撑膜网支撑条形掩膜片，使得条形掩膜片保持结构稳定，且能够提升条形掩膜片张紧在板框上的良率，同时提高了条形掩膜片的使用精度与寿命，进而满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。另外，根据本技术上述实施例的高精密支撑掩膜版还可以具有如下附加的技术特征：根据本技术的一个实施例，所述板框的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽，多个所述凹槽沿所述板框的边沿间隔设置；所述支撑膜网上相对两侧分别形成有多个焊接部，多个所述焊接部沿所述支撑膜网的边沿间隔设置，多个所述焊接部一一对应地焊接于多个所述凹槽内。根据本技术的一个实施例，所述支撑膜网的上表面与所述板框的顶面平齐。根据本技术的一个实施例，所述支撑膜网包括多排网孔，多排所述网孔与多个所述条形掩膜片一一对应；每排所述网孔中的各个网孔与对应的所述条形掩膜片上的各个掩膜图案一一对应，且所述网孔的尺寸大于所述掩膜图案的尺寸，以使所述掩膜图案完全显露在所述网孔中。根据本技术的一个实施例，相邻两排所述网孔之间形成为条形支撑部，所述条形支撑部与相邻两个所述条形掩膜片的底面贴合，并覆盖相邻两个所述条形掩膜片之间的所述拼接间隙。根据本技术的一个实施例，所述板框包括：框体，所述框体的中央形成镂空区；框沿，所述框沿环绕设置所述镂空区的外围且向上凸出，所述条形掩膜片的两端焊接于所述框沿的顶面。根据本技术的一个实施例，所述支撑膜网的上表面与所述框沿的顶面平齐。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1是本技术实施例高精密支撑掩膜版的结构示意图；图2是本技术实施例高精密支撑掩膜版的分解图；图3是本技术实施例高精密支撑掩膜版的俯视图；图4是图3中A-A方向的剖视图；图5是图4中A处的局部放大图。附图标记：板框10；框体101；凹槽1011；镂空区P10；框沿102；支撑膜网20；焊接部201；网孔202；条形支撑部203；条形掩膜片30；掩膜图案301；拼接间隙X30。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面参照附图详细描述本技术实施例的高精密支撑掩膜版。参照图1至图5所示，根据本技术实施例提供的高精密支撑掩膜版，包括板框10、多个条形掩膜片30、及支撑膜网20。多个所述条形掩膜片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精密支撑掩膜版，其特征在于，包括：板框；多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。

【技术特征摘要】
1.一种高精密支撑掩膜版，其特征在于，包括：板框；多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。2.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述板框的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽，多个所述凹槽沿所述板框的边沿间隔设置；所述支撑膜网上相对两侧分别形成有多个焊接部，多个所述焊接部沿所述支撑膜网的边沿间隔设置，多个所述焊接部一一对应地焊接于多个所述凹槽内。3.根据权利要求2所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网的上表面与所述板框的顶面...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：唐军，
类型：新型
国别省市：广东,44