输送系统技术方案

本发明专利技术提供一种输送系统。该输送系统具备轨道、多台高架输送车、保管装置以及根据运用模式控制高架输送车和本地台车的动作的输送控制器。保管装置具有保管部和能够在装置端口和保管部之间移载FOUP的本地台车。输送控制器能够在禁止本地台车从装置端口向保管部移载的移载动作的第一模式、禁止高架输送车向保管部移载的移载动作和本地台车从保管部向装置端口移载的移载动作的第二模式以及不限制本地台车的移载动作的第三模式之间切换运用模式。

conveying system

The present invention provides a conveying system. The conveying system is equipped with a track, a multiple elevated transport vehicle, a storage device, and a transportation controller that controls the movements of the elevated transport vehicle and the local trolley according to the application mode. The storage device has a storage department and a local trolley capable of carrying FOUP between the device port and the storage department. The transmission controller can be used to prevent the first mode of the load shifting of the local trolley from the device port to the storage section, the second mode of moving the load moving from the overhead conveyer to the storage section and the moving load of the local trolley from the storage unit to the device port, and the third mode that does not limit the movement of the local trolley. Switch using mode between them.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送系统
本专利技术涉及输送系统。
技术介绍
例如作为用于半导体制造工厂的输送系统，已知有具备高架输送车、作为高架输送车的行走路径的轨道、设置于轨道与半导体处理装置的装置端口之间的保管部(缓冲装置)以及在装置端口和保管部之间交接被输送物的移载机构(本地台车)的输送系统(参见专利文献1)。在上述专利文献1中记载的输送系统中，高架输送车和移载机构都构成为在与装置端口和保管部这两者之间实施对被输送物的交接。专利文献1：日本特开2013-153193号公报针对如上所述的输送系统有提高半导体处理装置的设备利用率的要求。另外，在如上述输送系统那样利用高架输送车和移载机构这两者的系统中，通过根据输送系统的状况恰当地运用两者，有可能提高半导体处理装置的设备利用率。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个方式的目的在于，提供能够根据输送系统的状况提高装置的设备利用率的输送系统。本专利技术的一个方式的输送系统具备：轨道；多台输送车，多台输送车沿轨道行走，输送被输送物；保管装置，其具有：保管部，保管部能够供输送车交接被输送物；和移载机构，移载机构能够在与能供输送车交接被输送物的装置端口和保管部之间移载被输送物；以及控制器，其根据所设定的运用模式，控制输送车和移载机构的动作，控制器能够如下的模式之间切换运用模式，即，在禁止由移载机构从装置端口向保管部移载被输送物的移载动作的第一模式，禁止由输送车向保管部移载被输送物的移载动作和由移载机构从保管部向装置端口移载被输送物的移载动作的第二模式，以及允许由移载机构从装置端口向保管部移载被输送物的移载动作和从保管部向装置端口移载被输送物的移载动作这两者的第三模式。在上述输送系统中，就运用模式而言，控制器能够在限制能够由移载机构实施的移载动作(即，从装置端口向保管部移载的移载动作和从保管部向装置端口移载的移载动作)中的一者的第一模式和第二模式以及不限制移载机构的移载动作的第三模式之间，切换运用模式。通过将运用模式设定为第一模式，能够优先向装置端口供给被输送物。通过将运用模式设定为第二模式，能够优先从装置端口回收被输送物(向保管部退避)。通过将运用模式设定为第三模式，能够均衡地执行对被输送物的供给和回收。因此，采用上述输送系统，通过根据输送系统的状况切换控制器的运用模式，能够恰当地切换对被输送物的供给和回收的优先度，能够提高装置的设备利用率。在上述输送系统中，也可以是，保管部包括在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠上游侧的第一保管部和在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠下游侧的第二保管部，控制器禁止由输送车向第二保管部移载被输送物的移载动作并且禁止由移载机构从装置端口向第一保管部移载被输送物的移载动作。由此，在第一模式～第三模式中的任一模式下，都能够实现从输送车的行走方向上的上游侧向下游侧单向地输送被输送物的结构。其结果是，能够在各模式中的可能的移载动作的范围内，由1台输送车向上游侧的端口(第一保管部或者装置端口)供给被输送物，对在下游侧的端口(装置端口或者第二保管部)载置的处理完毕的被输送物进行回收。因此，采用上述输送系统，也能够实现输送车的运用效率的提高。在上述输送系统中，也可以是，控制器能够针对每个保管装置切换运用模式。由此，能够根据每个保管装置的状况，以保管装置为单位恰当地切换运用模式。在上述输送系统中，也可以是，控制器受理要求切换运用模式的操作，并能够根据该操作切换运用模式。由此，能够通过操作人员等的手动操作，适时地切换运用模式。在上述输送系统中，也可以是，控制器定期取得与输送系统的运行状况相关的运行状况信息，并基于运行状况信息和预定的切换规则，自动地切换运用模式。由此，能够根据输送系统的运行状况，自动地切换为恰当的运用模式。在上述输送系统中，也可以是，控制器取得在装置端口处的针对一个被输送物的处理时间，作为运行状况信息，执行基于该处理时间和预定的阈值的比较运算，基于该比较运算的结果，对与能够在自身与装置端口之间由移载机构移载被输送物的保管装置相对应的运用模式进行切换。采用该结构，通过对装置端口中的针对一个被输送物的处理时间(或其平均值等)与预定的阈值进行比较的简单的处理，能够自动且恰当地切换各保管装置的运用模式。在上述输送系统中，也可以是，控制器取得在包括保管装置在内的规定范围的区域中的输送车的运行台数，作为运行状况信息，执行基于该运行台数和预定的阈值的比较运算，基于该比较运算的结果，对与保管装置相对应的运用模式进行切换。采用该结构，能够通过对在包括保管装置在内的规定范围的区域中的输送车的运行台数与预定的阈值进行比较的简单的处理，自动且恰当地切换各保管装置的运用模式。在上述输送系统中，也可以是，控制器取得从保管装置的保管部处或者从能够在自身与保管部之间由移载机构移载被输送物的装置端口处回收处理完毕的被输送物的输送车的车辆调度时间，作为运行状况信息，执行基于该车辆调度时间和预定的阈值的比较运算，基于该比较运算的结果，对与保管装置相对应的运用模式进行切换。采用该结构，通过对回收处理完毕的被输送物的输送车的车辆调度时间(或其平均值等)与预定的阈值进行比较的简单的处理，能够自动且恰当地切换各保管装置的运用模式。采用本专利技术的一个方式，能够提供能够根据输送系统的状况提高装置的设备利用率的输送系统。附图说明图1是示出本专利技术的一个实施方式的输送系统的主要部分的图。图2是图1的保管装置和半导体处理装置的俯视图。图3是示出输送系统的控制结构的框图。图4是用于说明第一模式的示意图。图5是用于说明第二模式的示意图。图6是用于说明第三模式的示意图。具体实施方式以下，参照附图详细说明本专利技术的一个实施方式。此外，在附图的说明中，对相同或者等同的要素标注相同的附图标记，省略重复说明。使用图1和图2，说明本实施方式的输送系统1。输送系统1是在具备多个半导体处理装置100的半导体制造工厂内用于对收容有多个半导体晶圆的FOUP(FrontOpeningUnifiedPod：前端开启式晶圆传送盒)进行输送的系统。如图1所示，输送系统1具备轨道10、多台高架输送车20以及保管装置30，该保管装置30设置为与各半导体处理装置100相对应。图1图示出与在半导体制造工厂内存在的多个半导体处理装置100中的一个半导体处理装置100相对应的保管装置30。轨道10铺设于半导体制造工厂的顶棚附近。高架输送车20是OHT(OverheadHoistTransfer：顶棚输送车)。高架输送车20在悬吊于轨道10的状态下沿轨道10单向行走。以下，将在高架输送车20的行走方向A上的上游侧和下游侧分别称为“上游侧”和“下游侧”。高架输送车20将收容有多个半导体晶圆的FOUP90向各半导体处理装置100的装置端口101或者后述保管部31输送(供给)。在本实施方式中，作为一例，针对一个半导体处理装置100，沿高架输送车20的行走方向A并列设置有两个装置端口101。半导体处理装置100对在载置于装置端口101的FOUP90中收容的半导体晶圆等执行规定的加工处理。在以下说明中，将针对收容于FOUP90中的半导体晶圆等的处理简单地表达为对FOUP90的处理。例如，将执行了针对所收容的半导体晶圆等的加工处理之后的FOUP90表达为处理完毕的FOUP90等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送系统，其中，具备：轨道；多台输送车，所述多台输送车沿所述轨道行走，输送被输送物；保管装置，其具有：保管部，所述保管部能够供所述输送车交接所述被输送物；和移载机构，所述移载机构能够在与能供所述输送车交接所述被输送物的装置端口和所述保管部之间移载所述被输送物；以及控制器，其根据所设定的运用模式控制所述输送车和所述移载机构的动作，所述控制器能够在如下的模式之间切换所述运用模式：即，第一模式，禁止由所述移载机构从所述装置端口向所述保管部移载所述被输送物的移载动作；第二模式，禁止由所述输送车向所述保管部移载所述被输送物的移载动作和由所述移载机构从所述保管部向所述装置端口移载所述被输送物的移载动作；以及第三模式，允许由所述移载机构从所述装置端口向所述保管部移载所述被输送物的移载动作和从所述保管部向所述装置端口移载所述被输送物的移载动作这两者。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.12.08 JP 2015-2396151.一种输送系统，其中，具备：轨道；多台输送车，所述多台输送车沿所述轨道行走，输送被输送物；保管装置，其具有：保管部，所述保管部能够供所述输送车交接所述被输送物；和移载机构，所述移载机构能够在与能供所述输送车交接所述被输送物的装置端口和所述保管部之间移载所述被输送物；以及控制器，其根据所设定的运用模式控制所述输送车和所述移载机构的动作，所述控制器能够在如下的模式之间切换所述运用模式：即，第一模式，禁止由所述移载机构从所述装置端口向所述保管部移载所述被输送物的移载动作；第二模式，禁止由所述输送车向所述保管部移载所述被输送物的移载动作和由所述移载机构从所述保管部向所述装置端口移载所述被输送物的移载动作；以及第三模式，允许由所述移载机构从所述装置端口向所述保管部移载所述被输送物的移载动作和从所述保管部向所述装置端口移载所述被输送物的移载动作这两者。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述保管部包括在所述输送车的行走方向上设置得比所述装置端口靠上游侧的第一保管部和在所述输送车的行走方向上设置得比所述装置端口靠下游侧的第二保管部，所述控制器禁止由所述输送车向所述第二保管部移载所述被输送物的移载动作并且禁止由所述移载机构从所述装置端口向所述第一保管部移载所述被输送物的移载动作。3.根据权利要求1或者2所述的输送系统，其中，所述控制器能够针对...

【专利技术属性】
技术研发人员：本田修，山田启二，小野大辅，野沢高志，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP