取出装置及保管装置制造方法及图纸

取出装置(1)具备：从货物(120)的前方一侧支承货物(120)的前方部分的支承部(13)，经由连结部件(142)连结在使支承部(13)能够沿上下方向移动的移动装置(140)上的连结部(9、11)，以及将连结部(9、11)夹在中间、设置在与支承部(13)相反一侧的把持部(15、17)。

Removal device and storage device

The removal device (1) is provided with a supporting part (13) supporting a front part of the cargo (120) from the front side of the cargo (120), connected by a connecting part (142) to a connecting part (9, 11) on the moving device (140) that can move the supporting part (13) along the upper and lower directions, and the connecting part (9, 11) in the middle, and set in the opposite direction to the supporting part (13). The holding section on one side (15, 17).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】取出装置及保管装置
本专利技术涉及取出装置和保管装置。
技术介绍
作为收容半导体晶圆的半导体搬送用盒，例如有FOUP(Front-OpeningUnifiedPod，前开式标准晶圆盒)。在保管FOUP的保管装置中，用于进行出入库的端口与货架之间的FOUP的移载利用移载装置来进行。在具备移载装置的保管装置中，在因移载装置的动作故障等而不能进行移载的情况下，人工进行FOUP的移载。但是，近年来，由于半导体晶圆大直径化，伴随于此，FOUP也大型化(大重量化)，因此人工处置FOUP困难。因此，例如专利文献1中记载的保管装置中除了移载装置之外还具备能够手动操作的手动搬送装置。该手动搬送装置具备：能够把持FOUP的凸缘的把持部、连结在把持部上的传送带、卷起传送带的提升部、以及能够在保管装置内的顶棚上滑动地设置的滑动部，在不能使用移载装置的情况下，手动进行FOUP的搬送。在先技术文献专利文献【专利文献1】日本特开2011－1149号公报专利技术的概要专利技术要解决的问题所述保管装置的手动搬送装置中，需要将把持部安装到FOUP的凸缘上。但是，将把持部插入FOUP与货架之间狭窄的间隙中进行作业不容易。因此，有关FOUP等半导体搬送盒的手动进行的搬送要求进一步改善操作性。
技术实现思路
本专利技术的一个方面以提供实现操作性的提高的取出装置和保管装置为目的。本专利技术的一个方面所涉及的取出装置为在具备经由前方开口的开口部进出货物的货架的保管装置中，用来从货架经由开口部取出货物，具备：从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将连结部夹在中间地设置在与支承部相反一侧的把持部。本专利技术的一个方面所涉及的取出装置具备从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部。因此，即使在货物与货架之间的间隙狭窄的情况下，由于支承货物的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中进行作业就能够支承货物。并且，借助经由连结部件连结在连结部上的移动装置，支承部能够在上下方向移动。因此，经由在利用支承部支承着货物的状态下由移动装置使支承部移动到上方，能够将货物从货架抬起。由此，取出装置中能够容易地从货架取出货物，实现了操作性的提高。并且，在从货架取出货物时，支承部处于被移动装置经由连结部吊挂的状态。此时，由于货物的重量，取出装置向货物一侧倾斜。因此，在取出装置中，把持部夹着连结部设置在与支承部相反的一侧。通过该结构，能够利用把持部容易地施加克服支承部因货物的重量而倾斜的力，因此容易保持取出装置的平衡。因此，能够稳定地操作取出装置，所以实现了操作性的提高。在一个实施方式中，支承部可以具有支承货物的底面的第1支承部和限制支承在该第1支承部上的货物移动的第2支承部。根据该结构，能够利用第1支承部稳定地支承货物。并且，能够利用第2支承部防止货物的位置偏离。因此，能够稳定地取出货物。在一个实施方式中，也可以第2支承部设置在比第1支承部靠上方，限制货物的上下方向的移动。根据该结构，能够防止利用第1支承部支承着前方部分的底面的货物向后方一侧倾斜。因此，能够稳定地取出货物。在一个实施方式中，还可以具备设置在把持部一侧、可装卸地支承配重部件的安装部。根据该结构，通过配合货物的重量地将配重部件安装到安装部，能够根据货物的重量调整平衡。由此，能够更稳定地取出货物。在一个实施方式中，也可以把持部具备配置在比支承部靠上方的第1把持部和配置在比支承部靠下方的第2把持部。根据该结构，能够把持并操作第1把持部和第2把持部这2个地方，因此能够更稳定地取出货物。本专利技术的一个方面所涉及的保管装置为具备以下部分的保管装置：框体，在框体内具备多个、经由前方开口的开口部进出货物的货架，进行货物出入库的端口，在货架与端口之间移载货物的移载装置，以及用来将货物从货架经由开口部取出到前方的取出装置；取出装置具备：从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将连结部夹在中间地设置在与支承部相反的一侧的把持部。本专利技术的一个方面所涉及的保管装置具备取出装置。取出装置具备从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部。因此，即使在货物与货架之间的间隙狭窄的情况下，也由于支承货物的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中进行作业就能够支承货物。并且，借助经由连结部件连结在连结部上的移动装置，支承部能够沿上下方向移动。因此，经由在利用支承部支承着货物的状态下由移动装置使支承部移动到上方，能够将货物从货架抬起。由此，即使在移载装置不动作的情况下，保管装置中也能够利用取出装置容易地从货架取出货物。并且，在从货架取出货物时，支承部处于被移动装置经由连结部吊挂的状态。此时，由于货物的重量，取出装置向货物一侧倾斜。因此，在取出装置中，把持部夹着连结部设置在与支承部相反的一侧。利用该结构，能够利用把持部容易地施加克服支承部因货物的重量而倾斜的力，因此容易保持取出装置的平衡。因此，由于能够稳定地操作取出装置，所以实现了操作性的提高。专利技术的效果：根据本专利技术的一个方面，实现了操作性的提高。附图说明图1为表示具备一个实施方式所涉及的保管装置的搬送系统的外观的立体图；图2为示意地表示图1所示的保管装置的内部结构的剖视图；图3为表示货架的载置部和固定部的图；图4为表示一个实施方式所涉及的取出装置的立体图；图5为表示一个实施方式所涉及的取出装置的立体图；图6为取出装置的侧视图；图7为取出装置的顶视图；图8(a)为表示挂钩部与前部凸缘卡合前的状态的图，图8(b)为表示挂钩部与前部凸缘卡合着的状态的图；图9(a)为表示挂钩部分与前部凸缘卡合前的状态的图，图9(b)为表示挂钩部分与前部凸缘卡合着的状态的图。具体实施方式下面参照附图对本专利技术的优选实施方式详细地进行说明。另外，在附图的说明中，同一或相当的要素添加同一标记，省略重复的说明。[搬送系统]如图1及图2所示，搬送系统100具备搬运装置102、存放单元104、以及供搬运装置102行进的轨道R。并且，搬送系统100具备搬送指示部106、搬运装置控制器108和存放单元控制器110作为控制系统。搬送系统100依照半导体元件制造过程中的搬送时间表对各种制造装置和存放单元104等进行FOUP(Front-OpeningUnifiedPod，前开式标准晶圆盒)120的搬送，同时在存放单元104中进行FOUP120的收容或保管。FOUP120为在存放单元104中收容和保管的货物，为收容多枚半导体晶圆的盒体。FOUP120被搬运装置102沿着轨道R搬送，同时为了在存放单元104内出入库或调整保管位置而被搬送。FOUP120具备：在前方一侧形成开口、同时在上面具有被搬运装置102把持(保持)的上部凸缘122的FOUP主体和关闭FOUP主体的开口的盖部(未图示)。在FOUP120的FOUP主体的前方一侧设置有前部凸缘123。前部凸缘123为FOUP主体的与安装盖部的位置相对应的外周边缘突出到外面的部分。FOUP120收容例如口径为300mm或450mm的半导体晶圆。FOUP120中在使半导体晶圆进出时打开盖部，在除此以外的时候关闭盖部而能够将内部保持气密性。搬运装置102为以线性电动机为动力源的OHT(Ov本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种取出装置，在具备经由前方开口的开口部进出货物的货架的保管装置中，用来从所述货架经由所述开口部取出所述货物，具备：从所述货物的前方一侧支承所述货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使所述支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将所述连结部夹在中间地设置在与所述支承部相反一侧的把持部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.27 JP 2015-1676271.一种取出装置，在具备经由前方开口的开口部进出货物的货架的保管装置中，用来从所述货架经由所述开口部取出所述货物，具备：从所述货物的前方一侧支承所述货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使所述支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将所述连结部夹在中间地设置在与所述支承部相反一侧的把持部。2.如权利要求1所述的取出装置，所述支承部具有支承所述货物的底面的第1支承部和限制支承在该第1支承部上的所述货物移动的第2支承部。3.如权利要求2所述的取出装置，所述第2支承部设置在比所述第1支承部靠上方，限制所述货物的上下方向的移动。4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：小合玄己，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP