在设计文件内存储动态层内容的方法技术

本发明专利技术揭示用于在设计文件中存储动态层内容的系统及方法。接收具有对应于多个过程层的设计数据的设计文件。还接收几何运算公式。处理器产生具有动态层内容的多边形，所述多边形是通过对所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而形成。存储经更新设计文件，即现在具有拥有动态层内容的多边形的设计文件。

A method of storing dynamic layer content in a design file

The invention discloses a system and method for storing dynamic layer contents in a design document. A design file with design data corresponding to multiple process layers is received. The geometric calculation formula is also received. The processor generates a polygon with dynamic layer content, which is formed by the geometric calculation formula of both of the multiple process layers or more than two applications. Stores the updated design file, that is, the design file with polygon that has dynamic layer content.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在设计文件内存储动态层内容的方法相关申请案交叉参考本申请案主张于2016年2月11日提出申请的第62/294,273号美国临时申请案及于2015年11月26日提出申请的第6342/CHE/2015号印度专利申请案(两者均在申请中)的优先权，所述两个申请案的揭示内容以引用方式并入本文中。
本专利技术涉及芯片设计及缺陷检测。
技术介绍
可使用例如电子设计自动化(EDA)、计算机辅助设计(CAD)及其它IC设计软件的方法或系统来开发集成电路(IC)设计。此类方法及系统可用于从IC设计产生电路图案数据库。所述电路图案数据库包含表示IC的各种层的多个布局的数据。所述电路图案数据库中的数据可用于确定多个光罩的布局。光罩的布局通常包含定义光罩上的图案中的特征的多个多边形。每一光罩用于制作IC的各种层中的一者。IC的所述层可包含(举例来说)半导体衬底中的结图案、栅极电介质图案、栅极电极图案、层间电介质中的触点图案及金属化层上的互连图案。如本文中所使用的术语“设计数据”通常是指IC的物理设计(布局)以及通过复杂模拟或简单几何及布尔(Boolean)运算从物理设计导出的数据。需在生产IC之前通过不同过程对半导体装置设计进行验证。举例来说，通过软件模拟来检查半导体装置设计以验证在制造时所有特征在光刻之后均将被正确地印刷。此种检查通常包含以下步骤：例如设计规则检查(DRC)、光学规则检查(ORC)及更复杂的基于软件的验证方法，所述基于软件的验证方法包含针对特定晶片厂及过程而校准的过程模拟。制作例如逻辑装置及存储器装置等半导体装置通常包含：使用大数目个半导体制作过程来处理衬底(例如半导体晶片)以形成半导体装置的各种特征及多个层级。举例来说，光刻是涉及将图案从光罩转印到布置在半导体晶片上的抗蚀剂的半导体制作过程。半导体制作过程的额外实例包含但不限于化学机械抛光(CMP)、蚀刻、沉积及离子植入。多个半导体装置可以一布置而被制作于单个半导体晶片上且接着被分离成个别半导体装置。在半导体制造过程期间在各个步骤处使用检验过程来检测晶片上的缺陷以促使在制造过程中实现较高合格率且因此实现较高利润。检验始终是制作例如IC的半导体装置的重要部分。然而，随着半导体装置的尺寸减小，检验对于可接受半导体装置的成功制造变得越加重要，这是因为较小缺陷便可导致装置发生故障。举例来说，随着半导体装置的尺寸减小，对大小不断减小的缺陷的检测变得有必要，这是因为甚至相对小的缺陷也可导致半导体装置的非想要像差。然而，随着设计规则的缩小，半导体制造过程操作起来可越来越接近过程执行能力的极限。另外，随着设计规则的缩小，较小缺陷便可对装置的电参数产生影响，此促使更敏感的检验。因此，随着设计规则的缩小，通过检验而检测到的潜在合格率相关缺陷的数量急剧增长，且通过检验而检测到的滋扰缺陷的数量也急剧增加。因此，可在晶片上检测到越来越多缺陷，且对过程进行校正以消除所有缺陷既困难又昂贵。如此，确定哪些缺陷对装置的电参数及合格率具有实际影响可允许过程控制方法专注于那些缺陷同时在很大程度上忽略其它缺陷。此外，在较小设计规则下，在一些情形中，过程诱发的故障可往往是系统性的。即，过程诱发的故障往往出现于在设计内通常重复多次的预定设计图案处。消除空间系统性电相关缺陷是重要的，这是因为消除此类缺陷可对合格率具有显着总体影响。缺陷是否将影响装置参数及合格率是无法依据上文所描述的检验、复检及分析过程来确定的，这是因为此类过程无法相对于电设计来确定缺陷的位置。
技术实现思路
本专利技术的一个实施例可描述为一种用于在芯片的设计文件内存储动态层内容的方法。所述方法包括接收具有对应于多个过程层的设计数据的设计文件。所述设计文件可由处理器接收。所述处理器还可接收几何运算公式。所述几何运算公式可与特定芯片区域相关联。所述几何运算公式可为OR、AND、GROW及/或SHRINK运算或者其任何组合。所述方法进一步包括运用所述处理器产生具有动态层内容的多边形，所述多边形是通过对所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而形成。所述方法进一步包括：所述处理器在所述设计文件中存储具有动态层内容的所述多边形。在一个实施例中，所述方法进一步包括读取所述设计文件中的多个单元索引。每一单元索引可具有对应于所述芯片的单元数据的单元边界与数据。所述方法进一步包括：检索与单元索引相关联的所述单元边界；确定所述单元边界是否与关注区相交及所述单元边界是否含有关注层；以及如果所述单元边界与关注区相交且含有关注层，那么检索所述单元数据。在此实施例中，所述多边形是通过对所检索单元数据中的所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而产生。在另一实施例中，所述方法可进一步包括检测所述设计文件中的一或多个架构特有轮廓。在此实施例中，多边形可为通过对所述一或多个架构特有轮廓应用几何运算公式而形成。本专利技术的另一实施例可描述为一种用于在设计文件中存储动态层内容的系统。所述系统可包括经配置以存储一或多个设计文件的设计文件存储装置。每一设计文件可具有对应于芯片的多个过程层的设计数据。所述系统可进一步包括经配置以存储一或多个几何运算公式的几何运算公式数据库。所述几何运算公式可为OR、AND、GROW及/或SHRINK运算或者其任何组合。所述几何运算公式可对应于特定芯片或者芯片上的一或多个过程层。在一个实施例中，每一几何运算公式与特定芯片结构相关联。所述系统还可包括与所述设计文件存储装置及所述几何运算公式数据库电子通信的处理器。所述处理器可经配置以：从所述设计文件存储装置接收针对特定芯片的设计文件；从所述几何运算公式数据库接收几何运算公式；通过对所述设计文件的所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而产生具有动态层内容的多边形；及将所述设计文件更新成包含具有动态层内容的所述多边形。在另一实施例中，每一设计文件具有多个单元索引。每一单元索引具有单元边界及单元设计数据。在此实施例中，所述处理器进一步经配置以：检索与单元索引相关联的所述单元边界；确定所述单元边界是否与关注区相交；确定所述单元边界是否含有关注层；且如果所述单元边界与关注区相交且含有关注层，那么检索所述单元设计数据。所述多边形可为通过对所检索单元设计数据中的所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而产生。在一个实施例中，所述处理器可进一步经配置以检测所述设计文件中的一或多个架构特有轮廓。在此实施例中，所述多边形是通过对所述一或多个架构特有轮廓应用所述几何运算公式而产生。本专利技术的另一实施例可描述为一种非暂时性计算机可读媒体，所述非暂时性计算机可读媒体含有用于致使计算机执行以下方法的程序指令：在所述计算机处接收具有对应于多个过程层的设计数据的设计文件；在所述计算机处接收几何运算公式；使用所述计算机产生具有动态层内容的多边形，所述多边形是通过对所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而形成；且使用所述计算机在所述设计文件中存储具有动态层内容的所述多边形。在一个实施例中，所述非暂时性计算机可读媒体可含有进一步致使所述计算机执行以下操作的程序指令：读取所述设计文件中的多个单元索引，每一单元索引具有对应于所述芯片的单元数据的单元边界与数据；检索与单元索引相关联的所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在芯片的设计文件中存储动态层内容的方法，其包括：在处理器处接收具有对应于多个过程层的设计数据的设计文件；在所述处理器处接收几何运算公式；使用所述处理器产生具有动态层内容的多边形，所述多边形是通过对所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而形成；及使用所述处理器在所述设计文件中存储具有动态层内容的所述多边形。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.26 IN 6342/CHE/2015;2016.02.11 US 62/294,21.一种用于在芯片的设计文件中存储动态层内容的方法，其包括：在处理器处接收具有对应于多个过程层的设计数据的设计文件；在所述处理器处接收几何运算公式；使用所述处理器产生具有动态层内容的多边形，所述多边形是通过对所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而形成；及使用所述处理器在所述设计文件中存储具有动态层内容的所述多边形。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述几何运算公式与特定芯片区域相关联。3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：使用所述处理器读取所述设计文件中的多个单元索引，每一单元索引具有对应于所述芯片的单元数据的单元边界与数据；使用所述处理器检索与单元索引相关联的所述单元边界；使用所述处理器确定所述单元边界是否与关注区相交；使用所述处理器确定所述单元边界是否含有关注层；及如果所述单元边界与关注区相交且含有关注层，那么使用所述处理器检索所述单元数据；其中通过对所述所检索单元数据中的所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而产生所述多边形。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述几何运算公式是OR运算。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述几何运算公式是AND运算。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述几何运算公式是GROW运算。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述几何运算公式是SHRINK运算。8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：使用所述处理器检测所述设计文件中的一或多个架构特有轮廓，其中通过对所述一或多个架构特有轮廓应用所述几何运算公式而形成所述多边形。9.一种用于在设计文件中存储动态层内容的系统，其包括：设计文件存储装置，其经配置以存储一或多个设计文件，每一设计文件具有对应于芯片的多个过程层的设计数据；几何运算公式数据库，其经配置以存储一或多个几何运算公式；处理器，其与所述设计文件存储装置及所述几何运算公式数据库电子通信，所述处理器经配置以：从所述设计文件存储装置接收针对特定芯片的设计文件；从所述几何运算公式数据库接收几何运算公式；通过对所述设计文件的所述多个过程层中的两者或多于两者应用所述几何运算公式而产生具有动态层内容的多边形；及将所述设计文件更...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·杰亚瑞曼，S·坎都库里，G·罗素，A·拉曼，K·吴，P·古奈斯卡伦，A·巴拉吉，A·杰因，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US