转移探针和二维异质结的制备系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种转移探针和二维异质结的制备系统。该转移探针包括玻璃衬底及依次层叠在玻璃衬底上的透明的弹性缓冲层、提取层及转移层，提取层选自聚碳酸亚丙酯层及聚甲基丙烯酸甲酯层中的一种，转移层为氮化硼层，转移层的平整度为埃米级。上述转移探针能够有效保证二维异质结的平整性，进而提高二维异质结器件的质量。

The preparation system of transfer probe and two-dimensional heterojunction

The utility model relates to a transfer probe and a preparation system for two-dimensional heterojunction. The transfer probe includes the glass substrate and the transparent elastic buffer layer, the extraction layer and the transfer layer on the glass substrate. The extraction layer is selected from the polypropyl carbonate layer and the polymethyl methacrylate layer. The transfer layer is the boron nitride layer, and the smoothness of the transfer layer is ACI grade. The transfer probe can effectively guarantee the flatness of the two-dimensional heterojunction and further improve the quality of the two-dimensional heterojunction devices.

【技术实现步骤摘要】
转移探针和二维异质结的制备系统
本技术涉及一种转移探针和二维异质结的制备系统。
技术介绍
随着二维半导体材料的兴起，二维异质结突破传统器件材料的限制，成为制备电子器件的理想材料体系。但当前二维材料容易弯折，转移过程中容易导致二维异质结出现折皱，严重影响二维异质结的平整性。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够制备得到较为平整的二维异质结的转移探针。此外，还提供一种二维异质结的制备系统。一种转移探针，包括玻璃衬底、透明的弹性缓冲层、提取层及转移层，弹性缓冲层层叠在玻璃衬底上，提取层层叠在弹性缓冲层上，转移层层叠在提取层上，提取层选自聚碳酸亚丙酯层及聚甲基丙烯酸甲酯层中的一种，转移层为氮化硼层。上述转移探针的弹性缓冲层能够在二维材料堆叠过程中起到缓冲的作用，防止转移探针与二维材料硬接触而破坏二维异质结的平整性。提取层具有加热减粘的特性，能够在加热后失去粘性直接得到二维异质结，不必采用其他的机械方式来转移二维异质结，保证二维异质结的平整性。因此，上述转移探针能够有效保证二维异质结的平整性，进而提高二维异质结器件的质量。在其中一个实施例中，弹性缓冲层的厚度为0.5mm～5mm。在其中一个实施例中，弹性缓冲层为硅橡胶层。在其中一个实施例中，转移层的厚度为1nm～20nm。在其中一个实施例中，还包括透明胶带，透明胶带层叠在弹性缓冲层和提取层之间。一种二维异质结的制备系统，包括转移平台、载物台、上述的转移探针及显微镜成像组件，转移平台和载物台均能够在水平方向上移动，且转移平台和载物台均能够在竖直方向上伸缩，载物台能够承载样品，转移探针能够固定在转移平台上，显微镜成像组件能够对载物台上的样品进行成像，其中，转移平台和载物台中的至少一个伸缩而使转移探针的转移层远离提取层的一侧能够与二维材料接触。在其中一个实施例中，显微镜成像组件包括显微镜，显微镜为长焦距显微镜。在其中一个实施例中，还包括减震平台，转移平台、载物台及显微镜成像组件均安装在减震平台上。在其中一个实施例中，还包括加热台，加热台位于载物台上，加热台能够承载样品。在其中一个实施例中，还包括手套箱，载物台、转移平台、转移探针及显微镜成像组件均收容于手套箱中。附图说明图1为一实施方式的二维异质结的制备系统的剖面图；图2为图1所示的二维异质结的制备系统中转移探针的结构示意图；图3为一实施方式的二维异质结的制备方法的流程图；图4为图3所示的二维异质结的制备方法中的转移探针的制备方法的流程图；图5为实施例1得到的二维异质结的表面的原子力显微镜(AFM)图；图6为实施例4得到的二维异质结的表面的原子力显微镜(AFM)图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳的实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。请参阅图1，一实施方式的二维异质结制备系统10，能够用于制备二维异质结。其中，二维异质结制备系统10包括减震平台100、载物台200、加热台300、转移平台400、转移探针500、显微成像系统600及手套箱700。减震平台100为二维异质结制备系统10的支撑基础，用于减小二维异质结制备系统10的震动。在图示的实施例中，减震平台100包括第一平板110、第二平板120以及多个弹簧130。多个弹簧130位于第一平板110和第二平板120之间，并均与第一平板110和第二平板120弹性抵接。多个弹簧130能够通过伸缩减小第一平板110的震动，使二维异质结制备系统10更加稳定；同时，减震平台100的结构简单，易于装配。可以理解，减震平台100不限于为上述结构，第一平板110和第二平板120之间也可以设置海绵等缓冲物，只要能够起到减小震动的作用即可。载物台200安装在减震平台100上。其中，载物台200能够在水平方向上移动，且能够在竖直方向上伸缩。进一步地，载物台200的移动和伸缩的精度在微米级别。在图示的实施例中，载物台200大致为长方体结构，载物台200具有相对的顶面和底面，顶面和底面均为平面。载物台200的底面与第一平板110相抵接。可以理解，载物台200不限于为长方体结构，也可以为圆柱体结构和三棱柱结构等，只要载物台200能够安装在减震平台100上即可。当然，载物台200的顶面和底面也不限于为平面，也可以为曲面或不规则面，只要安装在减震平台200上并保持平稳即可。加热台300安装在载物平台200上，并能够随着载物台200移动。其中，加热台300上能够放置样品。其中，样品为吸附有二维材料的基板。在图示的实施例中，加热台300安装在载物台200的顶面。可以理解，加热台300不限于安装在载物台200的顶面，也可以安装在载物台200的其他位置，只要在加热台300上能够放置基板即可。驱动件410安装在减震平台100上，移动平台400能够在水平方向上移动，且能够在竖直方向上伸缩。进一步地，移动平台400的移动和伸缩的精度在微米级别。其中，移动平台400包括驱动件410和固定架420，驱动件410与固定架420固定连接。驱动件410能够在水平方向上移动，且能够在竖直方向上伸缩，固定架420能够随着驱动件410在水平方向上和竖直方向上移动。在图示的实施例中，驱动件410大致为长方体结构，驱动件410具有顶面和底面，顶面和底面均为平面，驱动件410的底面与第一平板110相抵接。固定架420大致为平板结构，固定架420具有连接面421，固定架420的连接面421与驱动件410的顶面相抵接。可以理解，驱动件410不限于为长方体结构，也可以为圆柱体结构和三棱柱结构等，只要驱动件410能够安装在减震平台100上，并与固定架420固定连接即可。当然，驱动件410的顶面和底面也不限于为平面，也可以为曲面或不规则面，只要驱动件410能够安装在减震平台200上，并保持平稳即可。转移探针500能够与移动平台400固定连接，并能够随着移动平台400移动。在图示的实施例中，转移探针500能够固定在连接面421上，且转移探针500位于固定架420远离驱动件410的一侧。转移探针500能够随着固定架420移动，并与加热台300上的样品相贴合，即转移探针500能够与基板远离加热台300的一侧相贴合，而使基板上的二维材料吸附到转移探针500上，以制备二维异质结。其中，加热台300能够对转移探针500加热。请一并参阅图2，转移探针500为透明结构。其中，转移探针500包括玻璃衬底510及依次层叠在玻璃衬底上的透明的弹性缓冲层520、透明胶带530、提取层54本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转移探针，其特征在于，包括玻璃衬底、透明的弹性缓冲层、提取层及转移层，所述弹性缓冲层层叠在所述玻璃衬底上，所述提取层层叠在所述弹性缓冲层上，所述转移层层叠在所述提取层上，所述提取层选自聚碳酸亚丙酯层及聚甲基丙烯酸甲酯层中的一种，所述转移层为氮化硼层。

【技术特征摘要】
1.一种转移探针，其特征在于，包括玻璃衬底、透明的弹性缓冲层、提取层及转移层，所述弹性缓冲层层叠在所述玻璃衬底上，所述提取层层叠在所述弹性缓冲层上，所述转移层层叠在所述提取层上，所述提取层选自聚碳酸亚丙酯层及聚甲基丙烯酸甲酯层中的一种，所述转移层为氮化硼层。2.根据权利要求1所述的转移探针，其特征在于，所述弹性缓冲层的厚度为0.5mm～5mm。3.根据权利要求1所述的转移探针，其特征在于，所述弹性缓冲层为硅橡胶层。4.根据权利要求1所述的转移探针，其特征在于，所述转移层的厚度为1nm～20nm。5.根据权利要求1所述的转移探针，其特征在于，还包括透明胶带，所述透明胶带层叠在所述弹性缓冲层和所述提取层之间。6.一种二维异质结的制备系统，其特征在于，包括转移平台、载物台、权利要求1～5任意一项所述的转移探针及显微镜成像组件，所述转移平台和所述载物台均能够在水平方向上移动，且所述转移平台和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴俊峰，赵悦，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：广东,44