低温高真空复合加热台制造技术

本发明专利技术公开了低温高真空复合加热台。该石英底座装设在真空保护罩内且试样样品置放石英底座上，该加热台能通过热传导加热试样样品。该真空保护罩上设有开口，该真空保护罩盖连接在真空保护罩上，该真空保护罩盖上设有可视窗。该四通管的第一端口接通真空保护罩，该放气阀接在第二端口和真空计之间，该第一控制阀接在第三端口和保护气体储气罐之间，该第二控制阀接在第四端口和控制系统之间，该控制系统接有抽气管道，该抽气管道接通真空泵和分子泵。它具有如下优点：能在低温区域(600℃以下)精确控制加热温度，能根据需要选择在真空环境下加热实验或通有惰性保护气体环境下加热实验。

Low temperature and high vacuum compound heating table

The invention discloses a low temperature and high vacuum composite heating platform. The quartz base is installed in a vacuum cover and the sample is placed on the quartz base. The heating table can heat the sample through heat conduction. An opening is arranged on the vacuum protective cover, which is connected with the vacuum protective cover, and the vacuum protective cover is provided with a visual window. The first port of the four pipe is connected to the vacuum shield, which is connected between the second port and the vacuum gauge. The first control valve is connected between the third port and the protective gas storage tank. The second control valve is connected between the fourth port and the control system. The control system is connected with a suction pipe and the suction pipe is connected to the vacuum pump. And molecular pumps. It has the following advantages: it can accurately control the heating temperature in the low temperature region (below 600 degrees C), and can select the heating experiment under the vacuum environment, or the heating experiment under the inert protected gas environment according to the need.

【技术实现步骤摘要】
低温高真空复合加热台
本专利技术涉及一种加热设备领域，尤其涉及一种用于加热钎焊金刚石的低温高真空复合加热台。
技术介绍
在钎焊金刚石工具领域，由于金刚石钎焊焊料多为高元、高熔点的合金，以至于目前用于制备钎焊金刚石工具的设备多为高温钎焊炉或者是管式炉。近年来越来越多研究人员开始关注钎焊金刚石工具的品质，以期制备高端优良的钎焊金刚石工具。为了降低金刚石热损伤，低温钎焊金刚石的研究越来越热。然而，现有制备钎焊金刚石工具的设备对于研究人员来说存在有如下不足：其一，现有制备钎焊金刚石工具的设备大多使用高温热电偶，其结果是在高温区域，热电偶温控精度比较准确，然而在低温区域特别是450℃以下区域温控不准；其二，对于管式炉来说，由于石英管为圆形，实验装样非常麻烦；其三，少有观察窗口，难以观察到金刚石工具的钎焊情况。因此随着低温钎焊金刚石工具研究的开展，迫切需要高真空度，低温(600℃以下)温控准确、带可视窗的加热设备。
技术实现思路
本专利技术提供了低温高真空复合加热台，其克服了
技术介绍
中高温钎焊炉或者管式炉所存在的不足。本专利技术解决其技术问题的所采用的技术方案之一是：低温高真空复合加热台，包括加热台(1)、石英底座(2)、真空保护罩(4)、四通管(6)、真空计(7)、放气阀(8)、第一控制阀(9)、装有保护气体的保护气体储气罐(12)、第二控制阀(13)、控制系统(16)、真空泵(17)、抽气管道(18)、分子泵(19)和真空保护罩盖(20)；该石英底座(2)装设在真空保护罩(4)内且试样样品(3)置放石英底座(2)上，该加热台(1)和石英底座(2)连接以使加热台(1)能通过热传导加热试样样品(3)；该真空保护罩(4)上设有开口，该真空保护罩盖(20)能打开或关闭以密封开口地连接在真空保护罩(4)上，该真空保护罩盖(20)上设有可视窗(21)；该四通管(6)具有的四个端口分别为第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；该第一端口接通真空保护罩(4)，该放气阀(8)接在第二端口和真空计(7)之间，该第一控制阀(9)接在第三端口和保护气体储气罐(12)之间，该第二控制阀(13)接在第四端口和控制系统(16)之间，该控制系统(16)接有抽气管道(18)，该抽气管道(18)接通真空泵(17)和分子泵(19)。还包括变径管(5)，该变径管(5)接在四通管(6)的第一端口和真空保护罩(4)之间。还包括保护气体管道(11)，该保护气体管道(11)接在第一控制阀(9)和保护气体储气罐(12)之间，该保护气体管道(11)上设有第一波纹管(10)。还包括真空管道(14)，该真空管道(14)接在第二控制阀(13)和控制系统(16)之间，该真空管道(14)上设有第二波纹管(15)。该加热台(1)的最高加热温度为450℃-600℃。该真空保护罩(4)材料为不锈钢，该开口设在真空保护罩(4)顶部，该可视窗(21)采用石英可视窗(21)。该加热台(1)具有加热板，该加热板位于真空保护罩(4)之内且通过热传导加热试样样品(3)。该加热台(1)位于真空保护罩(4)之内。本专利技术解决其技术问题的所采用的技术方案之一是：上述的低温高真空复合加热台的加热方法，该方法能选择保护气体加热方法和真空加热方法；若需要进行真空环境实验，则采用真空加热方法，它包括：打开真空保护罩盖(20)，将试样样品(3)放在石英底座(2)上，关闭真空保护罩盖(20)；关闭第一控制阀(9)，打开第二控制阀(13)，打开控制系统(16)，先利用真空泵(17)抽取真空，接着利用分子泵(19)抽取真空，经过两级抽取之后，使真空保护罩(4)内达到0.0004帕的超低真空度；打开加热台(1)工作按钮，设定实验温度，进行实验；若需要进行通保护气体环境实验，则保护气体加热方法，它包括：打开真空保护罩盖(20)，将试样样品(3)放在石英底座(2)上，关闭真空保护罩盖(20)；打开第一控制阀(9)，关闭第二控制阀(13)，打开保护气体储气罐(12)阀门，使保护气体充入真空保护罩(4)；打开加热台(1)工作按钮，设定实验温度，进行实验。本技术方案与
技术介绍
相比，它具有如下优点：包含真空保护罩、加热台、石英底座，石英底座装设在真空保护罩内且试样样品置放石英底座上，加热台和石英底座连接以使加热台能通过热传导加热试样样品，以能在低温区域(600℃以下)精确控制加热温度。该真空保护罩上设有开口，真空保护罩盖上设有可视窗，可在原位观察钎料合金的润湿铺展行为，方便试样取放。包含有四通管，四通管接真空保护罩、真空计、装有保护气体的保护气体储气罐、控制系统、真空泵、抽气管道和分子泵，第一，能根据需要选择在真空环境下加热实验或通有惰性保护气体环境下加热实验，第二，通过真空泵和分子泵能实现两级抽真空，真空度高，效率高，第三，实验装置布局合理，结构紧凑。还包括变径管，变径管接在四通管的第一端口和真空保护罩之间，装配方便快速。保护气体管道上设有第一波纹管，真空管道上设有第二波纹管，便于装配，降低设备的生产精度。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明。图1为实施例一的低温高真空复合加热台的结构示意图；图2为实施例一的真空保护罩的俯视示意图；图3为实施例一的真空保护罩的主视示意图；图4为实施例二的低温高真空复合加热台的结构示意图；图5为实施例二的真空保护罩的主视示意图；具体实施方式实施例一低温高真空复合加热台，请查阅图1、图2和图3，包括加热台1、石英底座2、真空保护罩4、变径管5、四通管6、真空计7、放气阀8、第一控制阀9、保护气体管道11、装有稀有保护气体的保护气体储气罐12、第二控制阀13、真空管道14、控制系统16、真空泵17、抽气管道18、分子泵19和真空保护罩盖20。该真空保护罩4上设有开口，该真空保护罩盖20连接在真空保护罩4上以能打开该开口以放取该试样样品3或关闭该开口以密封该开口，该真空保护罩盖20上设有可视窗21，如罩盖20设贯穿通孔，该可视窗21密封固接在该贯穿通孔。一具体结构中，该真空保护罩4材料为不锈钢，该开口设在真空保护罩4顶部，该可视窗21采用石英可视窗21。该加热台1具有加热板和支撑部分，该真空保护罩4设在支撑部分之上，该加热板和石英底座2装设在真空保护罩4内且试样样品3置放在石英底座2上(位于真空保护罩4内)。该加热板通过热传导加热试样样品3，如加热板位于石英底座2之下，通过加热板加热试样样品3。该加热台1的最高加热温度为450℃-600℃。该四通管6具有的四个端口分别为第一端口、第二端口、第三端口和第四端口。该变径管5接在四通管6的第一端口和真空保护罩4之间，该变径管5如为KF标准变径管。该放气阀8接在四通管6的第二端口和真空计7之间。该第一控制阀9接在四通管6的第三端口和保护气体管道11之间，该保护气体管道11接在第一控制阀9和保护气体储气罐12之间，该保护气体管道11上设有第一波纹管10。该第二控制阀13接在四通管6的第四端口和真空管道14之间，该真空管道14接在第二控制阀13和控制系统16之间，该控制系统16接通有抽气管道18，该抽气管道18接通有真空泵17和分子泵19，该真空管道14上设有第二波纹管15。其中：该真空泵17如为双极旋片真空泵，该分子泵如为KYKY分子泵。该低温高真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.低温高真空复合加热台，其特征在于：包括加热台(1)、石英底座(2)、真空保护罩(4)、四通管(6)、真空计(7)、放气阀(8)、第一控制阀(9)、装有保护气体的保护气体储气罐(12)、第二控制阀(13)、控制系统(16)、真空泵(17)、抽气管道(18)、分子泵(19)和真空保护罩盖(20)；该石英底座(2)装设在真空保护罩(4)内且试样样品(3)置放石英底座(2)上，该加热台(1)和石英底座(2)连接以使加热台(1)能通过热传导加热试样样品(3)；该真空保护罩(4)上设有开口，该真空保护罩盖(20)能打开或关闭以密封开口地连接在真空保护罩(4)上，该真空保护罩盖(20)上设有可视窗(21)；该四通管(6)具有的四个端口分别为第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；该第一端口接通真空保护罩(4)，该放气阀(8)接在第二端口和真空计(7)之间，该第一控制阀(9)接在第三端口和保护气体储气罐(12)之间，该第二控制阀(13)接在第四端口和控制系统(16)之间，该控制系统(16)接通有抽气管道(18)，该抽气管道(18)接真空泵(17)和分子泵(19)。

【技术特征摘要】
1.低温高真空复合加热台，其特征在于：包括加热台(1)、石英底座(2)、真空保护罩(4)、四通管(6)、真空计(7)、放气阀(8)、第一控制阀(9)、装有保护气体的保护气体储气罐(12)、第二控制阀(13)、控制系统(16)、真空泵(17)、抽气管道(18)、分子泵(19)和真空保护罩盖(20)；该石英底座(2)装设在真空保护罩(4)内且试样样品(3)置放石英底座(2)上，该加热台(1)和石英底座(2)连接以使加热台(1)能通过热传导加热试样样品(3)；该真空保护罩(4)上设有开口，该真空保护罩盖(20)能打开或关闭以密封开口地连接在真空保护罩(4)上，该真空保护罩盖(20)上设有可视窗(21)；该四通管(6)具有的四个端口分别为第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；该第一端口接通真空保护罩(4)，该放气阀(8)接在第二端口和真空计(7)之间，该第一控制阀(9)接在第三端口和保护气体储气罐(12)之间，该第二控制阀(13)接在第四端口和控制系统(16)之间，该控制系统(16)接通有抽气管道(18)，该抽气管道(18)接真空泵(17)和分子泵(19)。2.根据权利要求1所述的低温高真空复合加热台，其特征在于：还包括变径管(5)，该变径管(5)接在四通管(6)的第一端口和真空保护罩(4)之间。3.根据权利要求1所述的低温高真空复合加热台，其特征在于：还包括保护气体管道(11)，该保护气体管道(11)接在第一控制阀(9)和保护气体储气罐(12)之间，该保护气体管道(11)上设有第一波纹管(10)。4.根据权利要求1所述的低温高真空复合加热台，其特征在于：还包括真空管道(14)，该真空管道(14)接在第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺琦琦，廖信江，穆德魁，黄辉，徐西鹏，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：发明
国别省市：福建,35