【技术实现步骤摘要】
一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达
本技术属于压电定位器
，涉及一种微驱动系统，具体涉及一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达。
技术介绍
纳米技术是用单个原子、分子制造物质的科学技术，研究结构尺寸在0.1至100纳米范围内材料的性质和应用。随着纳米科学技术的发展，又引发了一系列新的科学技术，如纳米物理学、纳米生物学、纳米化学、纳米电子学和纳米计量学等，而纳米马达正是纳米科技研究中用于纳米定位和纳米测量的新型微驱动系统。纳米步进马达是一种能够同时实现纳米级定位精度和厘米级行程的压电定位器，它主要利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料的声振动和微小形变的累加效果来产生移动，而压电叠堆则是在此基础上扩大了其性能：不仅保持了压电陶瓷片原有的特性和优点，而且其位移量和输出力都有较大提高。由于纳米步进马达具有结构简单、设计灵活、驱动力大等优点而被广泛应用于纳米技术、微机械和微系统、通讯传感技术、半导体技术、电子扫描技术、微生物技术等领域，特别是在极低温和超强磁场等极端条件下作为微型扫描探针显微镜的微调定位装置。公开号为CN107086812ACN、名称为“一种基于剪...
【技术保护点】
1.一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达，包括基座、一个压电叠堆、一个刚性传力块、一个柔性传力块和滑杆，所述压电叠堆按正负极相互短接垂直固定于基座上，并于其上施加一路驱动信号，所述刚性传力块粘接固定于压电叠堆的自由端，并与柔性传力块通过挤压方式固定滑杆，挤压压力满足：刚性传力块和柔性传力块对滑杆的最大静摩擦力略大于滑杆自身重力,其中刚性传力块由一个刚性导向槽和四颗粘贴于刚性导向槽内壁的氮化硅圆球组成,柔性传力块由一个铍铜弹簧片和两个穿过铍铜弹簧片并固定于刚性导向槽上的螺丝组成。
【技术特征摘要】
1.一种基于单个压电叠堆的惯性纳米步进马达，包括基座、一个压电叠堆、一个刚性传力块、一个柔性传力块和滑杆，所述压电叠堆按正负极相互短接垂直固定于基座上，并于其上施加一路驱动信号，所述刚性传力块粘接固定于压电叠堆的自由端，并与柔性传力块通过挤压方式固定滑杆，挤压压力满足：刚性传力块和柔性传力块...
【专利技术属性】
技术研发人员：庞宗强，周泽清，张悦，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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