OLED蒸镀装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种OLED蒸镀装置及系统，OLED蒸镀装置与控制装置电连接。OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备。腔体内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备的腔室，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个蒸镀设备经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。腔体内还包括移动机构。控制装置用于通过移动机构控制不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各腔室的动作。该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。

【技术实现步骤摘要】
OLED蒸镀装置及系统
本专利技术涉及显示屏
，特别是涉及一种OLED蒸镀装置及系统。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示屏中的有机发光层进行制备时，通常采用真空蒸镀技术，即在真空腔室中，通过加热加热源向玻璃基板蒸镀有机材料，并利用晶振来控制膜厚。玻璃基板放置于样品托架上，其下方放置的FMM(FineMetalMask，高精度金属掩模板)控制蒸镀图案。然而，在传统的蒸镀工艺中，因坩埚的容积有限，在蒸镀144小时后需要将蒸镀设备开腔以向坩埚内添加有机材料，再加上更换晶振、更换内衬、升温等，需额外耗费48小时，才可以继续下一次蒸镀过程，从而导致大批量生产的效率较低。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统OLED大批量生产的效率较低的问题，提供一种OLED蒸镀装置及系统。一种OLED蒸镀装置，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种OLED蒸镀装置，其特征在于，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。

【技术特征摘要】
1.一种OLED蒸镀装置，其特征在于，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中包括用于供所述蒸镀设备进行蒸镀的蒸镀腔室。3.根据权利要求2所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括用于更换所述蒸镀设备内的有机材料的加料腔室。4.根据权利要求3所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括升温腔室；所述升温腔室位于所述加料腔室的出口与所述蒸镀腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述升温腔室内进行升温。...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦浩，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32