一种炉体热电偶通孔的工装制造技术

一种炉体热电偶通孔的工装，包含平衡板和穿针套件，所述穿针套件由穿针、挡板一、挡板二、螺母组成，所述穿针套件的个数等于炉体中热电偶的个数，所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节。热电偶通孔的工装的穿针穿过热电偶固定块，直插过炉体保温材料，确保穿针在两根炉丝的中间位置。待固定好热电偶固定块位置后，拆下热电偶通孔的工装，将热电偶穿过热电偶固定块的预留孔即可。本实用新型专利技术操作简单，方便快捷，热电偶初始位置和伸出位置在同一水平面上，热电偶伸出部位的上、下、左、右偏差较小，测量温度和实际要求温度的偏差在允许的范围内，从而提高晶体生长和产品质量。

A tooling of a furnace body thermocouple through holes

A device for a furnace body thermocouple through a hole, including a balance plate and a needle kit, which consists of a needle, a baffle one, a baffle two, and a nut. The number of the needle Suites is equal to the number of thermocouples in the furnace body, and the distance between the needle suites can also be freely adjusted according to the actual conditions. The piercing needle of the thermocouple through-hole tool passes through the thermocouple fixing block and is inserted directly into the furnace body insulation material to ensure the middle position of the piercing needle between the two furnace wires. After fixing the position of the thermocouple fixing block, remove the fixture for the through hole of the thermocouple and pass the thermocouple through the reserved hole of the thermocouple fixing block. The utility model has the advantages of simple operation, convenient and quick, the initial position and protruding position of the thermocouple on the same horizontal plane. The upper, lower, left and right deviations of the thermocouple outstretched part are small, and the measurement temperature and the actual requirement of temperature deviation are within the allowable range, thus improving the crystal growth and product quality.

【技术实现步骤摘要】
一种炉体热电偶通孔的工装
本技术涉及半导体材料加工领域，更具体地说，特别涉及一种炉体热电偶通孔的工装。
技术介绍
近年来，国内半导体行业快速发展，对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求，特别是对单晶产品质量和生产设备的要求。其中温度控制是单晶生产过程中的重中之重，而热电偶的放置精确又是直接影响温度的因素之一。目前国内各类单晶生产企业较多，现有单晶生产所用炉体的热电偶通孔，均通过人工和简易的工具直接通孔。由于炉体的保温层是软质材料，极易造成热电偶初始位置和伸出位置不在同一水平面上，热电偶伸出部位的上、下、左、右偏差很大，从而造成测量温度和实际要求温度有偏差，直接影响晶体生长及产品质量。
技术实现思路
(1)技术问题因此，如何解决上述炉体中热电偶通孔由人工或简易工具直接通孔而造成的测量温度与实际要求温度有偏差的问题，成了本领域技术人员亟待解决的问题。(2)技术方案针对上述问题，本技术的内容是提供一种炉体热电偶通孔的工装。一种炉体热电偶通孔的工装，包含平衡板和穿针套件，所述穿针套件由穿针、挡板一、挡板二、螺母组成，所述穿针套件的个数等于炉体中热电偶的个数。所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节。所述平衡板是垂直放置的板，优选金属材质，也可采用硬塑料板。所述平衡板设置有平衡板开槽。所述平衡板开槽位于平衡板的中央位置。所述穿针是由头端、主体和尾端组成一体结构。所述穿针的头端呈尖状，所述穿针的主体为圆柱状结构，所述穿针的尾端设置有螺纹。所述穿针优选采用金属材质，优选铬材质。具体的，所述平衡板开槽长度小于平衡板的长度10～20厘米，所述平衡板开槽宽度等于所述穿针主体的外径。所述平衡板开槽的深度等于所述平衡板的厚度。所述螺母采用六角螺母，所述螺母的螺纹与所述穿针的尾端的螺纹相匹配，所述螺母的内径等于所述穿针尾端的外径。所述挡板一和挡板二优选但不限于正方形金属板，也可设置为圆形金属板。所述挡板一和挡板二形状相同、大小相同。所述挡板一和挡板二中心位置设置有圆孔，所述圆孔的直径等于所述穿针主体的外径。所述挡板一设置于所述平衡板靠近炉体的一侧，所述挡板二设置于所述平衡板背向炉体的一侧。所述挡板一和挡板二采用金属材质，优选铁材质。所述穿针穿过所述挡板一中心的圆孔与所述挡板一焊接成一体。所述挡板一与所述穿针尾端的螺纹之间的距离等于所述平衡板厚度和所述挡板二厚度之和。所述穿针通过挡板一中心的圆孔焊接形成一体，穿过平衡板开槽和挡板二中心的圆孔，最后用螺母固定。为了穿针套件更精确的垂直于平衡板安装，一种炉体热电偶通孔的工装，还包含有固定支架，所述固定支架的个数与所述穿针套件个数相同。所述固定支架是由铁板制成的类直角三角形结构，所述固定支架的“直角”部位设置呈圆弧状，以便于为所述挡板一留出空间。所述固定支架的竖直直角边预留有螺栓孔。将固定支架的水平直角边紧邻穿针下端放置，此时采用螺栓穿过螺栓孔和平衡板开槽可将所述固定支架固定于所述平衡板，于是穿针套件能够更精确的垂直于平衡板，并且固定牢固稳定。作为上述方案的进一步优化，本技术中的穿针套件的数量可以根据炉体热电偶的数量进行增减，所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节。(3)有益效果本技术操作简单，方便快捷，热电偶初始位置和伸出位置在同一水平面上，热电偶伸出部位的上、下、左、右偏差较小，测量温度和实际要求温度的偏差在允许的范围内，从而提高晶体生长和产品质量。本技术还具有广泛的适用性，不仅适用于单晶炉使用，还适用于多晶炉、扩散炉、退火炉、合成炉、氧化炉等采用电极加热的工业装备或设备。附图说明图1为本技术的结构示意图，图2是本技术穿针套件放大示意图，图3是是本技术的侧视结构示意图，图4是本技术固定支架结构示意图，图5是本技术的装配示意图。图中：1是平衡板，2是穿针，3是挡板一，4是挡板二，5是螺母，6是平衡板开槽，7是固定支架，8是电极，9是炉丝，10是炉体，11是热电偶固定块，12是炉膛，13是热电偶通孔的工装。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明。在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。如图1和图2所示，一种炉体热电偶通孔的工装，包含平衡板1和穿针套件，所述穿针套件由穿针2、挡板一3、挡板二4、螺母5组成，所述穿针套件的个数等于炉体中热电偶的个数。所述平衡板1是垂直放置的板，优选金属材质，也可采用硬塑料板。所述平衡板1设置有平衡板开槽6，见图3。所述平衡板开槽6位于平衡板1的中央位置。所述穿针2是由头端、主体和尾端组成一体结构。所述穿针的头端呈尖状，所述穿针的主体为圆柱状结构，所述穿针的尾端设置有螺纹。所述穿针2优选采用金属材质，优选铬材质。具体的，所述平衡板开槽6长度小于平衡板的长度10～20厘米，所述平衡板开槽6宽度等于所述穿针主体的外径，所述平衡板开槽6的深度等于所述平衡板的厚度。所述螺母5采用六角螺母，所述螺母的螺纹与所述穿针的尾端的螺纹相匹配，所述螺母的内径等于所述穿针尾端的外径。所述挡板一3和挡板二4优选但不限于正方形金属板，也可设置为圆形金属板。所述挡板一3和挡板二4形状相同、大小相同。所述挡板一3和挡板二4中心位置设置有圆孔，所述圆孔的直径等于所述穿针主体的外径。所述挡板一3设置于所述平衡板靠近炉体的一侧，所述挡板二4设置于所述平衡板背向炉体的一侧。所述挡板一3和挡板二4采用金属材质，优选铁材质。所述穿针2穿过所述挡板一3中心的圆孔与所述挡板一3焊接成一体。所述挡板一3与所述穿针2尾端的螺纹之间的距离等于所述平衡板1厚度和所述挡板二4厚度之和。由于挡板二4与穿针2是相互独立的零部件，方便了穿针2在平衡板开槽6中高度的调节。所述穿针2通过挡板一3中心的圆孔焊接形成一体，穿过平衡板开槽6和挡板二4中心的圆孔，最后用螺母5固定。为了穿针套件更精确的垂直于平衡板安装，一种炉体热电偶通孔的工装，还包含有固定支架7，所述固定支架的个数与所述穿针套件个数相同。如图4所示，所述固定支架是由铁板制成的类直角三角形结构，所述固定支架的“直角”部位设置呈圆弧状，以便于为所述挡板一留出空间。所述固定支架的竖直直角边预留有螺栓孔。将固定支架的水平直角边紧邻穿针下端放置，此时采用螺栓穿过螺栓孔和平衡板开槽可将所述固定支架固定于所述平衡板，于是穿针套件能够更精确的垂直于平衡板，并且固定牢固稳定。作为上述方案的进一步优化，本技术中的穿针套件的数量可以根据炉体热电偶的数量进行增减，所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节。一种用于炉体热电偶通孔的工装使用方法包括如下步骤：①将焊接好的穿针2和挡板一3穿过平衡板开槽6；②将挡板二4穿过穿针的尾端，置于所述平衡板背向炉体的一侧；③将螺母5旋拧在穿针2的尾端；④将固定支架安装在平衡板朝向炉体的一侧，稳定穿针套件；若平衡板较短本步骤可省略；⑤根据实际需求按照①-④的步骤组装穿针套件的数量。具体实施例：如图5所示，电极8焊接在炉丝9本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉体热电偶通孔的工装，包含平衡板和穿针套件，其特征在于：所述穿针套件由穿针、挡板一、挡板二、螺母组成，所述穿针套件的个数等于炉体中热电偶的个数，所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节；所述平衡板设置有平衡板开槽，所述平衡板开槽位于平衡板的中央位置；所述穿针是由头端、主体和尾端组成一体结构，所述穿针的头端呈尖状，所述穿针的主体为圆柱状结构，所述穿针的尾端设置有螺纹；所述挡板一和挡板二优选为正方形金属板，也可设置为圆形金属板；所述螺母采用六角螺母。

【技术特征摘要】
1.一种炉体热电偶通孔的工装，包含平衡板和穿针套件，其特征在于：所述穿针套件由穿针、挡板一、挡板二、螺母组成，所述穿针套件的个数等于炉体中热电偶的个数，所述穿针套件之间的距离也可根据实际情况自由调节；所述平衡板设置有平衡板开槽，所述平衡板开槽位于平衡板的中央位置；所述穿针是由头端、主体和尾端组成一体结构，所述穿针的头端呈尖状，所述穿针的主体为圆柱状结构，所述穿针的尾端设置有螺纹；所述挡板一和挡板二优选为正方形金属板，也可设置为圆形金属板；所述螺母采用六角螺母。2.根据权利要求1所述的一种炉体热电偶通孔的工装，其特征在于：所述平衡板开槽长度小于平衡板的长度10～20厘米，所述平衡板开槽宽度等于所述穿针的主体的外径，所述平衡板开槽的深度等于所述平衡板的厚度。3.根据权利要求1所述的一种炉体热电偶通孔的工装，其特征在于：所述螺母的螺纹与所述穿针的尾端的螺纹相匹配，所述螺母的内径等...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏守冲，张庆龙，
申请(专利权)人：磐石创新北京电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11