分选单元和检验系统技术方案

本公开内容的实施方式提供分选单元和检验系统。在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。

Sorting unit and inspection system

The embodiment of the disclosure provides a sorting unit and a checking system. In one example, a sorting unit includes a sorting system and a plurality of bins in which the substrate is sorted. The sorting unit consists of a material box handling device. The material box handling device has a first terminal receiver for receiving a material box in a plurality of material boxes and a second terminal receiver for placing the empty material box in the previous position of the received material box. In one example, a method for manipulating sorting units is also provided.

【技术实现步骤摘要】
分选单元和检验系统
本公开内容的方面通常涉及从分选装置(诸如旋转分选单元)装载和卸载料箱。
技术介绍
基于检验标准使用分选单元(诸如旋转式分选机)分选基板。基于检查标准，通过分选单元将所检查的基板放入多个料箱中的一个。一旦料箱被所分选的基板填满，就将满的料箱移除并替换为空的料箱，以便有助于对基板的另外分选。移除满的料箱并替换为空的料箱是由操作人员手动执行的常规操作。然而，手动移除和替换存在若干缺点。例如，如果没有及时移除满的料箱，那么分选单元有可能将使料箱过载或试图使料箱过载，从而导致基板损坏。另外，如果没有及时放置替换料箱以接收所分选的基板，那么也有可能发生对所分选的基板的损坏。在可能停止旋转式分选机以允许料箱的移除和替换而不损坏基板的常规操作中，产量降低。因此，需要用于装载和卸载分选单元的料箱的改进的方法和设备。
技术实现思路
本专利技术可涉及一种分选单元，其特征在于包括：分选系统，所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及旋转料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。上述分选单元中，所述多个料箱可被布置成圆形布局，并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。上述分选单元中，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径可处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。上述分选单元中，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器可同时绕着所述弧形路径移动。上述分选单元中，所述料箱搬运装置可包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。上述分选单元中，所述基板夹持件可垂直地定位在所述多个料箱上方。上述分选单元可进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置定位在所述可旋转支撑件下方。本公开内容还可涉及一种检验系统，其特征在于包括：装载单元；模块单元，所述模块单元包括一个或多个计量站；以及分选单元，包括：分选系统，所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及旋转料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。上述检验系统可进一步包括直线式输送装置，所述直线式输送装置从所述装载单元延伸而穿过所述模块单元，并且到达所述分选单元。上述检验系统中，所述多个料箱可被布置成圆形布局，并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。上述检验系统中，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径可处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。上述检验系统中，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器可同时绕着所述弧形路径移动。上述检验系统中，所述料箱搬运装置可包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。上述检验系统中，所述基板夹持件可垂直地定位在所述多个料箱上方。在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板通过分选系统被分选到这些料箱中。分选单元还包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在另一示例中，一种检验系统包括装载单元、模块单元(模块单元包括一个或多个计量站)以及分选单元。分选单元包括分选系统、多个料箱(基板通过分选系统被分选到这些料箱中)以及料箱搬运装置。料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，一种操作分选单元的方法包括基于检验标准而将多个基板分选到多个料箱中的相应料箱中，并且确定多个料箱中的料箱中的一个处于满的或接近满的状态；响应于确定而将空的料箱与料箱搬运装置的第一终端受动器接合，并且移动带有空的料箱的料箱搬运装置以邻近于满的或接近满的料箱。将满的或接近满的料箱与料箱搬运装置的第二终端受动器接合，并且利用空的料箱替换满的或接近满的料箱。附图说明为了能够详细理解本公开内容的上述特征结构所用方式，可以参考各个方面得到上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述，其中一些方面在附图中示出。然而，应当注意，附图仅示出了示例性的方面，并且因此不应被视为对范围的限制，因为本公开内容可允许其它同等有效的方面。图1A是根据本公开内容的一个方面的检验系统的示意性顶部平面图。图1B是根据本公开内容的一个方面的图1A的检验系统的高速旋转式分选机的示意性顶部平面图。图1C是根据本公开内容的一个方面的图1B的高速旋转式分选机的示意性侧视图。图2是根据本公开内容的一个方面的制造设备的示意性平面图。为了有助于理解，已尽可能使用相同参考数字标示附图间共有的相同元件。设想一个方面的元件和特征结构可有利地并入其它方面，而无需进一步叙述。具体实施方式在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板通过分选系统被分选到这些料箱中。分选单元还包括了料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，一种操作分选单元的方法包括基于检验标准而将多个基板分选到多个料箱中的相应料箱中，并且确定多个料箱中的料箱中的一个处于满的或接近满的状态；响应于确定而将空的料箱与料箱搬运装置的第一终端受动器接合，并且移动带有空的料箱的料箱搬运装置以邻近于满的或接近满的料箱。将满的或接近满的料箱与料箱搬运装置的第二终端受动器接合，并且利用空的料箱替换满的或接近满的料箱。图1A示出根据一个方面的检验系统100的顶部平面图。图1B示出了根据一个方面的图1A的检验系统100的分选单元106的顶部平面图。图1C是根据一个方面的图1B的旋转式分选机的示意性侧视图。为了有助于说明，将结合地说明图1A-图1C。检验系统100包括前端102、模块单元104和分选单元106。前端102可为例如装载单元。前端102帮助基板110经由机器人108从装载盒112传送到模块单元104。机器人108将基板110定位在输送系统114上，输送系统将基板传送通过模块单元104并传送到分选单元106。模块单元104可为例如计量单元，并且可以包括一个或多个计量站。在图1A-图1C的方面中，模块单元104包括五个计量站116A-116E，这五个计量站被配置为在基板110被传送而通过输送系统114上的模块单元104时检验基板110。设想还可通过向模块单元104添加或减少计量站来修改检验系统100。计量站可以包括例如以下项中的任意项：微裂(micro-crack)检验单元、厚度测量单元、电阻率测量单元、光致发光单元、几何结构检验单元、刀痕(sawmark)检测单元、色斑(stain)检测单元、芯片检测单元和/或晶体分数(crystalfraction本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分选单元，其特征在于包括：分选系统，所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及旋转料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。

【技术特征摘要】
2017.07.21 US 62/535,270;2017.09.19 US 15/708,9431.一种分选单元，其特征在于包括：分选系统，所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及旋转料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。2.如权利要求1所述的分选单元，其中所述多个料箱被布置成圆形布局，并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。3.如权利要求2所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。4.如权利要求3所述的分选单元，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器同时绕着所述弧形路径移动。5.如权利要求1所述的分选单元，其中所述料箱搬运装置包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件，所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。6.如权利要求1所述的分选单元，其中所述基板夹持件垂直地定位在所述多个料箱上方。7.如权利要求6所述的分选单元，进一步包括直线式输送装置，所述直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯·J·施托佩尔，阿萨夫·施勒岑杰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：美国,US