基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室，样品室两侧设有第一测试室和第二测试室，第一测试室和第二测试室分别通过第一通孔和第二通孔与样品室相连通，第一测试室连接第一真空规管，样品室连接第二真空规管，第二测试室连接第三真空规管，第一测试室通过角阀连接分子泵和机械泵，第一测试室通过第一插板阀连接离子泵，第二测试室通过第二插板阀连接离子泵；本实用新型专利技术采用双测试室对称气路转换结构，在测量待测材料样品的放气率时，仅需读取同一真空规管显示的真空度数值进行计算，有效避免了不同真空规管测量过程中产生的误差，测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。

Material outgassing rate measuring device based on dual test chamber air path transformation

The utility model discloses a material release rate measuring device based on a double test room gas path conversion, which includes a sample room, a first test room and a second test room on both sides of the sample room. The first test room and the second test room are connected to the sample chamber through the first through holes and the second through holes, and the first test room connects the first vacuum. The second vacuum gauge tube is connected with the sample room. The second test room connects the third vacuum gauge. The first test room connects the molecular pump and the mechanical pump through the angle valve. The first test room connects the ion pump through the first plate valve, and the second test room connects the ion pump through the second plate valve; the utility model adopts a double test chamber symmetrical gas path. The conversion structure, when measuring the gas release rate of the material to be measured, only needs to read the vacuum degree of the same vacuum gauge to calculate the value of the vacuum gauge. It effectively avoids the error produced in the different vacuum gauge measurement process, the measurement accuracy is high, the uncertainty is small, and the measurement limits are extended, and the measurement range is wide.

【技术实现步骤摘要】
基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置
本技术属于真空材料测量
，涉及一种材料放气率测量装置，具体是一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置。
技术介绍
放置于真空环境中的材料会产生以下三种形式的放气现象：1、在大气环境中吸附在材料表面气体的脱附；2、溶解在材料内部的气体通过扩散而放出；3、材料自身的蒸发、分解。现代科研及工业生产中越来越多的使用到真空环境，例如航天器地面试验、真空镀膜、半导体加工等。因此，国内外一直开展着真空材料出放气相关的研究工作。随着实验、生产环境需求的逐步提高，对真空材料放气率测量的要求也不断提高。目前，现有的真空材料放气率测量装置和测量方法普遍存在测量精度低，不确定度大，测量范围窄等缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，使得真空材料放气率的测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室，所述样品室两侧分别设有第一测试室和第二测试室，所述第一测试室通过第一通孔与样品室相连通，所述第二测试室通过第二通孔与样品室相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室(1)，其特征在于，所述样品室(1)两侧分别设有第一测试室(2)和第二测试室(3)，所述第一测试室(2)通过第一通孔(21)与样品室(1)相连通，所述第二测试室(3)通过第二通孔(31)与样品室(1)相连通；所述第一测试室(2)连接第一真空规管(41)，所述样品室(1)连接第二真空规管(42)，所述第二测试室(3)连接第三真空规管(43)；所述第一测试室(2)通过角阀(5)连接分子泵(6)，所述分子泵(6)连接机械泵(7)；所述第一测试室(2)和第二测试室(3)均连接离子泵(8)，所述第一测试室(2)与离子泵(8)之间设有第一插板阀(91...

【技术特征摘要】
1.基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室(1)，其特征在于，所述样品室(1)两侧分别设有第一测试室(2)和第二测试室(3)，所述第一测试室(2)通过第一通孔(21)与样品室(1)相连通，所述第二测试室(3)通过第二通孔(31)与样品室(1)相连通；所述第一测试室(2)连接第一真空规管(41)，所述样品室(1)连接第二真空规管(42)，所述第二测试室(3)连接第三真空规管(43)；...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨庆喜，李雪军，宋云涛，陈永华，陈根，
申请(专利权)人：合肥中科离子医学技术装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34