The invention discloses a non contact ignition method and an igniter for high voltage pulse arc ignition. The non contact ignition method is to open a central pass hole in the center of the cathode target, and put the ignition component in the central through hole, and produce a magnetic field perpendicular to the surface of the cathode target surface on the surface of the cathode target, and the ignition component is the auxiliary anode of the ignition. The high voltage pulse power supply is ignited for the power supply. The non - contact igniter is located in the central hole of the center of the cathode target, including the ignition needle and the ignition piece. The ignition sheet is set on the top of the ignition needle, and the ignition sheet is used for the tip discharge. In the ignition process of the invention, the ignition component needs no contact with the Yin and Yang, thus avoiding the adverse effects of the ignition failure, the damage of the ignition component and the pollution of the cathode target caused by the ignition component contact with the Yin and Yang.
【技术实现步骤摘要】
用于高压脉冲引弧的非接触点火方法及点火器
本专利技术属于高压脉冲引弧
,尤其涉及用于高压脉冲引弧的非接触点火方法及点火器。
技术介绍
阴极电弧沉积是指在真空室中,通过电弧放电产生来自蒸发源(即阴极)薄膜材料的蒸汽发射,并在负偏压作用下沉积在衬底上形成薄膜。电弧放电过程中,阴极蒸发源表面形成一个或多个弧斑,电子、离子、中性原子以及源材料的大颗粒由于电弧斑点的高温高电流密度而发射。源物质离子是薄膜沉积中最重要的物种。阴极电弧沉积特点之一是入射蒸发离子的能量足够高,因此,容易产生高硬度、高耐磨性的高密度薄膜。不仅如此,阴极电弧沉积的成膜速度快速且生产效率高,已在工业上得到广泛的应用。点燃阴极和阳极之间的电弧等离子体是电弧放电的一个重要环节。一旦电弧点燃就可以自动维持,引弧辅件不再需要除非电弧熄需要再引燃。传统引弧方法是通过一个移动的辅助电极经过一个小电阻(例如,约10欧姆)连接阳极和阴极,产生短电流。一旦建立电流,将移动电极从阴极中弹开,在阴极和阳极之间产生火花放电的电弧。这种机械点燃电弧放电的方法存在着一些可靠性问题,因为电弧的高温经常导致移动电极焊接在阴极表面不能弹开,因此电弧启动失败。另外,它还需要使用移动部件(至少电极必须是移动的),使得弧源的结构复杂。已知一种无须移动部件的应用于焊接领域的高压脉冲引弧方法,采用极间高压火花放电点火。利用高压火花成功引燃电弧需要很强的电场,意味着必须有很短的极间距离(1-2mm)。由于极间距离短,作为点火辅助电极的点火针,会干扰阴极表面弧斑的运动,同时点火针靠近炽热的阴极弧斑会引起点火针元素挥发污染等离子体;更为严 ...
【技术保护点】
1.用于高压脉冲引弧的非接触点火方法,其特征是:在阴极靶中心开设中心通孔,将点火组件置于所述中心通孔内;在阴极靶表面产生与阴极靶表面垂直的磁场,以点火组件为点火辅助阳极,以高压脉冲电源为电源进行点火。
【技术特征摘要】
1.用于高压脉冲引弧的非接触点火方法,其特征是:在阴极靶中心开设中心通孔,将点火组件置于所述中心通孔内;在阴极靶表面产生与阴极靶表面垂直的磁场,以点火组件为点火辅助阳极,以高压脉冲电源为电源进行点火。2.如权利要求1所述的用于高压脉冲引弧的非接触点火方法,其特征是:所述点火组件包括点火针和点火片,所述点火片套于所述点火针顶部,所述点火片用来进行尖端放电。3.如权利要求2所述的用于高压脉冲引弧的非接触点火方法,其特征是:所述点火组件还包括点火针压板,所述点火针压板用来固定所述点火针。4.如权利要求2所述的用于高压脉冲引弧的非接触点火方法,其特征是:所述点...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄志宏,郎文昌,吴骥,陈上挺,
申请(专利权)人:温州职业技术学院,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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