激光输出装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。激光输出装置(300)具备：射出激光L的激光振荡器(310)、调整激光L的输出的λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)、将激光L向外部射出的反射镜单元(360)、具有配置激光振荡器(310)、λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)以及反射镜单元(360)的主面(301a)的安装基座(301)。从激光振荡器(310)到达反射镜单元(360)的激光L的光路以沿着与主面(301a)平行的平面的方式设定。反射镜单元(360)具有用于调整激光L的光轴的反射镜(362、363)，沿着与该平面交叉的方向将激光L向外部射出。

Laser output device

The utility model provides a laser output device, which can be easily loaded and disassembled relative to the laser processing device. The laser output device (300) has: a laser oscillator (310) that has a laser L, a lambda /2 wavelength plate unit (330) and a polarized light plate unit (340) to adjust the output of the laser L, a reflector unit (360) to the laser L to the outside, with a configuration laser oscillator (310), the lambda /2 wavelength plate unit (330) and the polarized light plate unit (340) and the reflection. The mounting base (301) of the main surface (301A) of the mirror unit (360). The laser path from the laser oscillator (310) to the laser L of the reflector unit (360) is set along the plane parallel to the main plane (301A). The reflector unit (360) has a reflector (362, 363) for adjusting the optical axis of the laser L, and the laser L is emitted to the outside along the direction crossing the plane.

【技术实现步骤摘要】
激光输出装置(本申请是申请日为2017年1月26日、申请号为201720101985.6、技术名称为“激光输出装置”的专利申请的分案申请。)
本技术涉及用于激光加工装置的激光输出装置。
技术介绍
专利文献1中记载有一种激光加工装置，其具备保持工件的保持机构和对保持于保持机构的工件照射激光的激光照射机构。该激光加工装置的激光照射机构中，将在从激光振荡器到聚光透镜的激光的光路上配置的各结构配置于1个筐体内，并将该筐体固定于竖立设置于激光加工装置的基台的壁部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5456510号公报技术所要解决的课题上述那样的激光加工装置中，根据加工对象物的规格、加工条件等的不同，有时适于加工的激光的波长不同。在这种的情况下，如果可以容易地将含有激光光源的部分相对于激光加工装置进行装卸的话，则极其有效。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。用于解决课题的方案本技术提供一种激光输出装置，具备：激光光源，其射出激光；输出调整部，其调整从激光光源射出的激光的输出；反射镜单元，其将通过了输出调整部的激光向外部射出；安装基座，其具有配置激光光源、输出调整部及反射镜单元的主面；从激光光源经由输出调整部而到达反射镜单元的激光的光路以沿着与主面平行的平面的方式设定，反射镜单元具有用于调整激光的光轴的反射镜，且沿着与平面交叉的方向将激光向外部射出。该激光输出装置中，将激光光源、输出调整部及反射镜单元配置于安装基座的主面。由此，通过例如相对于激光加工装置的装置框架装卸安装基座，可以容易地相对于激光加工装置而装卸激光输出装置。另外，从激光光源经由输出调整部而到达反射镜单元的激光的光路以沿着与安装基座的主面平行的平面的方式设定，反射镜单元沿着与该平面交叉的方向将激光向外部射出。由此，例如在激光的射出方向沿着垂直方向的情况下，能够使激光输出装置薄型化，因此，相对于激光加工装置可以容易地装卸激光输出装置。另外，反射镜单元具有用于调整激光的光轴的反射镜。由此，例如在向激光加工装置的装置框架安装激光输出装置时，可以调整向设置于激光加工装置侧的激光聚光部(至少具备使激光相对于加工对象物进行聚光的聚光光学系统的结构)入射的激光的光轴的位置及角度。通过以上结构，该激光输出装置可以容易地相对于激光加工装置进行装卸。本技术的激光输出装置中，反射镜单元也可以沿着与平面正交的方向将激光向外部射出。由此，可以容易地进行反射镜单元中的激光的光轴的调整。本技术的激光输出装置中，输出调整部也可以调整从激光光源射出的激光的偏振光方向。由此，例如在向激光加工装置的装置框架安装激光输出装置时，可以调整向设置于激光加工装置侧的激光聚光部入射的激光的偏振光方向，进而可以调整从激光聚光部射出的激光的偏振光方向。本技术的激光输出装置中，输出调整部也可以具有：λ/2波长板，其使从激光光源射出的激光沿着与平面平行的第一轴线进行入射；第一支架，其以λ/2波长板能够以第一轴线为中心线进行旋转的方式，保持λ/2波长板；偏振光部件，其使通过了λ/2波长板的激光沿着与平面平行的第二轴线进行入射；第二支架，其以偏振光部件能够以第二轴线为中心线进行旋转的方式，保持偏振光部件。由此，能够以简易的结构调整从激光光源射出的激光的输出及偏振光方向。另外，通过使激光输出装置具备这种输出调整部，可以使用与从激光光源射出的激光的波长相应的λ/2波长板及偏振光部件。本技术的激光输出装置也可以进一步具备光路修正部件，该光路修正部件以与所述偏振光部件一体地能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式保持于第二支架，且通过透射偏振光部件而使从第二轴线上脱离的激光的光轴返回到第二轴线上。由此，可以修正透射偏振光部件引起的激光的光路的偏离。本技术的激光输出装置中，第一轴线和第二轴线也可以相互一致。由此，可以实现装置的简易化及小型化。本技术的激光输出装置中：反射镜单元也可以具有支撑基座和作为反射镜的第一反射镜及第二反射镜；支撑基座以能够进行位置调整的方式安装于安装基座；第一反射镜以能够进行角度调整的方式安装于支撑基座，且将通过了输出调整部的激光沿着与平面平行的方向进行反射；第二反射镜以能够进行角度调整的方式安装于支撑基座，且将由第一反射镜反射的激光沿着与平面交叉的方向进行反射。由此，在例如向激光加工装置的装置框架安装激光输出装置时，可以更高精度地调整向设置于激光加工装置侧的激光聚光部入射的激光的光轴的位置及角度。而且，通过将支撑基座相对于安装基座进行位置调整，可以将第一反射镜及第二反射镜以一体容易地进行位置调整。本技术的激光输出装置也可以进一步具备激光平行化部，该激光平行化部配置于从输出调整部到达反射镜单元的激光的光路上，并调整激光的直径并且使激光平行化。由此，例如即使在相对于激光输出装置，使设置于激光加工装置侧的激光聚光部移动的情况下，也可以恒定地维持向激光聚光部入射的激光的状态。本技术的激光输出装置也可以进一步具备快门，该快门配置于从激光光源到达输出调整部的激光的光路上，且开闭激光的光路，激光光源具有切换激光的输出的开启/关断的功能。由此，可以通过激光光源中的激光的输出的开启/关断的切换而实施激光从激光输出装置的输出的开启/关断的切换。另外，利用快门，可以防止例如从激光输出装置忽然射出激光的情况。技术效果根据本技术，可以提供相对于激光加工装置能够容易地进行装卸的激光输出装置。附图说明图1是用于形成改质区域的激光加工装置的概略结构图；图2是成为形成改质区域的对象的加工对象物的平面图；图3是沿着图2的加工对象物的III-III线的剖面图；图4是激光加工后的加工对象物的平面图；图5是沿着图4的加工对象物的V-V线的剖面图；图6是沿着图4的加工对象物的VI-VI线的剖面图；图7是实施方式的激光加工装置的立体图；图8是安装于图7的激光加工装置的支撑台的加工对象物的立体图；图9是沿着图7的ZX平面的激光输出部的剖面图；图10是图7的激光加工装置中的激光输出部及激光聚光部的局部立体图；图11是沿着图7的XY平面的激光聚光部的剖面图；图12是沿着图11的XII-XII线的激光聚光部的剖面图；图13是沿着图12的XIII-XIII线的激光聚光部的剖面图；图14是表示图9的激光输出部中的λ/2波长板单元及偏振光板单元的光学的配置关系的图；图15是表示图9的激光输出部的λ/2波长板单元中的偏振光方向的图；图16是表示图9的激光输出部的偏振光板单元中的偏振光方向的图；图17是表示图11的激光聚光部中的反射型空间光调制器、4f透镜单元及聚光透镜单元的光学的配置关系的图；图18是表示图17的4f透镜单元的移动引起的共轭点的移动的图；图19是一体化的λ/2波长板单元及偏振光板单元的立体图；图20是沿着图19的ZX平面的λ/2波长板单元及偏振光板单元的剖面图。符号说明1…加工对象物、200…激光加工装置、210…装置框架、220…第一移动机构、230…支撑台(支撑部)、240…第二移动机构、300…激光输出部(激光输出装置)、301…安装基座、310…激光振荡器(激光光源)、320…快门、330…λ本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其具备：激光光源，其射出激光；输出调整部，其调整从所述激光光源射出的所述激光的输出；反射镜单元，其将通过了所述输出调整部的所述激光射出；安装基座，其具有配置所述激光光源、所述输出调整部及所述反射镜单元的主面，从所述激光光源经由所述输出调整部而到达所述反射镜单元的所述激光的光路以沿着与所述主面平行的平面的方式设定，所述反射镜单元具有用于调整所述激光的光轴的反射镜，且沿着与所述平面交叉的方向将所述激光射出，所述激光加工装置还具备：筐体；光入射部，其以在与所述平面交叉的所述方向上与所述反射镜单元的相对的方式被设置在所述筐体上，并使从所述反射镜单元射出的所述激光向所述筐体内入射；反射型空间光调制器，其被设置在所述筐体上，并对入射于所述筐体内的所述激光进行调制和反射；聚光光学系统，其被设置在所述筐体上，并使被调制的所述激光相对于加工对象物进行聚光，移动机构，其安装于所述所述筐体，并沿着与所述平面交叉的所述方向移动所述筐体。

【技术特征摘要】
2016.01.28 JP 2016-0145131.一种激光加工装置，其具备：激光光源，其射出激光；输出调整部，其调整从所述激光光源射出的所述激光的输出；反射镜单元，其将通过了所述输出调整部的所述激光射出；安装基座，其具有配置所述激光光源、所述输出调整部及所述反射镜单元的主面，从所述激光光源经由所述输出调整部而到达所述反射镜单元的所述激光的光路以沿着与所述主面平行的平面的方式设定，所述反射镜单元具有用于调整所述激光的光轴的反射镜，且沿着与所述平面交叉的方向将所述激光射出，所述激光加工装置还具备：筐体；光入射部，其以在与所述平面交叉的所述方向上与所述反射镜单元的相对的方式被设置在所述筐体上，并使从所述反射镜单元射出的所述激光向所述筐体内入射；反射型空间光调制器，其被设置在所述筐体上，并对入射于所述筐体内的所述激光进行调制和反射；聚光光学系统，其被设置在所述筐体上，并使被调制的所述激光相对于加工对象物进行聚光，移动机构，其安装于所述所述筐体，并沿着与所述平面交叉的所述方向移动所述筐体。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述反射镜单元沿着与所述平面正交的方向将所述激光射出。3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述输出调整部调整从所述激光光源射出的所述激光的偏振光方向。4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述输出调整部调整从所述激光光源射出的所述激光的偏振光方向。5.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，所述输出调整部具有：λ/2波长板，其使从所述激光光源射出的所述激光沿着与所述平面平行的第一轴线进行入射；第一支架，其以所述λ/2波长板能够以所述第一轴线为中心线进行旋转的方式，保持所述λ/2波长板；偏振光部件，其使通过了所述λ/2波长板的所述激光沿着与所述平面平行的第二轴线进行入射；以及第二支架，其以所述偏振光部件能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式，保持所述偏振光部件。6.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，λ/2波长板，其使从所述激光光源射出的所述激光沿着与所述平面平行的第一轴线进行入射；第一支架，其以所述λ/2波长板能够以所述第一轴线为中心线进行旋转的方式，保持所述λ/2波长板；偏振光部件，其使通过了所述λ/2波长板的所述激光沿着与所述平面平行的第二轴线进行入射；第二支架，其以所述偏振光部件能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式，保持所述偏振光部件。7.根据权利要求5所述的激光加工装置，其中，还具备光路修正部件，该光路修正部件以与所述偏振光部件一体地能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式保持于所述第二支架，且通过透射所述偏振光部件而...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥间惇治，长尾光洋，伊崎泰则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP