【技术实现步骤摘要】
一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具
本技术涉及一种冷等静压模具，特别涉及一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具。
技术介绍
氧化铟锡靶材是磁控溅射镀制氧化铟锡薄膜溅射源，是氧化铟锡薄膜的原材料。氧化铟锡薄膜是一种透明导电薄膜，主要用于制作透明电极，广泛应用于平面显示器、触摸屏等领域。目前应用较多的是平面的氧化铟锡靶材，平面氧化铟锡靶材利用率低，在35%以下。旋转氧化铟锡靶材是管状的，由于利用率高，在70%以上，已经开始在触摸屏、彩色滤光片用氧化铟锡薄膜产品中广泛应用。氧化铟锡旋转靶材通常采用冷等静压成型，然后对粗坯进行修坯后，竖直放入烧结炉中烧结。有一种新的烧结方式是将冷等静压成型后的坯体躺着放置于炉中，这样可以避免在烧结长径比大的旋转靶材时，发生倾倒。但是目前未见有能够成型长径比大的旋转靶材素坯的模具，故需要研发一种能够成型长径比大的旋转靶材素坯的模具，用于成型躺烧的旋转靶材素坯。
技术实现思路
本技术要解决的主要技术问题是：提供一种用于成型长径比大的旋转靶材素坯的椭圆形旋转靶材冷等静压模具，该模具结构简单，可以用于成型躺烧的旋转靶材素坯，成型的素坯形状良好，无需修坯，可直接烧...
【技术保护点】
1.一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具，其特征在于：包括下端盖（1）、椭圆芯杆（2）、柔性胶套（3）、定形套和上端盖（7），所述的定形套是由椭圆环形塑料板（4）、丝杆（5）和螺母（6）构成，所述的椭圆芯杆（2）位于柔性胶套（3）内，椭圆芯杆和柔性胶套的底端套装在下端盖（1）上，椭圆芯杆和柔性胶套的顶端套装在上端盖（7）上，所述的椭圆环形塑料板（4）设置有数个，分别套装在柔性胶套（3）外侧面上，数个椭圆环形塑料板通过丝杆（5）连接并通过螺母（6）定位，丝杆（5）的下端和上端分别安装在下端盖和上端盖上。
【技术特征摘要】
1.一种椭圆形旋转靶材冷等静压模具，其特征在于：包括下端盖（1）、椭圆芯杆（2）、柔性胶套（3）、定形套和上端盖（7），所述的定形套是由椭圆环形塑料板（4）、丝杆（5）和螺母（6）构成，所述的椭圆芯杆（2）位于柔性胶套（3）内，椭圆芯杆和柔性胶套的底端套装在下端盖（1）上，椭圆芯杆和柔性胶套的顶端套装在上端盖（7）上，所述的椭圆环形塑料板（4）设置有数个，分别套装在柔性胶套（3）外侧面上，数个椭圆环形塑料板通过丝杆（5）连接并通过螺母（6）定位，丝杆（5）的下端和上端分别安装在下端盖和上端盖上。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：陆映东，张启华，武建良，聂涛涛，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南,41
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