The invention discloses a cantilever probe card making film puncher, which belongs to the technical field of probe card production equipment. A driving device connected to a control system connects the X to a moving platform, a Y to a moving platform, and a perforating needle unit. A film platform is provided below the punching needle unit. The film platform is located on the mobile platform on the X, and the X is slid to the moving platform of the mobile platform and the Y at the bottom, and the Y moves toward the platform. The platform is sliding to connect the upper surface of the outer box. The beneficial effect of the invention is that the precision control of the drilling coordinates and the aperture parameters is realized through the control system, the production cost is reduced and the operation is convenient, and the dependence on the foreign production equipment is free.
【技术实现步骤摘要】
一种悬臂探针卡制作用胶片打孔机
本专利技术涉及一种探针卡胶片的打孔装置,属于探针卡生产设备
技术介绍
伴随着中国集成电路产业的飞速发展,对配套的封装测试的需求也不断扩大,作为测试使用的悬臂探针卡虽然技术比较成熟,但是生产用的设备却大部分是由国外生产的,价格比较高,保养维修成本高、难度大,这些制约着国内半导体测试探针卡行业的发展壮大。
技术实现思路
为解决现有技术存在的缺陷,本专利技术的目的是提供一种降低成本的悬臂探针卡制作用胶片打孔机。本专利技术的技术方案是:一种悬臂探针卡制作用胶片打孔机,包括与控制系统连接的驱动装置,所述驱动装置连接X向移动平台、Y向移动平台以及打孔针单元,所述打孔针单元下方设有胶片平台,所述胶片平台位于X向移动平台上,X向移动平台与底部的Y向移动平台滑动连接,所述Y向移动平台滑动连接外箱体上表面。所述驱动装置包括,与所述X向移动平台连接的X向直线电机、与Y向移动平台连接的Y向直线电机,以及与所述打孔针单元连接的Z向电机。所述Y向直线电机位于外箱体上,所述Y向移动平台滑动连接位于外箱体上的Y向导轨,所述Y向导轨两端分别设有正Y向限位块和负Y向限位块。所述X向移动平台滑动连接于X向导轨上,所述X向导轨位于X向底座上,所述X向底座位于Y向移动平台上,X向直线电机位于X向底座上,X向导轨两端的X向底座上分别设有负X向限位块和正X向限位块,X向导轨两端设有X向原点传感器和X向位移传感器。所述Z向电机位于支架上,所述支架位于外箱体上,所述Z向电机连接丝杆,丝母螺纹连接丝杆,丝母连接Z向移动块,所述Z向移动块滑动连接固定在支架上的Z向导轨,所 ...
【技术保护点】
1.一种悬臂探针卡制作用胶片打孔机,其特征在于,包括与控制系统连接的驱动装置,所述驱动装置连接X向移动平台(4)、Y向移动平台(5)以及打孔针单元(2),所述打孔针单元(2)下方设有胶片平台(3),所述胶片平台(3)位于X向移动平台(4)上,X向移动平台(4)与底部的Y向移动平台(5)滑动连接,所述Y向移动平台(5)滑动连接外箱体(8)上表面。
【技术特征摘要】
1.一种悬臂探针卡制作用胶片打孔机,其特征在于,包括与控制系统连接的驱动装置,所述驱动装置连接X向移动平台(4)、Y向移动平台(5)以及打孔针单元(2),所述打孔针单元(2)下方设有胶片平台(3),所述胶片平台(3)位于X向移动平台(4)上,X向移动平台(4)与底部的Y向移动平台(5)滑动连接,所述Y向移动平台(5)滑动连接外箱体(8)上表面。2.根据权利要求1所述的悬臂探针卡制作用胶片打孔机,其特征在于,所述驱动装置包括,与所述X向移动平台(4)连接的X向直线电机(16)、与Y向移动平台(5)连接的Y向直线电机(17),以及与所述打孔针单元(2)连接的Z向电机(1)。3.根据权利要求2所述的悬臂探针卡制作用胶片打孔机,其特征在于,所述Y向直线电机(17)位于外箱体(8)上,所述Y向移动平台(5)滑动连接位于外箱体(8)上的Y向导轨(18),所述Y向导轨(18)两端分别设有正Y向限位块和负Y向限位块(19)。4.根据权利要求3所述的悬臂探针卡制作用胶片打孔机,其特征在于,所述X向移动平台(4)滑动连接于X向导轨(20)上,所述X向导轨(20)位于X向底座(21)上,所述X向底座(21)位于Y向移动平台(5)上,X向直线电机(16)位于X向底座(21)上,X向导轨(20)两端的X向底座(21)上分别设有负X向限位块(22)和正X向限位块(23),X向导轨(20)两端设有X向原点传感器(24)和X向位移传感...
【专利技术属性】
技术研发人员:张继,李祥锋,
申请(专利权)人:大连火蓝电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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