一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置。该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分，采用一束波长固定的光纤激光烧蚀待检测的固体样品，使其熔融、溅射和蒸发，产生持续的气溶胶，将气溶胶转移到一个新的空间位置后，再使用波长可调谐激光对气溶胶进行等离子体激发，将波长调谐至与被分析元素特征谱线对应的共振激发波长一致，使目标元素特征谱线增强，再对等离子体发射光进行采集分析，得到待分析元素含量。本实用新型专利技术实现了分析基体的统一，有效提高了信噪比，降低了基体效应和光谱干扰对激光诱导击穿光谱定量分析性能的影响。

Laser ablation auxiliary resonance laser induced breakdown spectroscopy detection device

The utility model discloses a laser ablation auxiliary resonance laser induced breakdown spectroscopy detection device. The device consists of four parts: laser ablation, resonance excitation, spectral acquisition and system control, using a beam of wavelength fixed optical fiber to ablate the solid samples to be detected, making it molten, sputtering and evaporating, producing continuous aerosols, transferring aerosols to a new space position, and using wavelength tunable excitation. The light is excited by the plasma of the aerosol, and the wavelength is tuned to the resonance wavelength corresponding to the characteristic spectral line of the analysis element. The spectral lines of the target elements are enhanced and the plasma emission light is collected and analyzed, and the content of the elements to be analyzed is obtained. The utility model realizes the unity of the analysis matrix, effectively improves the signal to noise ratio, and reduces the influence of the matrix effect and the spectral interference on the quantitative analysis performance of the laser induced breakdown spectrum.

【技术实现步骤摘要】
一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置
本技术属于原子发射光谱检测
，具体涉及一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(Laser-inducedBreakdownSpectroscopy，简称LIBS)技术是一种激光等离子体光谱分析技术。LIBS技术样品处理简单，检测速度快，适合野外、实时在线及远程检测。然而，采用单激光作为激发源的常规LIBS技术难以克服基体效应和光谱干扰问题。物质中元素在物理或化学形态的不同对激光与物质相互作用、等离子体发射光强度、元素分析灵敏度及定量分析精准度都有直接影响，即所谓基体效应，它使得不同样品中同种元素难使用同一定标准曲线进行定量分析。轻微的基体效应会导致定量分析精准度不高，严重的基体效应将导致分析元素含量与特征谱线强度之间明显的非共线性，难以进行有效的定量分析。此外，所含元素众多的样品光谱复杂，元素谱线间相互干扰造成分析谱线强度偏高和谱峰位置偏移，导致分析误差增大。因此，迫切需求研发新的LIBS方法同时改善常规LIBS面临的基体效应和光谱干扰问题。中国专利文献《一种基于双激光源的激光探针微区成分分析仪》本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置，其特征在于，该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分；激光烧蚀部分包括光纤激光器(1)、第一反射镜(2)、第一聚焦镜(3)、旋转位移台(6)和取样组件；光纤激光器(1)、第一反射镜(2)和第一聚焦镜(3)依次位于同一光路上，旋转位移台(6)用于放置待检测物质，所述取样组件用于收集气溶胶并提供给共振激发部分进行等离子体激发；共振激发部分包括波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)、第二聚焦镜(13)和吸收体(15)；波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)和第二聚焦镜(13)依次位于另一光路上，吸收体(15)位于位于第二聚...

【技术特征摘要】
1.一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置，其特征在于，该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分；激光烧蚀部分包括光纤激光器(1)、第一反射镜(2)、第一聚焦镜(3)、旋转位移台(6)和取样组件；光纤激光器(1)、第一反射镜(2)和第一聚焦镜(3)依次位于同一光路上，旋转位移台(6)用于放置待检测物质，所述取样组件用于收集气溶胶并提供给共振激发部分进行等离子体激发；共振激发部分包括波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)、第二聚焦镜(13)和吸收体(15)；波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)和第二聚焦镜(13)依次位于另一光路上，吸收体(15)位于位于第二聚焦镜(13)的的焦点外；光谱采集部分包括采集光路(16)、光纤(17)、光谱仪(18)和探测器(19)；采集光路(16)的出口通过光纤(17)与光谱仪(18)相连，探测器(19)与光谱仪(18)连接；系统控制部分包括计算机(20)和时序控制器(21)，计算机(20)与探测器(19)连接，时序控制器(21)分别与高功率光纤激光器(1)、波长可调谐激光器(11)及探测器(19)电信号连接；时序控制器(21)用于产生控制激光器和探测器的同步时序信号。2.根据权利要求1所述的激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝中骐，李祥友，李嘉铭，周冉，郭连波，曾晓雁，陆永枫，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42