一种电磁伸缩微进给装置制造方法及图纸

一种电磁伸缩微进给装置，水冷管(1)、左轴承(2)、励磁线圈(3)、磁致伸缩棒(4)、碟簧(5)、右轴承(6)、负载(7)、输出轴(8)、轭铁(9)、法兰(10)、永久磁铁(11)、配重块(12)、预紧螺母(13)组成，其中磁致伸缩棒(4)通过法兰(10)与输出轴(8)连接，碟簧(5)与轭铁(8)连接。磁致伸缩棒(3)通过输出轴法兰的台肩压紧碟簧(4)，碟簧(4)压紧右轴承(6)，使磁致伸缩棒(3)承受预置的压应力；用水冷管(1)来保持本装置的温度稳定，且水冷管(1)环绕在磁致伸缩棒(3)的上面。磁致伸缩棒在激励线圈的驱动下产生伸缩运动，其内部表现为应力和应变的变化，外表现为位移和力的输出，从而实现电磁能与机械能之间的转换。

An electromagnetic telescopic micro feed device

An electromagnetic telescopic micro feed device, a water cooled tube (1), a left bearing (2), a excitation coil (3), a magnetostrictive rod (4), a disc spring (5), a right bearing (6), a load (7), an output shaft (8), a yoke iron (9), a flange (10), a permanent magnet (11), a counterweight block (12), and a pretightening nut (13), in which the magnetostrictive rod is passed through flanges and output axes. The connection, the disc spring (5) and the yoke (8) are connected. The magnetostrictive rod (3) presses the disc spring (4) through the shoulder of the output shaft flange, and the disc spring (4) compacts the right bearing (6) so that the magnetostrictive rod (3) is subjected to preset pressure; the water cooling pipe (1) keeps the temperature of the device stable, and the water cooling tube (1) is surrounded on the magnetostrictive rod (3). The expansion motion of the magnetostrictive rod is driven by the driving coil, and its internal performance is the change of stress and strain, and the output of the displacement and force is shown outside, thus the conversion between the electromagnetic energy and the mechanical energy is realized.

【技术实现步骤摘要】
一种电磁伸缩微进给装置1、
本专利技术涉及精密传动
，尤其是一种电磁伸缩微进给装置。2、
技术介绍
随着科学技术的发展及高新技术的需要，精密及超精密加工技术在工业生产中的地位越来越重要。因此，该领域的技术发展也越来越快。几十年来，超精密加工已成为工业生产中最关键的、效果最显著的技术之一。这是因为随着科学技术的发展和高新技术产业的兴起，产品对加工质量的要求越来越高。尤其是在尖端
如：航空、航天、计算机、现代武器、光学仪器等，精密加工就显得更为重要。除此之外，为了提高产品的竞争力，即使是一般产品，质量要求也在逐步提高。这也是促进精密及超精密加工技术发展的一个重要因素。这就是说，无论现在还是将来，精密及超精密加工技术都是非常重要的研究方向。微进给机构在超精密加工领域获得广泛应用，它是实现精密加工的关键技术。3、
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种精密微进给装置，采用磁致伸缩技术，能实现微进给运动，主要水冷管(1)、左轴承(2)、励磁线圈(3)、磁致伸缩棒(4)、碟簧(5)、右轴承(6)、负载(7)、输出轴(8)、轭铁(9)、法兰(10)、永久磁铁(11)、配重块(12)、预紧螺母(13)组成，其中磁致伸缩棒(4)通过法兰(10)与输出轴(8)连接，碟簧(5)与轭铁(8)连接；采用螺母预紧结构，磁致伸缩棒(3)通过输出轴法兰的台肩压紧碟簧(4)，碟簧(4)压紧右轴承(6)，使磁致伸缩棒(3)承受预置的压应力；采用水冷管(1)来保持本装置的温度稳定，且水冷管(1)缠绕在磁致伸缩棒(3)的外表面；采用配重块(9)来平衡负载的重量，使得装置两端受力均匀。本专利技术包含三个系统，磁场的施加系统、预应力的施加系统和冷却系统。磁致伸缩棒在激励线圈(2)的强电压驱动下产生伸缩运动，其内部表现为应力和应变的变化，内部微小的位移以及力的累加输出，导致宏观上的位移及力的输出，实现电磁能与机械能之间转换。4、附图说明图1为装置组成图，包含水冷管(1)、激励线圈(2)、磁致伸缩棒(3)、碟簧(4)、负载(5)、轭铁(6)、输出杆(7)、永久磁铁(8)、配重块(9)、预紧螺母(10)。5、具体实施方式实施例：磁场的施加系统：选取导热效果好的铜管，设计计算磁致伸缩棒(3)外围的激励线圈的匝数，通过控制输入电流的大小和频率产生磁场，磁场通过磁致伸缩效应，从而使磁致伸缩棒(3)进行伸缩线性运动，本装置实现位移0-20um微给，可为精密光刻设备提供进给配套。预应力的施加系统：由于磁致伸缩材料为脆性材料，抗压能力强，抗拉能力差，为了提高磁致伸缩棒(3)的强度及寿命，采用预置压力的措施，采用预计预紧螺母(10和碟簧(4)组合结构，实施时，要根据材料及尺寸的大小，经过计算，确定锁紧力，这是本装置正常工作的关键技术之一。冷却系统：为了防止激励磁场线圈温度升高，超出磁致伸缩材料的稳定工作温度，采用水冷系统，根据本装置的输出功率及位移大小工况，冷却水的流量要动态调节，目的是确保出水温度稳定在一个既定的数值，从而保证输出位移的稳定性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁伸缩微进给装置，其特征在于包含水冷管(1)、左轴承(2)、励磁线圈(3)、磁致伸缩棒(4)、碟簧(5)、右轴承(6)、负载(7)、输出轴(8)、轭铁(9)、法兰(10)、永久磁铁(11)、配重块(12)、预紧螺母(13)组成，其中磁致伸缩棒(4)通过法兰(10)与输出轴(8)连接，碟簧(5)与轭铁(8)连接。

【技术特征摘要】
2016.12.20 CN 20161124022261.一种电磁伸缩微进给装置，其特征在于包含水冷管(1)、左轴承(2)、励磁线圈(3)、磁致伸缩棒(4)、碟簧(5)、右轴承(6)、负载(7)、输出轴(8)、轭铁(9)、法兰(10)、永久磁铁(11)、配重块(12)、预紧螺母(13)组成，其中磁致伸缩棒(4)通过法兰(10)与输出轴(8)连接，碟簧(5)与轭铁(8)连...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗忠辉，张广潮，白谕幸，
申请(专利权)人：广东技术师范学院，
类型：发明
国别省市：广东,44