【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化工生产中的尾气回收,特别涉及化学气相沉积法生产碳化硅纤维的尾气回收方法和装置。采用化学气相沉积法生产碳化硅纤维是将钨丝基体连续通过反应器,在反应器内通入适量的CH3SiCl3、CH3SiHCl2和氢气的混和气体,在1100-1300℃的温度下硅烷在钨丝表面热解生成SiC。在碳化硅纤维的生产过程中,原料气的需要量还不到输入量的10%,而大部分原料气则随着反应所产生的废气从反应管尾气排放口排出。排出的尾气主要含有95%的硅烷,除此之外还有氢气、氯化氢以及在反应中合成或分解的产物。这些尾气如不加以回收和利用,除了造成原料的极大浪费外,还会危害人体健康,腐蚀设备,给环境造成严重污染。到目前为止,还未见到有关对这部分尾气进行回收利用的报导。本专利技术的目的在于提供一种碳化硅纤维生产中尾气的回收方法和装置,该方法可使尾气回收率达到95%以上,再利用率达65%,排放环境达到国标。本专利技术碳化硅纤维生产尾气的回收方法包括如下步骤(1).将尾气通过-40~-80℃的冷凝装置冷凝,分离CH3SiCl3、CH3SiHCl2及高沸点物质;(2).不能被冷凝的HCl、H2等物质进入含10%碱液的吸收塔,除去HCl;(3).H2送入净化器净化;(4).冷凝分离出的硅烷,经过精密蒸馏除去高沸点物质后再使用。根据上述方法而设计的尾气回收装置,包括一个冷凝槽,冷凝槽的下部连接一个收集容器,收集容器与精馏塔连接,冷凝槽的上端与吸收塔相连,吸收塔上部排气口排放出的氢气进入氢气净化器,净化后的氢气仍可使用,碱液由泵送入吸收塔循环使用。本专利技术的尾气回收采用冷凝分离和精馏 ...
【技术保护点】
一种碳化硅纤维生产尾气的回收方法,其特征是包括如下步骤:及高沸点物质;;送入净化器净化;(4).冷凝分离出的硅烷,经过精密蒸馏除去高沸点物质后重复使用。2.一种根据权利要求1所述方法而设计的尾气回收装置,其特征是包括一个冷凝槽(5),冷凝槽的下部连接一个收集容器(6),收集容器与精馏塔(3)连接,冷凝槽的上端与吸收塔(7)相连,吸收塔上部排气口排放出的氢气进入氢气净化器(10),碱液由泵(9)送入吸收塔循环使用。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张蓬洲,任兆鑫,宋丽萍,温月芳,
申请(专利权)人:中国科学院山西煤炭化学研究所,
类型:发明
国别省市:14[中国|山西]
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