一种不锈钢超微精细电化学蚀刻方法技术

本发明专利技术是基于化学－电化学－腐蚀原理并利用不锈钢的特性发展而提出的一种不锈钢超微精细蚀刻方法，可以对任何复杂异形构件、各种图案要求进行高精度的加工，不需任何胎具、模具和定位装置，效率极高，可同时处理多个构件，一次性同时加工完毕。可用于制作各种不同目数的筛网、及各种有高精度要求的超微精细图形。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种不锈钢超微精细蚀刻方法，包括绘制蚀刻图案、制备照像底片、涂布光刻胶、曝光、显影、修补、蚀刻、去膜、清洗等工序，其特征在于，配制蚀刻液，其成分为１０～１５％ＦｅＣｌ↓［３］ １０００ｍｌ，ＨＣｌ ４０～５０ｍｌ，ＨＮＯ↓［３］ １５０～２００ｍｌ，０．５～１．０％Ｋ↓［２］Ｃｒ↓［２］Ｏ↓［７］，将经过图案感光处理的不锈钢试件放入蚀刻液中，先以０．５～１．０Ａ／ｃｍ↑［２］的电流密度进行阴极极化５～１０分钟，再以０．２～０．５Ａ／ｃｍ↑［２］的电流密度进行阳极极化２０～３０分钟，辅助电极为与试件面积同样大小的不锈钢电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何积铨，谢建辉，吴荫顺，方智，张琳，曹备，
申请(专利权)人：北京科技大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]