利用电化学方法清洗有机物的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种利用电化学方法清洗有机物的方法与清洗装置。其特征在于利用金刚石膜电极作阳极，在电流密度１００－５０００Ａｍ↑［－２］范围之间，进行电化学方法清洗有机物。本发明专利技术充分利用金刚石膜电极在电化学氧化技术上的优势，使用金刚石膜电极产生氢氧自由基、氧自由基等强氧化粒子可进行有机清洗，例如：用来清洗光刻胶剥离半导体器件避免了传统的湿式工艺中的一定含量的重金属、碱金属元素，能达到器件设计的要求；用来进行活性炭再生，可以大大降低成本，而且不会造成环境污染。本发明专利技术利用金刚石膜电极进行有机清洗的设备简单，便于操作，并且不会产生二次污染。耗能少，满足低成本制造的要求以及对环境无害的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用电化学方法清洗有机物的方法，其特征在于将含有有机物的清洗对象置于电解液中；利用金刚石膜电极作阳极，在电流密度１００－５０００Ａｍ↑［－２］范围之间，电化学氧化水中羟基（ＯＨ↑［－］）生成羟基自由基（ＯＨ.）氧自由基（Ｏ.）、臭氧（Ｏ↓［３］）、以及过氧化氢（Ｈ↓［２］Ｏ↓［２］）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：常明，潘鹏，曲长庆，孙伟，周志刚，高宝红，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]