【技术实现步骤摘要】
大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法本专利技术涉及一种纳米有序孔洞的制备方法,尤其是大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法。大尺寸纳米有序孔洞模板可以有很好的应用,例如,用于新型磁性记录盘基等。现有的压模技术,光刻和电子束刻蚀技术可以得到大面积纳米有序孔洞模板,但是不能得到较长的直径均匀的纳米孔洞。直接阳极氧化法只能得到小面积有序纳米孔洞模板。本专利技术的目的是:提出一种大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,得到大面积纳米有序孔洞模板,并且得到较长的直径均匀的纳米孔洞。本专利技术的目的还在于提供一种加工成本低,工艺可靠,纳米孔洞的深度容易控制,利于工业化大规模生产的制备方法。本专利技术的目的是这样实现的:大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,在金属铝或铝合金的表面首先生成一个大面积有序模板,在此基础上利用阳极氧化技术,在铝或铝合金上生成大面积的有序纳米孔洞模板,且孔洞长度较长。或者利用单晶铝作基底,消除了多晶铝中晶界的影响,直接阳极氧化生成大面积有序的纳米孔洞模板,并通过扩孔液的作用调节孔洞的直径。从而形成大尺寸纳米有序孔洞模板。用单晶铝作基底,消除了多晶铝中晶界的影响,故可以直接阳极氧化。本专利技术的特点是:本专利技术可以产生高密度大面积六角对称有序的长孔洞的纳米孔洞模板,这种模板用作有序磁记录介质时,记录密度可以达到每平方英寸170G,甚至更高。这种模板也可以用来制备有序纳米管,生长有序纳米棒,还可以作为催化剂的载体。更主要的是本专利技术的方法熔合现成的两种工艺方法,加工成本低,工艺可靠,纳米孔洞的深度容易控制,利于工业化大规模生产。以下根据附图和实施例对本专利技术作进 ...
【技术保护点】
大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,其特征是在金属铝、铝合金或单晶铝的表面首先生成一个大面积有序图案,再用阳极氧化方法,在铝或铝合金上生成大面积的有序纳米孔洞模板。
【技术特征摘要】
1.大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,其特征是在金属铝、铝合金或单晶铝的表面首先生成一个大面积有序图案,再用阳极氧化方法,在铝或铝合金上生成大面积的有序纳米孔洞模板。2.由权利要求1所述的大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,其特征是阳极氧化生成大面积有序的纳米孔洞模板,并通过扩孔液的作用调节孔洞的直径。3.由权利要求1所述的大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,其特征是用单晶铝作基底,直接阳极氧化。4.由权利要求1所述的大尺寸纳米有序孔洞模板的制备方法,其特征是大面积有序图案是六角对称大面积纳米有序图案;其生成方法是用炭化硅、单晶硅或其它材料制作一个母板,板上呈六角对称地分布着直径均匀的纳米圆柱,在平整的铝基底上覆盖一层高分子材料膜,将母板利用一定的压力压在高分子材料上,升高温度使高分子软化,再降低温度使高分子固化,去掉母板,在平整的铝表面形成有序...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨绍光,朱浩,都有为,
申请(专利权)人:南京大学,
类型:发明
国别省市:84[中国|南京]
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