氟化氢供应单元制造技术

本发明专利技术涉及氟化氢供应单元。在此提供了一种氟化氢供应单元，它包括多个被连接到一条氟化氢供应管线(2)上的可运输的氟化氢储存容器(1)，以及包含该氟化氢供应单元的一个化工设备上。 1

【技术实现步骤摘要】
氟化氢供应单元本申请是申请日为2011年9月12日，申请号为201180047274.0，专利技术名称为“氟化氢供应单元”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术要求于2010年9月16提交的欧洲专利申请号10177188.9(出于所有的目的将该申请的全部内容通过引用结合在此)的优先权，本专利技术涉及一种氟化氢供应单元、包含此单元的一种化工设备、以及一种氟化氢供应方法。
技术介绍
氟化氢值得注意地作为化学品制造工艺如通过分子氟(F2)的电解的制造的进料材料是有用的，例如作为半导体工业中的室清洁气体是有用的、并且用于制造其他氟化的化学品如氟化烃类。参见WO2004/009873，描述了用于通过氟化氢的电解而产生氟的一种装置和方法。该装置包括：多个单独的氟产生盒(cassette)；所述单独的氟产生盒可操作地连接到一个用于所述氟气体的远程使用和消耗的一个氟气体分配系统上；所述氟产生盒单独地与所述气体分配系统分离并且可从该装置中移除用于远程维护。在第24页第32行提到在一个储箱中保持了一个液体氟化氢供应。一个氟化氢蒸发器将该储箱的液体氟化氢蒸发并且将其供应至这些盒以维持一个恒定的电解质浓度。现在本专利技术使得一种允许稳定且经济地供应HF同时将安全风险最小化的氟化氢供应单元是可得的。
技术实现思路
本专利技术因此涉及一种氟化氢供应单元，该单元包括多个可运输的氟化氢储存容器(1)，这些容器被连接到一条氟化氢供应管线(2)上，其中这些氟化氢储存容器中的至少一个具有等于或大于500升的容量。优选地，所有这些氟化氢储存容器具有等于或大于500升的容量。附图说明图1示出了本专利技术的一种氟化氢供应单元，它包括多个储存容器1、一条氟化氢供应管线2、一个歧管3以及远程控制的阀门4。图1提供了一个实施方案，其中从这些储存容器1中排出的HF被转运至一个HF电解槽7，在该电解槽中生产F2。具体实施方式“氟化氢”(HF)应理解为具体地表示无水氟化氢。当包含在一个储存容器中时，该氟化氢一般是液态的。优选地，在这些氟化氢储存容器中不含吸附剂。优选地，该无水HF主要由HF组成。根据本专利技术的氟化氢供应单元总体上包括从2到20、优选从3到10、更优选4或5或6个储存容器。在一个具体实施方案中，该氟化氢供应单元进一步包括(优选永久性地)至少一个氟化氢应急容器。此氟化氢应急容器优选地是如在此描述的一个空的氟化氢储存容器，它优选地连接到该氟化氢供应管线上。该氟化氢应急容器适当地被保持在一种惰性气体的压力下或真空下。该氟化氢应急容器一般是可操作的用于从一个泄露氟化氢的储存容器中接收HF。用于将HF从一个泄露HF的储存容器中转运到该氟化氢应急容器中的装置包括例如惰性气体压力或泵。在根据本专利技术的氟化氢供应单元中，这些氟化氢储存容器一般是空心体，它们可以任选地被安装在轮子上或者它们可以通过例如升降叉车来进行运输。该氟化氢储存总体上具有至少一个液体管线和一个气体管线。在此情况下，该液体管线在适当时可以连接到该氟化氢供应管线上，例如借助一种法兰盘连接。该气体管线可以另外地连接到一个惰性气体(例如无水空气或氮气)供应管线上，该惰性气体供应管线允许对该氟化氢储存容器加压。在根据本专利技术的氟化氢供应单元中，优选地每个氟化氢储存容器具有的容量是一般从500至5000升、更优选500升至4000升、并且尤其优选地从1000至3000升。氟化氢储存容器的具体例子是UNT22或优选UNT20类型的RID/ADR-IMDG-所认证的储箱。此类储箱是可商购的。在根据本专利技术的氟化氢供应单元中，每个储存容器都可以通过一个歧管3被连接到该氟化氢供应管线上。在根据本专利技术的氟化氢供应单元中，每个储存容器都优选地可单独地与该氟化氢供应管线分离。在根据本专利技术的氟化氢供应单元中，这些储存容器1可以总体上通过一个远程控制的装置4、优选是一个远程控制的阀门而与该氟化氢供应管线2分离。更优选地，每个储存容器都装备有一个远程控制的装置4、优选一个远程控制的阀门，从而允许将该容器与氟化氢供应管线分离。当存在远程控制的阀门时，适当地另外安装手动阀门。这些远程控制的阀门允许例如从一个远程控制室中操作这些HF储存容器。在一个优选实施方案中，这些HF储存容器包括一个自动的HF液面传感器。特别地，这些HF储存容器被安装在磅秤上。在这个优选实施方案中，优选地，一个过程控制系统、特别是一个自动过程控制系统是可操作的以关闭第一空的HF容器的远程控制的阀门并且打开另一个第二含HF的氟化氢储存容器的远程控制的阀。这个实施方案特别有效地避免了对HF阀门的手动操作并且确保了连续的HF供应。在一个优选方面，这些阀门是可操作地以在异常操作状态下自动关闭，例如像在连接到HF供应管线的处理设备中的过程中断时。在另一个优选的方面，这些阀门是可操作的以在根据本专利技术的氟化氢供应单元中HF泄露的情况下自动关闭。此类HF泄露可能是例如由于该HF储存容器内部的任选法兰连接的泄露而造成的。这尤其避免了在这种情况下必须要接近该氟化氢供应单元。更优选地，可以通过具有封闭的分离空间的双重分离阀门将这些储存容器与HF供应管线分离。在此情况下，根据本专利技术的氟化氢供应单元适当地进一步包括至少一个与一个或多个封闭的分离空间相连接的空隙通气阀。该空隙通气阀总体是可操作来任选地从该封闭的分离空间中移除现有的HF。移除可以例如通过施加真空来进行。在另一个方面，移除可以例如通过用一种惰性气体和/或一种加压的吹扫气体(例如像无水空气或优选地氮气)来冲扫该封闭的分离空间而进行。在一个方面，这种移除是连续进行的。优选地，这种移除是不连续地进行的，特别是当一个HF储存容器连接到该供应管线上和/或与之脱连接时。适当时，适当地使从该封闭的分离空间中回收的气体排出到一个HF销毁单元，例如一个涤气器。在根据本专利技术的氟化氢供应单元的一个优选方面，这些氟化氢储存容器1被包含在一个封闭空间5内，该封闭空间具有至少一个可关闭的门6，从而允许一个氟化氢储存容器进入该封闭空间之中或从中移除。在这个方面的一个实施方案中，该封闭空间包含这些氟化氢储存容器以及到该氟化氢供应管线上的连接件。在另一个实施方案中，该封闭空间另外包含一个蒸发器用于液体HF的蒸发。在这个优选方面及其实施方案中，该封闭空间适当地包括一个HF传感器，该传感器能够触发该封闭空间与一个HF销毁系统10的连接。适当地，该封闭空间通过一个抽吸管线9被连接到该HF销毁系统上，该抽吸管线被连接到一个风扇上，该风扇是可操作的以将气体从该封闭空间运输至该HF销毁系统。该HF销毁系统优选是一个涤气器。该涤气器适当地包含一种水性碱溶液，例如一种KOH溶液。本专利技术还涉及一种包含该根据本专利技术的氟化氢供应单元的化工设备。在一个特别优选的方面，根据本专利技术的化工设备被用于通过HF的电解而制造氟。在此情况下，总体上将该氟化氢供应管线2连接到一个用于通过一种熔融盐电解质的HF电解而生产氟的电解槽7上。在这个特别优选的方面，有利的是该设备包括一个用于F2和HF的常用销毁系统。此种常用销毁系统可以例如是包含一种KOH水溶液以及任选地Na2S2O3或K2S2O3的一个涤气器。在根据本专利技术的化工设备，这些氟化氢储存容器的总计容量总体上对应于该化工设备以全容量生产该化学品时的5至60天、优选本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氟化氢供应单元，该氟化氢供应单元包括多个可运输的氟化氢储存容器(1)，该

【技术特征摘要】
2010.09.16 EP 10177188.91.一种氟化氢供应单元，该氟化氢供应单元包括多个可运输的氟化氢储存容器(1)，该可运输的氟化氢储存容器连接到氟化氢供应管线(2)，该氟化氢供应管线(2)连接到HF蒸发器(8)，该氟化氢供应单元还包括至少一个氟化氢应急容器，该应急容器是连接到该氟化氢供应管线上的至少部分为空的氟化氢储存容器，其中该氟化氢储存容器中的至少一个具有等于或大于500升的容量，其中该氟化氢为无水液态氟化氢，以及其中该无水HF基本由HF组成，该氟化氢应急容器可用于从泄露氟化氢的储存容器接收HF，每个储存容器都装备有远程控制的阀门，可用于将该容器与氟化氢供应管线分离，在异常操作状态下自动关闭，以及在氟化氢供应单元中HF泄露的情况下自动关闭，氟化氢储存容器被包含在封闭空间内，该封闭空间具有至少一个可关闭的门，从而允许氟化氢储存容器进入该封闭空间之中或从中移除，该封闭空间包括HF传感器，该传感器能够触发该封闭空间与HF销毁系统的连接。2.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，包括2到20个储存容器。3.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，包括3到10个储存容器。4.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，包括4到6个储存容器。5.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，其中每个储存容器都通过歧管(3)连接到该氟化氢供应管线。6.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，其中每个储存容器都单独地与该氟化氢供应管线可分离。7.根据权利要求6所述的氟化氢供应单元，其中该储存容器(1)能通过远程控制的装置(4)而与该氟化氢供应管线(2)分离。8.根据权利要求6所述的氟化氢供应单元，其中该储存容器(1)能通过远程控制的阀门而与该氟化氢供应管线(2)分离。9.根据权利要求1所述的氟化氢供应单元，其中该氟化氢储存容器(1)被容纳在封闭空间(5)内，该封闭空间具有至少一个可关闭的门(6)，从而允许氟化氢储...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿兰福别列茨，菲利普莫雷勒，奥利维耶罗黛安娜，彼得M普雷迪坎特，毛里齐奥帕加宁，
申请(专利权)人：索尔维公司，
类型：发明
国别省市：比利时,BE