微细构造体及其制造方法技术

技术编号:1822828 阅读:224 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微细构造体及其制造方法,该方法能简单地制造具备阳极氧化物体的微细构造体,阳极氧化物体具有多个微细孔,微细孔具有良好的贯通性,贯通至导电体。该方法是,准备被阳极氧化金属体(10),对被阳极氧化金属体(10)进行阳极氧化,直到中途,从而形成具有在被阳极氧化金属体(10)的开始阳极氧化的表面(10s)上开口的多个有底微细孔(12)的阳极氧化部(11)和非阳极氧化部(13),对位于多个有底微细孔(12)的底面和非阳极氧化部(13)之间的阳极氧化部(14b)进行干蚀刻,直到非阳极氧化部(13),从而将其除去。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微细构造体的制造方法,其特征在于,    准备被阳极氧化金属体,    对该被阳极氧化金属体进行阳极氧化,直到中途,从而形成具有在被阳极氧化金属体的开始阳极氧化的表面上开口的多个有底微细孔的阳极氧化部和非阳极氧化部,    对位于上述多个有底微细孔的底面和上述非阳极氧化部之间的上述阳极氧化部进行干蚀刻,直到上述非阳极氧化部,从而将其除去。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:都丸雄一李静波
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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