The invention discloses a MEMS three-dimensional tunnel structure, including silicon substrate, silica oxide layer and tunnel structure layer. The silica oxide layer is on the silicon substrate surface, the tunnel structure layer is above the silica oxide layer, and the tunnel structure layer is composed of three rectangular two silicon oxide films. The invention also discloses a method for preparing a MEMS three-dimensional tunnel structure. The MEMS three-dimensional tunnel structure of the invention is simple in manufacture and low in cost, and can be used to make microfluidic pipes. The silicon substrate in the silicon substrate can use ordinary (100) silicon chips to optimize the performance of the device. One
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS三维隧道结构
本专利技术涉及微机电系统(MEMS)器件领域,尤其涉及一种微机电系统的三维隧道结构的制备方法。技术背景微电子机械系统(MEMS)是一项多学科交叉的高新技术,为各学科的发展开辟了新的领域。MEMS可以应用在许多不同的领域,例如通信、生物、光学能源等。其中流体是MEMS领域重要的基础科学和应用方向,包括气体传感器,流体传感器等。为了满足MEMS发展的需求,依据Si的各向异性腐蚀特性所发展起来的湿法腐蚀工艺在制作MEMS器件的过程中发挥了巨大的作用。与干法刻蚀相比较,湿法刻蚀技术的加工成本更为低廉,且工艺制作过程也相对简单。硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术主要是对硅衬底的深刻蚀,可以得到较大纵向尺寸的微结构。表面MEMS加工技术主要是在硅衬底表面氧化硅,氮化硅,多晶硅等薄膜结构来完成MEMS结构。微流体管道是微流体系统的重要部件之一是隧道结构的典型应用之一。硅工艺制作微流体管道主要采用刻蚀和键合工艺,步骤繁琐且得到的微管道结构和形貌有一定的限制。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足,本专利技术提供了一种应用于微流体管道不需要键合工艺的MEMS三维隧道结构。为了实现上述目的,本专利技术采用如下方案:一种MEMS三维隧道结构,包括硅基底,二氧化硅氧化层和隧道结构层,所述二氧化硅氧化层在硅基底表面上,所述隧道结构层在二氧化硅氧化层上方。所述隧道结构层是由三块矩形二氧化硅薄膜组成。所述三块矩形二氧化硅薄膜为斜二氧化硅薄膜(31),斜二氧化硅薄膜(32),矩形的二氧化硅薄膜(40)。所述斜 ...
【技术保护点】
1.一种MEMS三维隧道结构,其特征在于,包括一块硅基底(10),一层二氧化硅氧化层
【技术特征摘要】
1.一种MEMS三维隧道结构,其特征在于,包括一块硅基底(10),一层二氧化硅氧化层(20)一块矩形的斜二氧化硅薄膜(31),一块矩形的斜二氧化硅薄膜(32),一块矩形的二氧化硅薄膜(40),二氧化硅氧化层(20)在硅基底(10)的表面上,斜二氧化硅薄膜(31)和斜二氧化硅薄膜(32)在二氧化硅氧化层(20)的上方,斜二氧化硅薄膜(31)连接在二氧化硅氧化层(20)的左侧,斜二氧化硅薄膜(31)与二氧化硅氧化层(20)呈144.7度夹角,斜二氧化硅薄膜(32)连接在二氧化硅氧化层(20)的右侧,斜二氧化硅薄膜(32)与二氧化硅氧化层(20)呈54.7度夹角,矩形二氧化硅薄膜(40)在斜二氧化硅薄膜(31)和斜二氧化硅薄膜(32)的上方,矩形二氧化硅薄膜(40)的左端连接在斜二氧化硅薄膜(31)边沿中间,距离两侧边界20um,矩形二氧化硅薄膜(40)的右端连接在斜二氧化硅薄膜(32)边沿中间,距离两侧边界20um。2.根据权利1中所说的斜二氧化硅薄膜(31)和斜二氧化硅薄膜(32),其特征是80um长10um宽的矩形,斜二氧化硅薄膜(31)和斜二氧化硅薄膜(32)在二氧化硅层(20)上相距50um,方向是硅基底(10)的(111)晶向。3.根据权利1中所说的矩形二氧化硅薄膜(40),其特征是20um宽,40um长的矩...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。