喷嘴清理装置及涂布机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种喷嘴清理装置，用于清理喷涂装置，包括两个限位盘、刮片、支架、第一驱动部以及导轨；其中，所述支架滑动装于所述导轨上；两个所述限位盘相对设置于所述支架上且两个所述限位盘之间形成一狭缝区域，所述刮片位于所述狭缝区域内，两个所述限位盘的盘面与所述刮片的表面抵持，且所述刮片的周缘正对所述喷嘴；所述第一驱动部位于所述支架上且与两个所述限位盘连接，所述第一驱动部用于驱动所述限位盘旋转使所述刮片对所述喷嘴进行刮拭。本发明专利技术所述喷嘴清理装置可在生产中实时刮喷嘴，有效防止喷嘴内光阻凝结，减少破膜现象。本发明专利技术还提供一种涂布机，包括上述喷嘴清理装置、喷嘴和承载台，所述喷嘴清理装置位于所述喷嘴下方。

Nozzle cleaning device and coating machine

The invention provides a nozzle cleaning device, which is used to clean up a spraying device, including two limit plates, scrapers, brackets, first drive part and guide rail; the bracket is slid on the guide rail, and the two limit disks are relatively set on the bracket and between the two limiting plates form a slit area, The scraper is located in the slit area, and the disk surface of the two limiting disc is held against the surface of the scraper, and the edge of the scraping piece is right to the nozzle; the first drive part is located on the bracket and connected with the two limit disc, the first drive part is used to drive the limit disc to rotate the scraper. The nozzles are scraped and wiped. The nozzle cleaning device can effectively scrape the nozzle in production, effectively prevent the condensation of light in the nozzle, and reduce the phenomenon of film breaking. The invention also provides a coating machine, comprising the nozzle cleaning device, the nozzle and the bearing platform, and the nozzle cleaning device is positioned below the nozzle.

【技术实现步骤摘要】
喷嘴清理装置及涂布机
本专利技术涉及显示屏制造
，特别涉及一种喷嘴清理装置及涂布机。
技术介绍
在TFT-LCD制程中，光阻涂布是黄光制程中非常重要的制程。目前的光阻涂布大多采用涂布速度快、精度高并且膜厚均匀的狭缝涂布机。但是在生产过程中，长时间作业涂布或者光阻停线、开线和换线时，由于狭缝涂布机的喷嘴内光阻凝结，极易导致涂布破膜，产生光阻膜层不均匀的现象。为改善上述问题，时常需要对狭缝涂布机进行人工刮喷嘴操作，不仅降低了生产效率，还造成了大量的人工成本浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种喷嘴清理装置，利用刮片在喷嘴边缘至内部做旋转运动来对喷嘴进行实时清理，防止涂布破膜和光阻膜层不均匀的现象，提高生产效率。本专利技术还提供一种涂布机。本专利技术所述喷嘴清理装置，包括两个限位盘、刮片、支架、第一驱动部以及导轨；其中，所述支架滑动装于所述导轨上；两个所述限位盘相对设置于所述支架上且两个所述限位盘之间形成一狭缝区域，所述刮片位于所述狭缝区域内，两个所述限位盘的盘面与所述刮片的表面抵持，且所述刮片的周缘正对所述喷嘴；所述第一驱动部位于所述支架上且与两个所述限位盘连接，所述第一驱动部用于驱动所述限位盘旋转使所述刮片对所述喷嘴进行刮拭。其中，所述喷嘴清理装置包括第一清洗槽，所述第一清洗槽位于所述导轨上且正对所述刮片，用于对所述刮片进行清洗。其中，每一所述限位盘包括外层圆盘、中层圆盘和内层圆盘，所述外层圆盘、所述中层圆盘和所述内层圆盘一体成型，两个所述限位盘的所述外层圆盘、所述中层圆盘和所述内层圆盘的周缘之间形成一个固定区域，所述固定区域形状与所述喷嘴形状契合，用于固定所述限位盘。其中，所述刮片为椭圆形刮片，所述刮片的短轴与所述内层圆盘的直径相同，所述刮片的长轴大于所述短轴3cm～8cm。其中，所述喷嘴清理装置包括第二驱动部，所述第二驱动部位于所述支架或所述导轨上，用于驱动所述支架在所述导轨上滑动。其中，所述限位盘由聚氯乙烯或哈式金属制成。其中，所述刮片由聚氯乙烯制成。本专利技术所述涂布机，包括上述的喷嘴清理装置、喷嘴和承载玻璃基板的承载台，所述喷嘴清理装置位于所述喷嘴下方。其中，所述涂布机包括刮片装载装置，所述刮片装载装置包括刮片盒、刮片盒支架和阻挡座，所述阻挡座位于所述导轨上且正对所述限位盘，所述刮片盒支架位于所述限位盘背离所述阻挡座的一侧且所述刮片盒支架上设有一正对所述限位盘的通孔，所述刮片盒位于所述刮片盒支架背离所述限位盘的表面上且可相对所述刮片盒支架滑动，所述刮片盒包括多个容纳有刮片的间隔腔，每一所述间隔腔朝向所述刮片盒支架的表面设有缝隙，所述缝隙用于使所述间隔腔中的刮片落入所述通孔中。其中，所述涂布机包括刮片卸载装置，所述刮片卸载装置包括喷洗器和第二清洗槽，所述喷洗器与所述第二清洗槽相对设置，所述第二清洗槽位于所述导轨上且正对所述限位盘，所述喷洗器位于所述限位盘背离所述第二清洗槽的一侧且正对所述限位盘。本专利技术所述喷嘴清理装置和涂布机利用限位盘的自传和水平运动带动刮片在喷嘴边缘至内部做旋转运动，在生产中对喷嘴进行实时清理，有效防止喷嘴内光阻凝结，减少破膜或光阻膜层成分不均匀的现象，省时省力，提高了产品良率和生产产能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术的喷嘴清理装置的结构示意图。图2是图1所示喷嘴清理装置的剖面图。图3是本专利技术的涂布机中装载刮片装置的结构示意图。图4是本专利技术的涂布机中卸载刮片装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本专利技术较佳实施例提供一种喷嘴清理装置，用于对喷涂装置中的喷嘴200进行实时清理。所述喷嘴清理装置100位于所述喷嘴200的正下方，包括两个限位盘10、刮片20、支架30、第一驱动部40和导轨50。其中，所述支架30滑动装于所述导轨50上；两个所述限位盘10相对设置于所述支架30上且两个所述限位盘10之间形成一狭缝区域，所述刮片20位于所述狭缝区域内，两个所述限位盘10的盘面与所述刮片20的表面抵持，且所述刮片20的周缘正对所述喷嘴200；所述第一驱动部40位于所述支架30上且与两个所述限位盘10连接，所述第一驱动部40用于驱动所述限位盘10旋转使所述刮片20对所述喷嘴200进行刮拭。本专利技术所述喷嘴清理装置安装在喷嘴的正下方，在喷嘴在喷涂光阻若干次后，喷嘴清理装置中的限位盘同时进行自转和水平运动，带动位于限位盘内的刮片从喷嘴的边缘至内部做旋转运动，可实现在生产作业中实时刮喷嘴，有效防止喷嘴内光阻凝结，省时省力，提高生产效率。所述喷嘴清理装置100包括第一清洗槽60，所述第一清洗槽60位于所述导轨50上且正对所述刮片20，用于对所述刮片20进行清洗。具体的，所述清洗槽60的宽度大于或等于两个所述限位盘10之间所述狭缝区域的宽度，所述清洗槽60内盛满清洗溶剂，所述刮片20在旋转过程中，所述刮片20的一端与喷嘴200的内部接触对喷嘴200进行刮拭，所述刮片20的另一端则浸没在所述清洗槽60中。本实施例中，所述清洗槽60包括浸泡槽和位于所述浸泡槽内的超声部，所述超声部为位于所述浸泡槽内的溶剂进行超声，当刮片20在旋转运动的过程中，刮片20上经过喷嘴200内部所残留的光阻在所述浸泡槽内被超声清洗掉，提高了刮片20对喷嘴200的刮擦效率。所述限位盘10位于所述清洗槽60的正上方。每一所述限位盘10包括外层圆盘11、中层圆盘12和内层圆盘13，所述外层圆盘11、所述中层圆盘12和所述内层圆盘13一体成型，两个所述限位盘10的所述外层圆盘11、所述中层圆盘12和所述内层圆盘13的周缘之间形成一个固定区域，所述固定区域形状与所述喷嘴形状契合，用于固定所述限位盘10。也就是说，所述外层圆盘11、所述中层圆盘12和所述内层圆盘13的形状与喷嘴200相配合使限位盘10固定住使得所述刮片20抵持于一对所述内层圆盘13的中间且正对喷嘴200。本实施例中，所述喷嘴200包括导流体210和位于所述导流体210正下方的喷口220。所述导流体210和所述喷口220均为倒梯形结构，所述喷口220位于所述导流体210下底边上且延伸向所述限位盘10。所述外层圆盘11的周缘抵持喷嘴200的导流体210的侧壁，所述中层圆盘12的周缘抵持所述导流体210的下底边且位于所述喷口220的两侧，所述内层圆盘13的周缘抵持所述喷涂口220的下底板，所述刮片20被抵持在两个所述内层圆盘13之间，从而使得刮片20与喷嘴200的喷口220准确对准。进一步的，所述刮片20为椭圆形刮片，所述刮片20的短轴与所述内层圆盘13的直径相同，所述刮片20的长轴大于所述短轴3cm～8cm，优选的，所述刮片20的长轴大于所述短轴6cm。由于喷嘴200的喷口2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴清理装置，用于清理喷涂装置，其特征在于，包括两个限位盘、刮片、支架、第一驱动部以及导轨；其中，所述支架滑动装于所述导轨上；两个所述限位盘相对设置于所述支架上且两个所述限位盘之间形成一狭缝区域，所述刮片位于所述狭缝区域内，两个所述限位盘的盘面与所述刮片的表面抵持，且所述刮片的周缘正对所述喷嘴；所述第一驱动部位于所述支架上且与两个所述限位盘连接，所述第一驱动部用于驱动所述限位盘旋转使所述刮片对所述喷嘴进行刮拭。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴清理装置，用于清理喷涂装置，其特征在于，包括两个限位盘、刮片、支架、第一驱动部以及导轨；其中，所述支架滑动装于所述导轨上；两个所述限位盘相对设置于所述支架上且两个所述限位盘之间形成一狭缝区域，所述刮片位于所述狭缝区域内，两个所述限位盘的盘面与所述刮片的表面抵持，且所述刮片的周缘正对所述喷嘴；所述第一驱动部位于所述支架上且与两个所述限位盘连接，所述第一驱动部用于驱动所述限位盘旋转使所述刮片对所述喷嘴进行刮拭。2.如权利要求1所述的喷嘴清理装置，其特征在于，所述喷嘴清理装置包括第一清洗槽，所述第一清洗槽位于所述导轨上且正对所述刮片，用于对所述刮片进行清洗。3.如权利要求1或2所述的喷嘴清理装置，其特征在于，每一所述限位盘包括外层圆盘、中层圆盘和内层圆盘，所述外层圆盘、所述中层圆盘和所述内层圆盘一体成型，两个所述限位盘的所述外层圆盘、所述中层圆盘和所述内层圆盘的周缘之间形成一个固定区域，所述固定区域的形状与所述喷嘴的形状相配合，用于固定所述限位盘。4.如权利要求3所述的喷嘴清理装置，其特征在于，所述刮片为椭圆形刮片，所述刮片的短轴与所述内层圆盘的直径相同，所述刮片的长轴大于所述短轴3cm～8cm。5.如权利要求4所述的喷嘴清理装置，其特征在于，所述喷嘴清理装置包括第二驱动部，所述第二驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂乐志，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44