一种化学刻蚀机制造技术

一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调，刻蚀槽温度可从室温至９０℃之间可调，特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小，重量轻，能耗小，结构简单，价格低廉，操作方便，控温精度高的特点。是一种小巧，经济实用的湿法化学刻蚀机。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是薄板材料湿法化学刻蚀精密加工领域。具体地说涉及一种加工微型反应器、换热器所需薄片不锈钢组件、微流场、微通道所需的小型化学刻蚀机，
技术介绍
微化工技术是20世纪90年代初期兴起的一门技术。在微通道内流体的反应行为有别于常规反应器，且流体在微通道内的传热、传质能力远远高于常规尺度。与传统反应器相比，相同的处理能力，体积可以减小1～2个数量级。微通道反应器、换热器大多采用薄片并联组模块合式，既由数片乃至数百片组合成一个反应器或换热器。单片的反应器由不同厚度的薄板材料制作，不锈钢薄板材料就是其中的一种。一般厚度在0.1mm～2.0mm。由于微通道孔槽很细小，直径大多在数十微米至数百微米之间，而且流场网络图形复杂板材薄，用传统的机械加工方法很难做到。采用激光、等离子等加工方法，难以形成批量，且费用昂贵。随着电子计算机制版技术的日臻完善，任何复杂的图形都不存在障碍，而且可以无数次的克隆制造。因此，湿法化学刻蚀是薄板微型通道精密加工的最理想的方法之一。湿法化学刻蚀工艺流程薄板→去油酯→干燥→贴膜→曝光→显影→干燥→修版→坚膜→刻蚀→去膜→干燥→检查→成品在湿法化学刻蚀中，化学刻蚀是最关键的工序，它决定着产品的最终质量，如同机械加工的机床一样。特别是不锈钢薄板的刻蚀，为取得高质量的产品，需要在湿式化学刻蚀机内进行。由于商品化学刻蚀机体积庞大(一般长十几米)，造价高(一般二十万左右)，刻蚀液用量大(一般在几吨左右)，适用于单一大批量生产。由于造价高，特别是条件选择困难，不适用于试验工作的需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种小型湿式化学刻蚀机，本技术整体小巧、造价低廉，条件选择方便，工作稳定可靠。为实现上述目的，本技术提供的小型化学刻蚀机，是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。其中振荡器作为刻蚀机的动力系统，较理想地选用速度可任意调节的振荡器。该振荡器上方设置一刻蚀槽，刻蚀槽内固定一支架，用于放置待刻蚀的部件。刻蚀槽内还设有一加热器，以根据需要对刻蚀槽内的刻蚀液进行加温，该加热器与一温度控制调节器电性连接。本技术的刻蚀槽用聚丙烯制作，也可以用聚氯乙烯或其他材料制作。本技术的加热器用金属钛管制作，也可以用玻璃管、陶瓷管或聚四氟乙烯制作。本技术的固定支架用硬木制作，也可用聚丙烯、聚氯乙烯等塑料制作。本技术的，温度控制器采用智能温度控制调节器，也可以采用间歇式或触点式温度控制器。本技术特点在于，该化学刻蚀机体积小，重量轻，结构简单，造价低廉，溶液用量小，可随意调换。振动速度可调节，温度可设定，运行平稳，控温精确，无噪音，可满足试验的需要。是一种小巧灵活，方便实用的不锈钢薄板微流场、微网络通道精密加工的湿法化学刻蚀机。附图说明图1为本技术提供的小型化学刻蚀机结构示意图；图中1-调速多用振荡器2-固定支架3-刻蚀槽 4-加热器5-温度控制调节器具体实施方式实施例将三氯化铁刻蚀液置入刻蚀槽3中，打开振荡器1，调至所需速度。打开温度控制器5，设定温度，加热器4开始加热。当刻蚀液温度恒定时，关闭振荡器5。将经过前期处理后需要刻蚀的的不锈钢薄片(图中未示)插入固定支架2内使其固定，开动振荡器5，进行化学刻蚀。刻蚀结束后，关闭振荡器5，取出刻蚀完毕的薄片，再按照化学刻蚀流程进行下步工序。权利要求1.一种化学刻蚀机，其特征在于，于振荡器上方设置一刻蚀槽，刻蚀槽内固定一支架，放置待刻蚀的部件；刻蚀槽内设有一加热器，该加热器与一温度控制调节器电性连接。2.权利要求1的化学刻蚀机，其特征在于，振荡器的速度可任意调节。3.权利要求1的化学刻蚀机，其特征在于，刻蚀槽材质为聚丙烯或聚氯乙烯。4.权利要求1的化学刻蚀机，其特征在于，加热器是金属钛管、玻璃管、陶瓷管或聚四氟乙烯管。5.权利要求1的化学刻蚀机，其特征在于，温度控制器为智能温度控制调节器或间歇式或触点式温度控制器。专利摘要一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调，刻蚀槽温度可从室温至90℃之间可调，特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小，重量轻，能耗小，结构简单，价格低廉，操作方便，控温精度高的特点。是一种小巧，经济实用的湿法化学刻蚀机。文档编号C23F1/08GK2727191SQ200420093078公开日2005年9月21日 申请日期2004年9月6日 优先权日2004年9月6日专利技术者李恒强, 陈光文 申请人:中国科学院大连化学物理研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学刻蚀机，其特征在于，于振荡器上方设置一刻蚀槽，刻蚀槽内固定一支架，放置待刻蚀的部件；刻蚀槽内设有一加热器，该加热器与一温度控制调节器电性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李恒强，陈光文，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：91[中国|大连]