刻蚀机自动传片机构制造技术

一种刻蚀机自动传片机构，其特征在于：它包括步进电机一（１８）、步进电机二（１９）、长轴（１０）、下臂（２９）和托片手（１１），长轴（１０）外套有长套筒（１２），长轴（１０）上端装有下臂（２９），步进电机一（１８）与谐波齿轮减速器（６）相连，谐波齿轮减速器（６）与基座（４）相连，长轴（１０）和长套筒（１２）与基座（４）固定连接，步进电机二（１９）与带轮（２）相连，带轮（２）与长套筒（１２）相连，长轴（１０）上端固定有主转盘（２１），主转盘（２１）装在下臂壳体（２３）内一端，下臂壳体（２３）的另一端内部装有从动轴（２７），主转盘（２１）与从动轴（２７）用一钢丝绳（２５）套接，从动轴（２７）轴端部分从下臂壳体（２３）伸出，伸出端与托片手（１１）连接。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种自动传片机构，特别涉及一种用于全自动刻蚀机的自动送取基片的机构。
技术介绍
随着微电子技术的不断发展，集成度要求越来越高，基片上图形的线条要求越来越细，对刻蚀工艺设备的要求就越高。为了减少对反应室的污染，提高刻蚀质量，提出了对基片刻蚀工艺过程的全自动化，以及提高洁净度的更高要求。在全自动刻蚀机中，自动传片机构是必不可少的。目前，大多数厂家还使用手动的方式取片、送片，这会对刻蚀工艺造成二次污染，使反应室的洁净度达不到要求，刻蚀质量下降。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种刻蚀机自动传片机构，它可自动进出于反应室及大气环境中，完成运送基片的任务。为解决上述技术问题，本技术包括包括步进电机一、步进电机二、长轴、下臂和托片手，长轴外套有长套筒，长轴上端装有下臂，步进电机一与谐波齿轮减速器相连，谐波齿轮减速器与基座相连，长轴和长套筒与基座固定连接，步进电机二与带轮相连，带轮与长套筒相连，长轴上端固定有主转盘，主转盘装在下臂壳体内一端，下臂壳体的另一端内部装有从动轴，主转盘与从动轴用一钢丝绳套接，从动轴轴端部分从下臂壳体伸出，伸出端与托片手连接。所述长套筒外装有固定法兰与连接罩，固定法兰与连接罩固定连接，其内有长轴，可相对转动，也可同步转动。固定法兰上面装有上密封板，上密封板上装有密封上盖，上密封板以上部分，装在真空锁内，上密封板以下的各部分，装在真空锁外，将相互运动地金属件密封在真空环境外。所述长套筒外装有向心球轴承和推力球轴承，轴承间装有套筒或垫片，可自由灵活转动，保证受力良好。所述主转盘与从动轴的转速比为1∶2，保证伸臂时的正确位置。所述主动盘外侧固定装有两个小球，钢丝绳的两端分别交叉固定在两个小球上，钢丝绳绕在主动盘与从动轴上，用于实现准确传动保证传动比1∶2无误差。所述从动轴中间装有一个固定轴，保证从动轴转动灵活可靠。所述主转盘上装有一小节弹簧，保证钢丝绳始终处于收紧状态。在基座上固定有支盘，支盘上固定有光电管支架一，光电管支架一上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘二固定在连接罩上，连接罩固定在真空锁底面，光电盘二上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘二的边缘伸入光电管支架一的缺口中，实现转臂动作信号传递。在基座上固定有底板，底板上固定有光电管支架二，光电管支架二上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘一与带轮相连，与带轮同步转动，光电盘一上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘一的边缘伸入光电管支架二的缺口中，光电管支架二不动，光电盘一转动，实现伸臂动作的信号传递。刻蚀机采用本技术后，取片送片全部自动完成，由于同时考虑了密封问题，避免了运动产生的金属颗粒及大气中的灰尘颗粒对反应室及真空锁内真空洁净环境的污染，也避免了手动操作引起的污染，提高了反应室的洁净度，提高了刻蚀的质量。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明。附图说明图1为本技术的托片手伸出时的结构示意图。图2为图1中A-A剖视图。图3为图1中D-D旋转结构示意图。图4为图1中下臂及托片手的放大结构示意图。图5为图4的俯视图。图6为图4中B-B剖视图。图7为下臂及托片手传片伸臂的动作示意图。具体实施方式刻蚀机包括有反应室及真空锁，反应室应为真空状态。为保证反应室经常处于真空状态，真空锁需要经常处于真空环境与大气环境的交替状态。真空锁有两个，真空锁的壳体与反应室密封连接，在反应室与真空锁之间有一内门，真空锁与大气之间有一外门。本技术一部分安装在真空锁内，一部分安装在真空锁外，当外门打开时，自动将托片手11伸出真空锁外，从外部步进升降器内取出基片，再缩回真空锁。此时，外门关闭，锁内抽真空。当锁内的气压降低至接近反应室压力时，内门打开。托片手11自动伸进反应室内，卸下基片，再缩回真空锁，内门关闭。本技术的作用就是自动将托片手11伸出缩回。参见图1、图2，它包括步进电机一18、步进电机二19，长轴10，下臂29和托片手11，长轴10外套有长套筒12，长轴10上端装有下臂29，步进电机一18驱动谐波齿轮减速器6，谐波齿轮减速器6与基座4相连，可带动基座4转动，长轴10和长套筒12与基座4固定连接，步进电机二19驱动带轮2，带轮2与长套筒12相连，可带动长套筒12转动，长轴10上端固定有主转盘21，主转盘21固定装在下臂壳体23内一端，见图4，下臂壳体23的另一端内部装有从动轴27，主转盘21与从动轴27用一钢丝绳25套接。具体做法是在主动盘外侧固定装有两个小球22，钢丝绳25的两端分别交叉固定在两个小球22上，钢丝绳25绕在主转盘21与从动轴27上。见图5。主转盘21上装有一小节弹簧26，随时收紧钢丝绳25。主转盘21与从动轴27的直径比为1.5～4。主转盘21旋转，由钢丝绳25带动从动轴27旋转。从动轴27轴端部分，即上轴端从下臂壳体23伸出，伸出端与托片手11连接。从动轴27中间装有一个固定轴28，支撑从动轴27灵活转动，见图6。长套筒12外装有固定法兰(9)与连接罩15，固定法兰(9)与连接罩15固定连接。见图1。固定法兰(9)上面装有上密封板14，上密封板14上装有密封上盖(13)。上密封板14以上部分，包括固定法兰(9)上部分、长轴10和长套筒12的上部分及下臂29和托片手11等都装在真空锁内，上密封板14以下的各部分，包括固定法兰(9)下部分、长轴10及长套筒12的下部分及步进电机18、19，谐波齿轮减速器6及光电管支架16、17等在真空锁外。由于反应室与真空锁内都对洁净度提出了很高要求，所以本技术在许多位置做了相应的密封，由若干密封圈实现了所需的密封。下臂29是密封的，下臂壳体23与下臂盖24是密封的，从动轴27的上轴端从下臂盖24伸出，有轴封，托片手11就固定在它的轴端。上密封板14及固定法兰(9)与真空锁的壳体相互间密封。实际上，密封在下臂29内部的是大气环境，下臂29外部是真空锁内的低压环境，下臂29内部是通过长轴10与长套筒12之间的空隙与大气相通。长套筒12外装有向心球轴承和推力球轴承，轴承间装有套筒或垫片，将轴承按一定距离隔开。在基座4上固定有支盘7，支盘7上固定有光电管支架一16，光电管支架一16上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘二8固定在连接罩15上，连接罩15固定在真空锁底面，光电盘二8圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘二8的边缘有小孔部分伸入光电管支架一16的缺口中。在基座4上固定有底板3，底板3上固定有光电管支架二17，光电管支架二17上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘一1与带轮2相连，与带轮2同步转动，光电盘一1上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘一1的边缘有小孔部分伸入光电管支架二17的缺口中。图3为图1中D-D旋转结构示意图。步进电机二19轴端有一小带轮20，小带轮20通过同步齿形带5与长套筒12外的带轮2相连。本技术需要完成的动作有两种，转臂和伸臂。转臂时，步进电机一18通过谐波齿轮减速器6带动基座4转动，步进电机二19不转动而处于锁紧状态。则长轴10及长套筒12随基座4同时转动，下臂29内的主转盘21相对下臂壳体23无转动。从动轴27无相对转动，则装在其轴端的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨金生，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：