【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅粉表面刻蚀装置，反应室上连接投料罐、出料罐和刻蚀气体输送系统，反应室内平行装有板式阳极和阴极，板式阳极和阴极与放电电源电气连接；其特征在于：（１）所述阴极与水冷装置连接，水冷装置穿过反应室底部并通过密封波纹管与反应室底部活动连接，水冷装置底端通过振动转换杆连接振动源；（２）所述密封波纹管、振动转换杆和振动源位于底架上，底架与反应室底部固定连接；（３）所述底架安装于倾角调整支架上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：尹盛，李战春，王敬义，王飞，王家鑫，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]
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