９Ｃｒ１８钢制精密轴承表面等离子体基氮离子与银离子注入方法，属于精密零件表面强化处理领域，本发明专利技术的目的是为了解决目前未经任何处理的９Ｃｒ１８钢制精密轴承工作在极低温度工况时，轴承的承载能力不足，润滑性能差，强度低，既而影响其服役寿命的问题。包括：步骤一、超声清洗；步骤二、真空处理；步骤三、对９Ｃｒ１８钢制精密轴承进行预溅射清洗；步骤四、用离子注入机对９Ｃｒ１８钢制精密轴承进行氮离子注入处理；步骤五、对９Ｃｒ１８钢制精密轴承进行银离子注入处理；步骤六、真空室恢复常压，并冷却至室温。使得应用在极低温的环境下的９Ｃｒ１８钢制精密轴承表面硬度１４ＧＰａ，滑动摩擦系数为０．１，疲劳寿命提高２．３倍。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种9Crl8钢制精密轴承表面等离子体基氮离子与银离子注 入方法，属于精密零件表面强化处理领域。
技术介绍
随着现代科技的发展，越来越多设备需要在极低温的环境下工作，其工 作温度甚至在零下20(TC左右，9Crl8钢以其尺寸稳定性好，综合性能优越成 为低温轴承常用的材料，9Crl8钢制精密轴承是在低温环境工作设备重要的运 动部件，由于处于极端低温环境下，润滑问题成为精密轴承的主要问题之一， 如9Crl8钢制精密轴承表面不作任何处理，则轴承的润滑性能会很差；随着 技术的不断发展，轴承承受的载荷越来越大，未经过任何表面强化处理的 9Crl8钢制精密轴承的使用寿命已经不能满足一些在重载高速条件下工作部 件的使用要求，不作表面强化处理的轴承的承载能力低，强度低，既而轴承 的服役寿命短。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决目前未经任何处理的9Crl8钢制精密轴承工作在极 低温度工况时，轴承的承载能力不足，润滑性能差，强度低，既而影响其服 役寿命的问题，提供一种9Crl8钢制精密轴承表面等离子体基氮离子与银离 子注入方法。实现本专利技术方法的步骤包括步骤一、超声清洗将多个待处理的9Crl8钢制精密轴承分别放入纯度 为99.9%以上的丙酮溶液中超声清洗两次，每次超声清洗持续8min 15min;步骤二、真空处理将多个处理过的9Crl8钢制精密轴承放到真空室试 样台上，抽真空至真空度为1.0xl(r4Pa~1.0xl(T3Pa;步骤三、预溅射清洗对所述9Crl8钢制精密轴承进行预溅射清洗 10min 30min，射频功率在0.8kW 2kW之间，电压在500V 700V之间，电流 在0.2mA/cmL0.5mA/cr^之间，调节射频功率，使产生的氩气等离子浓度在41.0xl0，/cm3 1.0xl0,cm3之间；步骤四、氮离子注入所述9Crl8钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀速旋 转的同时，用离子注入机对所述9Crl8钢制精密轴承进行氮离子注入处理， 气源采用纯度为99.999%的氮气，氮气气压在0.08Pa (X2Pa之间，注入电压在 30kV 50kV之间，注入剂量在3xl0"ions/cm2 4xl0"ions/cm2之间，在注入过 程中注入电流密度控制在2pA/cm2~2.5nA/cm2之间，保证工件温升不超过 150°C;步骤五、银离子注入保持所述9Crl8钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀 速旋转，调节真空室内气体压强至0.1Pa 0.5Pa，在9Crl8钢制精密轴承上施 加一个负偏压，注入参数为注入电压在30kV 50kV之间，注入电流密度在 1^lA/cmL3.5nA/ci^之间，以直流磁控溅射银耙提供银离子源，磁控溅射参数 为溅射偏压在200V 400V之间，溅射电流调至80mA 120mA之间持续 8min 15min，再将溅射电流调至180mA 220mA之间持续25min 35min，同 时保证工件温升不超过150°C;步骤六、真空室内气压恢复常压，并冷却至室温。本专利技术的优点是1、 对9Crl8钢制精密轴承的等离子体基离子注入处理可实现批量生产， 生产成本低。2、 经本专利技术方法处理后的9Crl8钢制精密轴承表面硬度可达14GPa，为 未处理轴承的1.5倍。3、 经本专利技术方法处理后的9Crl8钢制精密轴承表面与9Crl8钢球的滑动 摩擦系数为O.l，为未处理条件下试样摩擦系数的1/8。4、 经本专利技术方法处理后的9Crl8钢制精密轴承的疲劳寿命为未处理轴承 的2.3倍左右。具体实施例方式具体实施方式一本实施方式包括步骤一、超声清洗将多个待处理的9Crl8钢制精密轴承分别放入纯度为99.9%以上的丙酮溶液中超声清洗两次， 每次超声清洗持续8min 15min;步骤二、真空处理将多个处理过的9Crl8钢制精密轴承放到真空室试样台上，抽真空至真空度为1.0xl(T4Pa~1.0xl(r3Pa;步骤三、预溅射清洗对所述9Crl8钢制精密轴承进行预溅射清洗 10min 30min，射频功率在0.8kW 2kW之间，电压在500V-700V之间，电流 在0.2mA/cn^ 0.5mA/cr^之间，调节射频功率，使产生的氩气等离子浓度在 1 .Ox 10910/cm3~l .Ox 101()/cm3之间；步骤四、氮离子注入所述9Crl8钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀速旋 转的同时，用离子注入机对所述9Crl8钢制精密轴承进行氮离子注入处理， 气源采用纯度为99.999%的氮气，氮气气压在0.08Pa 0,2Pa之间，注入电压在 30kV 50kV之间，注入剂量在3xl0"ions/cml4xl0"ions/cn^之间，在注入过 程中注入电流密度控制在2|nA/cm2 2.5|iA/cm2之间，保证工件温升不超过 150°C;步骤五、银离子注入保持所述9Crl8钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀 速旋转，调节真空室内气体压强至0.1Pa 0.5Pa，在9Crl8钢制精密轴承上施 加一个负偏压，注入参数为注入电压在30kV 50kV之间，注入电流密度在 lpA/cmL3.5iiA/ci^之间，以直流磁控溅射银耙提供银离子源，磁控溅射参数 为溅射偏压在200V 400V之间，溅射电流调至80mA 120mA之间持续 8min 15min，再将溅射电流调至180mA 220mA之间持续25min 35min，同 时保证工件温升不超过15(TC;步骤六、真空室内气压恢复常压，并冷却至室温。由于处于极端低温环境下，固体润滑是改善9Crl8钢制精密轴承润滑性 能的唯一选择，固体润滑材料的选择及其与基体的结合力是低温轴承固体润 滑效果好坏的重要因素。银是一种常用的低温固体润滑材料，而采用等离子 体基银离子注入技术是一种制备精密轴承银固体润滑层的有效方法，通过离 子注入在银层和9Crl8钢基体之间形成一个混合层，有利于提高基体和润滑 层之间的结合力。为了提高9Crl8钢制精密轴承的承载能力和使用寿命，必须要对其进行 表面强化处理。材料表面强化的方法很多，包括喷涂，激光表面强化，离子 镀，等离子体基离子注入等。由于精密轴承对其尺寸精度的苛刻要求，在诸 多表面强化技术中只有等离子体基离子注入技术能够用于精密轴承的表面强6化处理。等离子体基离子注入技术还具有以下优点-(1)克服视线加工的局限，实现全方位注入由于在等离子体基离子注入过程中，工件(本实施方式中指9Crl8钢制 精密轴承)湮没在等离子体中，依靠施加在工件上的脉冲负偏压所产生的强 电场，几乎每个暴露的金属表面均可吸引离子，从而可从四面八方对工件进 行全方位的离子注入，解决了离子注入在复杂形状工件上的应用问题。(2) 高效率，操作控制安全方便由于离子注入可以在施加脉冲负电位的工件上同时进行，无需扫描，就 可实现大面积注入，故效率颇高。另外调节脉冲负偏压大小，波形和频率就 可方便地控制离子注入过程，操作方便。(3) 批量生产加工过程中，阴极是工件本身，工件周围的等离子鞘层就是阳极，因此 每个工件及其周围的等离子体鞘层就形成了一个独立的离子注入系统，这样 等离子体基离子注入就可以实现批量生产。(4) 生产成本降低由于是全方位离子注入，工件在传统离子注入过程中所必需的往复、旋 转等操本文档来自技高网...
【技术保护点】
９Ｃｒ１８钢制精密轴承表面等离子体基氮离子与银离子注入方法，其特征在于它包括： 步骤一、超声清洗：将多个待处理的９Ｃｒ１８钢制精密轴承分别放入纯度为９９．９％以上的丙酮溶液中超声清洗两次，每次超声清洗持续８ｍｉｎ～１５ｍｉｎ；步骤二、真空处理：将多个处理过的９Ｃｒ１８钢制精密轴承放到真空室试样台上，抽真空至真空度为１．０×１０↑［－４］Ｐａ～１．０×１０↑［－３］Ｐａ； 步骤三、预溅射清洗：对所述９Ｃｒ１８钢制精密轴承进行预溅射清洗１０ｍｉｎ～３０ｍｉｎ，射频功率在０．８ｋＷ～２ｋＷ之间，电压在５００Ｖ～７００Ｖ之间，电流在０．２ｍＡ／ｃｍ↑［２］～０．５ｍＡ／ｃｍ↑［２］之间，调节射频功率，使产生的氩气等离子浓度在１．０×１０↑［９１０］／ｃｍ↑［３］～１．０×１０↑［１０］／ｃｍ↑［３］之间； 步骤四、氮离子注入：所述９Ｃｒ１８钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀速旋转的同时，用离子注入机对所述９Ｃｒ１８钢制精密轴承进行氮离子注入处理，气源采用纯度为９９．９９９％的氮气，氮气气压在０．０８Ｐａ～０．２Ｐａ之间，注入电压在３０ｋＶ～５０ｋＶ之间，注入剂量在３×１０↑［１７］ｉｏｎｓ／ｃｍ↑［２］～４×１０↑［１７］ｉｏｎｓ／ｃｍ↑［２］之间，在注入过程中注入电流密度控制在２μＡ／ｃｍ↑［２］～２．５μＡ／ｃｍ↑［２］之间，保证工件温升不超过１５０℃； 步骤五、银离子注入：保持所述９Ｃｒ１８钢制精密轴承缓慢绕自身轴线匀速旋转，调节真空室内气体压强至０．１Ｐａ～０．５Ｐａ，在９Ｃｒ１８钢制精密轴承上施加一个负偏压，注入参数为：注入电压在３０ｋＶ～５０ｋＶ之间，注入电流密度在１μＡ／ｃｍ↑［２］～３．５μＡ／ｃｍ↑［２］之间，以直流磁控溅射银靶提供银离子源，磁控溅射参数为：溅射偏压在２００Ｖ～４００Ｖ之间，溅射电流调至８０ｍＡ～１２０ｍＡ之间持续８ｍｉｎ～１５ｍｉｎ，再将溅射电流调至１８０ｍＡ～２２０ｍＡ之间持续２５ｍｉｎ～３５ｍｉｎ，同时保证工件温升不超过１５０℃； 步骤六、真空室内气压恢复常压，并冷却至室温。...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马欣新，唐光泽，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]
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