一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型专利技术的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置。
技术介绍
在真空镀膜中，经常需要在不破坏真空的情况下，对镀膜室内的工件进行操作和掩盖，然而目前却没有一套标准化设备来实现。常常因为目的各有不同，也不便进行标准化生产。例如对多组基片，进行不同图案的遮掩，就需要有一整套传动装置。现有的操作经常需要打开真空室把所需要的掩膜板放入。这样的操作不仅费时、费力造成资源的浪费，因为真空镀膜耗电、水量都很大，而且多次打开真空后，对镀膜工艺会产生致命的破坏。
技术实现思路
本技术的目的就是提供一种采用旋转掩膜板的方式，能在不打开真空条件下，对基片的掩盖图案进行多次调整移动的真空镀膜用旋转掩膜装置。本技术的真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本技术的真空镀膜用旋转掩膜装置工作原理是将所需镀膜基片放在基片架的基片槽中，通过调节转轴的位置使掩膜板随之转动，镀膜时，掩膜板可离开也可回复到脱离基片架上的基片槽的下而，停止镀膜时，掩膜板遮盖住基片架上的基片槽，掩膜板是通过固定钢柱端部通孔处的定位圆珠与挡板上的定位孔来定位。这样，即使在镀膜观察不到掩膜板的转动，也可以通过手感决定继续旋转还是停止，从而达到在基片上镀所需图案的目的。本技术的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的剖面结构示意图；图3为本技术的基片架结构示意图；图4为本技术掩膜板结构示意图。具体实施方式一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架1、掩膜板3，基片架1上开有放置所需镀膜基片用的基片槽2，基片架1套在转轴6上，转轴6的一端端部与掩膜板3固接，掩膜板3上设有定位孔7和挡板11，挡板11可遮盖基片架1上的基片槽2，转轴6上还套有固定钢柱4，固定钢柱4与基片架1固定在一起，转轴6与固定钢柱4之间设有滚珠，使转轴6在固定钢柱4内转动，固定钢柱4上设轴向的通孔5，通孔5的位置与掩膜板3上的定位孔7相匹配，固定钢柱4与掩膜板3之间设有定位圆珠8，定位圆珠8卡在定位孔7与固定钢柱4的通孔5间，通孔5的另一端设置紧固螺栓10，通孔5内放置弹簧9，紧固螺栓10使通孔5内的弹簧9挤压定位圆珠8。权利要求1.一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架(1)、掩膜板(3)，其特征在于基片架(1)上开有放置所需镀膜基片用的基片槽(2)，基片架(1)套在转轴(6)上，转轴(6)的一端端部与掩膜板(3)固接，掩膜板(3)上设有定位孔(7)和挡板(11)，挡板(11)可遮盖基片架(1)上的基片槽(2)，转轴(6)上还套有固定钢柱(4)，固定钢柱(4)与基片架(1)固定在一起，转轴(6)与固定钢柱(4)之间设有滚珠，固定钢柱(4)上设轴向的通孔(5)，通孔(5)的位置与掩膜板(3)上的定位孔(7)相匹配，固定钢柱(4)与掩膜板(3)之间设有定位圆珠(8)，定位圆珠(8)卡在定位孔(7)与固定钢柱(4)的通孔(5)间，通孔(5)的另一端设置紧固螺栓(10)。2.根据权利要求1所述的真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于固定钢柱(4)的通孔(5)内放置弹簧(9)。专利摘要一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本技术的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。文档编号C23C14/24GK2915882SQ20062009701公开日2007年6月27日 申请日期2006年5月30日 优先权日2006年5月30日专利技术者高希存 申请人:南昌大学本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架（１）、掩膜板（３），其特征在于：基片架（１）上开有放置所需镀膜基片用的基片槽（２），基片架（１）套在转轴（６）上，转轴（６）的一端端部与掩膜板（３）固接，掩膜板（３）上设有定位孔（７）和挡板（１１），挡板（１１）可遮盖基片架（１）上的基片槽（２），转轴（６）上还套有固定钢柱（４），固定钢柱（４）与基片架（１）固定在一起，转轴（６）与固定钢柱（４）之间设有滚珠，固定钢柱（４）上设轴向的通孔（５），通孔（５）的位置与掩膜板（３）上的定位孔（７）相匹配，固定钢柱（４）与掩膜板（３）之间设有定位圆珠（８），定位圆珠（８）卡在定位孔（７）与固定钢柱（４）的通孔（５）间，通孔（５）的另一端设置紧固螺栓（１０）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高希存，
申请(专利权)人：南昌大学，
类型：实用新型
国别省市：36[中国|江西]
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