真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极制造技术

本实用新型专利技术是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟的电极，特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。包括：电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后，以及蒸发舟在上下装卸的过程中，由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断，从而提高蒸发舟的使用寿命。在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象，达到延长使用寿命的目的。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟电极，特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟的支持电极的改进。在通用的真空镀膜设备里，电阻加热式电极的结构包括电阻加热蒸发舟、电极柱、绝缘密封法兰、电极连板、电极夹板。由于蒸发舟一般由钼、钨等高熔点金属材料做成。蒸发舟固定在电极夹板上，当电阻加热蒸发舟通电加热时，蒸发舟的材料分子结晶形式发生了变化，使得这些材料经过一定温度条件下的使用后就变得特别脆弱，经不起二次或多次的装拆使用。造成蒸发舟因加热变形或蒸发舟装卸过程中产生的应力而导致损坏的可能，从而使蒸发舟的使用寿命低。本技术的目的是为了解决蒸发舟因加热变形和装卸产生的应力而导致损坏，使蒸发舟使用寿命降低的问题。本技术提供一种可方便装拆、延长蒸发舟的使用寿命，具有一定自由转动的真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极。本技术的详细内容它包括在外部真空室14中安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极连板4、电极夹板5、蒸发舟6、转动轴7、导线8、转动电极连板9、固定电极连板10及底台11，蒸发舟6的两端对称安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极夹板5，两个绝缘密封法兰2将两个电极柱1密封在外部真空室14的底台11上，一个螺钉3将电极连板4和一个电极柱1固定连接为一体，固定电极连板10的一端和一个电极柱1用一个螺钉3固定连接，转动轴7与转动电极连板9一端和固定电极连板10的另一端为转动连接，导线8与转动电极连板9和固定电极连板10连接，电极连板9的夹子端与蒸发舟6的一端连接。本技术的动态工作过程当各个部件都连接好后，可以对外部的真空室14抽真空进行蒸发操作。当真空室14的真空度达到可以蒸发材料时，在电极柱1上由小到大逐步施加电压，蒸发舟6的温度随之逐步升高，由于热胀冷缩的原理，蒸发舟6就要伸长，因转动电极连板9上有可以自由转动的转动轴7的原因，蒸发舟6可以平整的向外移动，而不会弯曲，当蒸发舟6已蒸发完所需要的材料，而要把温度降下来时，蒸发舟6就会缩短，这种变化也通过自由转动的转动轴7使转动电极连板9内移，从而使蒸发舟6处于平整的状态而不产生应力。本技术的积极效果是在通用的真空加热电极的基础之上设计了一个带有自由转动的转动电极连板，解决了在通常情况下的固定式电极在通电加热后，以及蒸发舟在上下装卸的过程中，由于应力的作用引起蒸发舟材料折断的问题，已有技术蒸发舟只能使用二到三次，使用本技术时蒸发舟能使用二十次左右，从而提高蒸发舟的使用寿命。在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象，达到延长使用寿命的目的。 附图说明图1是本技术的主视图图2是本技术的俯视图图3是电阻加热蒸发舟的结构示意图本技术的实施例图1、图2、图3电极柱1、绝缘密封法兰2和底台11是真空室14上的一部分。螺钉3为市场供应的M4紧固螺钉。电极连板4、电极夹板5、转动轴7、导线8、转动电极连板9和固定电极连板10采用无氧铜或紫铜制成。电极连板4、电极夹板5、转动电极连板9和固定电极连板10它们的两端制备有圆孔或根据其它需要制孔。蒸发舟6用钼、钨和钽制成片状或丝状电阻加热蒸发舟。电阻加热片12和料盒13用钼制成。实施例在蒸发化合物半导体CdSe在成膜的过程中，化学元素Cd和Se的配比在蒸发中保持一致是非常重要的。为了减少配比的变化，把蒸发舟6制成如图3所示的形状比较有效。在蒸发化合物半导体CdSe在成膜的过程中，使用蒸发舟6时，把料盒13填加上CdSe粉料，然后将料盒13挂在电阻加热片12上，由蒸发电极夹板5把电阻加热片12两端夹牢。对于如图3所示的蒸发舟由于需要挂料盒13，电阻加热片12在使用时平整将料盒13挂上。当蒸发舟6加热或装卸中有应力的作用时，就完全可以通过转动电极连板9的一端相对移动而得到化解，不致于使蒸发舟6由于应力而弯曲或折断。转动电极连板9一端和固定电极连板10另一端本体上的制备连接孔。蒸发舟6是通过电极夹板5将其和电极连板4、电极连板9连接，以保证机械支撑和电路的导通。转动电极连板9和固定电极板10与转动轴7连接在一起，在转动电极连板9和固定电极连板10之间用导线8将它们联接，外加电流加到蒸发舟6上，导线8有一定的截面积和柔软性，确保大电流通导到蒸发舟6上。权利要求1.真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极，它包括在外部真空室14中安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极连板4、电极夹板5、蒸发舟6及底台11，蒸发舟6的两端对称安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极夹板5，两个绝缘密封法兰2将两个电极柱1密封在外部真空室14的底台11上，一个螺钉3将电极连板4和一个电极柱1固定连接为一体，其特征在于它还包括在外部真空室14中安置转动轴7、导线8、转动电极连板9和固定电极连板10，固定电极连板10的一端和一个电极柱1用一个螺钉3固定连接，转动轴7与转动电极连板9一端和固定电极连板10的另一端为转动连接，导线8与转动电极连板9和固定电极连板10连接，电极连板9的夹子端与蒸发舟6的一端连接。专利摘要本技术是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟的电极,特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。包括:电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后,以及蒸发舟在上下装卸的过程中,由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断,从而提高蒸发舟的使用寿命。在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象,达到延长使用寿命的目的。文档编号C23C14/26GK2438724SQ0025155公开日2001年7月11日 申请日期2000年9月7日 优先权日2000年9月7日专利技术者李志明 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极，它包括在外部真空室１４中安置电极柱１、绝缘密封法兰２、螺钉３、电极连板４、电极夹板５、蒸发舟６及底台１１，蒸发舟６的两端对称安置电极柱１、绝缘密封法兰２、螺钉３、电极夹板５，两个绝缘密封法兰２将两个电极柱１密封在外部真空室１４的底台１１上，一个螺钉３将电极连板４和一个电极柱１固定连接为一体，其特征在于：它还包括在外部真空室１４中安置转动轴７、导线８、转动电极连板９和固定电极连板１０，固定电极连板１０的一端和一个电极柱１用一个螺钉３固定连接，转动轴７与转动电极连板９一端和固定电极连板１０的另一端为转动连接，导线８与转动电极连板９和固定电极连板１０连接，电极连板９的夹子端与蒸发舟６的一端连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李志明，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]