A sizing machine that can automatically detect the thickness of the film, including the thickness gauge, the display screen, the bolt, the rotating shaft, the screw, the wire, the base, the control panel, the telescopic probe, and the sample. The working parameters of the homogenizing machine are increased by the combination of the thickness gauge and the homogenizing machine. The working parameters of the traditional homogenizing machine are mainly the coating rate. There are many uncertainties in determining the thickness of the film by the number of films. This design enables the staff to know more clearly the thickness of the film after each film, ensures the accuracy of the experiment, and avoids the use of scanning electron microscopy and X rays at the later stage. Because the thickness of the diffraction instrument is not up to standard, the measurement error or even the appearance and composition of the detector can not be detected, which will cause the extension of the experimental time or the deviation of the experimental result.
【技术实现步骤摘要】
一种可自动检测薄膜厚度的匀胶机
本技术涉及共还原法制备薄膜的实验设备,主要涉及一种可自动检测薄膜厚度的匀胶机。
技术介绍
匀胶机的工作原理是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,主要应用领域为半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺。现在实验室用匀胶机的工作参数主要是匀胶速率、匀胶时间等,其匀胶速率主要目的是控制薄膜的均匀程度,匀胶时间主要目的是控制薄膜的厚度,但实验表明,薄膜的厚度厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。这就说明传统的实验参数并不能准确控制薄膜的厚度,对于实验中薄膜的厚度实验人员只能按照大概的方法做完涂膜实验然后拿去测厚度,这样不仅浪费时间,更重要的是如果检测到薄膜厚度不达标时会因为对薄膜表面造成污染而无法二次涂膜,从而重新进行实验,浪费实验原料,并且还是得不到准确的数据。
技术实现思路
一种可自动检测薄膜厚度的匀胶机,主要包括测厚仪,显示屏,螺栓,转轴,螺杆,导线,底座,控制面板,可伸缩探头,试样;其主要特征在于:控制面板与电源通过导线相连接;匀胶机和测厚仪与控制面板通过导线相连接;转轴与螺杆磁铁性连接;转轴与测厚仪固定连接;测厚仪与可伸缩探头通过螺栓连接,可伸缩探头设置在试样正上方并与其保持一定距离。准备工作前,将试样放置在匀胶机上,同时将测厚仪旋转到指定位置。工作时,当匀胶机对试样涂膜完成后自动断电,同时与匀胶机相连的控制面板得到信号将测厚仪打开;测厚仪开始工作,可伸缩探头向下移动至指定位置,开始对薄膜进行厚度测量并通过显示屏直接显示其薄膜厚度;当薄膜达到 ...
【技术保护点】
一种可自动检测薄膜厚度的匀胶机,主要包括测厚仪,显示屏,螺栓,转轴,螺杆,导线,底座,控制面板,可伸缩探头,试样;其主要特征在于:控制面板与电源通过导线相连接;匀胶机和测厚仪与控制面板通过导线相连接;转轴与螺杆磁铁性连接;转轴与测厚仪固定连接;测厚仪与可伸缩探头通过螺栓连接,可伸缩探头设置在试样正上方并与其保持一定距离。
【技术特征摘要】
1.一种可自动检测薄膜厚度的匀胶机,主要包括测厚仪,显示屏,螺栓,转轴,螺杆,导线,底座,控制面板,可伸缩探头,试样;其主要特征在于:控制面板与电源通过导线相连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:荆明星,宋文婷,李菁菁,薛菲,刘科高,
申请(专利权)人:山东建筑大学,
类型:新型
国别省市:山东,37
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