基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器，它的圆形基底的底面刻蚀有互补型开缝金属环，互补型开缝金属环包括外圈金属偏环、内圈偏心圆形金属片和金属缝隙条，外圈金属偏环和内圈偏心圆形金属片通过金属缝隙条连接，下层传输接地板包括矩形基底，矩形基底的顶部刻蚀有金属环形微带线，在矩形基底中金属环形微带线的左右两端刻蚀有电磁波信号输入线和电磁波信号输出线，矩形基底的整个底部刻蚀有矩形金属接地层，金属环形微带线与互补型开缝金属环之间的四个角设置有角垫。

【技术实现步骤摘要】
基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器
本专利技术涉及电磁超材料及微波
，具体涉及一种基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器。
技术介绍
传感器是一种检测装置，能感受被测量的信息，并能将感受到的信息按一定规律变换成为电信号或其它所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制的要求。在工业检测中经常有很多非接触的微小物理量的检测，比如建筑结构的微小形变，角度的倾斜等的检测。这就需要设计一种非接触的传感器可以精准的检测这种微小的变化量，从而及时采取防护和改进措施。微波传感器是利用微波特性来检测一些物理量的器件。包括感应物体的存在、运动速度、距离、角度等的变化。目前传统的接触式位移传感器主要采用电阻应变式，通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻、电压或电流输出。其优点是结构简单，频响特性好，能在恶劣条件下工作。但是这种传感器存在体积大、接触磨损大、输出信号较弱、测量灵敏度低等缺点，而且其对于大应变有较大的非线性从而影响传感器的测量精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术中存在的问题，提出一种基于电磁超材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器，其特征在于：它包括上层超介质板(1)和下层传输接地板(2)，所述上层超介质板(1)包括圆形基底(1.1)，所述圆形基底(1.1)的底面刻蚀有互补型开缝金属环(1.2)，所述互补型开缝金属环(1.2)包括外圈金属偏环(1.3)、内圈偏心圆形金属片(1.4)和金属缝隙条(1.5)，所述外圈金属偏环(1.3)和内圈偏心圆形金属片(1.4)通过金属缝隙条(1.5)连接，所述下层传输接地板(2)包括矩形基底(2.1)，所述矩形基底(2.1)的顶部刻蚀有金属环形微带线(2.2)，所述在矩形基底(2.1)中金属环形微带线(2.2)的左右两端刻蚀有电磁...

【技术特征摘要】
1.一种基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器，其特征在于：它包括上层超介质板(1)和下层传输接地板(2)，所述上层超介质板(1)包括圆形基底(1.1)，所述圆形基底(1.1)的底面刻蚀有互补型开缝金属环(1.2)，所述互补型开缝金属环(1.2)包括外圈金属偏环(1.3)、内圈偏心圆形金属片(1.4)和金属缝隙条(1.5)，所述外圈金属偏环(1.3)和内圈偏心圆形金属片(1.4)通过金属缝隙条(1.5)连接，所述下层传输接地板(2)包括矩形基底(2.1)，所述矩形基底(2.1)的顶部刻蚀有金属环形微带线(2.2)，所述在矩形基底(2.1)中金属环形微带线(2.2)的左右两端刻蚀有电磁波信号输入线(2.3)和电磁波信号输出线(2.4)，所述矩形基底(2.1)的整个底部刻蚀有矩形金属接地层(2.5)，所述上层超介质板(1)底面与矩形基底(2.1)的顶面之间设置有角垫(3)，使金属环形微带线(2.2)与互补型开缝金属环(1.2)之间形成空气间隙。2.根据权利要求1所述的基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器，其特征在于：所述上层超介质板(1)底面与矩形基底(2.1)的顶面之间的四个角设置厚度为0.20～0.30mm的角垫(3)。3.根据权利要求1所述的基于电磁超材料的高精度与大测量范围的微波角位移传感器，其特征在于：所述金属缝隙条(1.5)的宽度为0.9～1.1mm。4.根据权利要求1所述的基于电磁超材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭俊峰，杨河林，金彦，叶辉，周超，刘玉，
申请(专利权)人：武汉市工程科学技术研究院，
类型：发明
国别省市：湖北,42