形成金属氧化物膜的方法和在气体放电管中形成二次电子发射膜的方法技术

一种形成金属氧化物膜的方法，包括：当通过对在管内壁上形成的含有有机金属化合物的涂层膜进行热处理以形成金属氧化物膜时，在热处理之前或与热处理同时对涂层膜进行紫外照射处理或臭氧处理。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
1.专利
本专利技术涉及。更特别地，本专利技术涉及在管内壁形成金属氧化物膜的方法。2.相关技术描述传统已知的在管内壁上形成金属氧化物膜的方法有多种，在这些方法当中，例如，通常使用这样一种方法，包括在管内壁上施用一种含有机金属化合物的涂层溶液以形成涂层膜，并在涂层膜上进行热处理，从而形成金属氧化物膜。但是，上述方法所得金属氧化物膜的问题在于金属氧化物膜的厚度不均匀。这一问题在内径不大于2mm的细管中更为显著。厚度不均匀事实上是由于在对含有有机金属化合物的涂层膜进行热处理过程中，当温度达到有机金属化合物的熔点时，涂层膜的粘度突然降低，致使涂覆在三维表面上的涂层溶液由于重力作用而滴落，从而造成厚度不均匀，而这一涂层膜最终会转化为金属氧化物膜。如果金属氧化物膜的厚度变得不均匀，就会导致膜发生破裂，并且金属氧化物膜所需的一些特征，如二次电子发射特征和阻值也会发生部分变化。出于这一原因，希望提供一种通过使用有机金属化合物对于三维表面——如管内壁——形成厚度均匀的金属氧化物膜的方法，所述的有机金属化合物在热处理后形成金属氧化物膜。专利技术概要根据本专利技术，提供了一种形成金属氧化物膜的方法，该方法包括当通过对管内壁上形成的含有有机金属化合物的涂层膜进行热处理而形成金属氧化物膜时，在热处理之前或与热处理同时对涂层膜进行紫外照射处理或臭氧处理。另外，根据本专利技术，提供了一种在气体放电管中形成二次电子发射膜的方法，该方法包括当通过对玻璃管内壁上形成的含有有机金属化合物的涂层膜进行热处理而形成二次电子发射膜时，在热处理之前或与热处理同时对涂层膜进行紫外照射处理或臭氧处理，其中玻璃管为内径不大于2mm的细长玻璃管。从以下给出的详细描述中，本申请的这些及其它目的将变得更加明显。但是，应当理解这些详细说明和具体实施例虽然表示出本专利技术的优选实施方案，但仅作为示例给出，因为对于本领域技术人员来说，由这些详细说明，在本专利技术的精神和范围内的各种变化及改进将变得显而易见。附图简述附图说明图1(a)-(d)为本专利技术用于形成金属氧化物膜的方法的说明性示意图；图2(a)-(d)为本专利技术用于形成金属氧化物膜的方法的说明性示意图；图3(a)和(b)为本专利技术用于形成金属氧化物膜的方法的说明性示意图；图4为本专利技术用于形成金属氧化物膜的方法中所用设备的说明性示意图；图5为使用了以本专利技术方式在其内壁上形成了二次电子发射膜的气体放电管的显示装置示意图。优选实施方案描述本专利技术一个特征在于通过对涂层膜进行紫外照射或臭氧处理促进涂层膜中有机金属化合物的分解及金属氧化物的聚集，其中涂层膜是通过在三维表面——如管内壁——上施用涂层溶液得到的，该涂层溶液含有有机金属化合物，它在热处理时会变成金属氧化物膜。由于这一特征，即使在随后的热处理中温度达到有机金属化合物的熔点，已部分分解的有机金属化合物将不会达到其熔点，从而在包括这类部分分解化合物的区域中保持了涂层膜的粘度。而且，与上述区域相比，在已进行了进一步分解使得金属氧化膜聚集的区域中仍然保持了较高的粘度。这样，由于涂层膜的粘度甚至在热处理温度下也不会陡然降低，就可能防止涂层膜的热滴落。具体而言，如图1(a)和图2(a)的透视图及图1(b)和图2(b)的截面图所示，通过对管内壁“a”上形成的涂层膜“b”进行紫外照射和臭氧处理，以及热处理，如图1(d)和图2(d)所示，可以得到厚度均匀的金属氧化物膜“c”。在图2(a) 中，参数“d”表示含臭氧气体。相反，在不进行紫外照射或臭氧处理的情况下，如图1(c)和图2(c)所示，金属氧化物膜c的厚度不均匀。现在将对本专利技术进行详细描述。在本专利技术中，首先在管内壁上形成含有有机金属化合物的涂层膜。作为管，可不加任何限制地使用具有各种形状且由各种材料形成的任何管。具体而言，管与侧面垂直的截面除圆形外还可为椭圆形，轨道形，多边形——如四边形或五边形，或不确定形状。另外，管可为直管或弯管。作为管材，可使用玻璃和金属——如铝，铁和铜。而且，当与管侧面垂直截面的开口尺寸(指环形截面的直径，或其它截面形状的最大长度)不大于5mm时，本专利技术特别有效。开口尺寸的优选范围为0.5至5mm，更优选0.5至2mm。管长度优选不低于10cm，更优选为30cm至3m。其次，对于可用于本专利技术的有机金属化合物而言，没有特别的限定，只要其在热处理时能变成金属氧化物并且是可被紫外照射或臭氧处理分解的化合物。这种有机金属化合物的实例包括脂肪酸盐或金属——如镁，铝，钛，锡，钙，硅等——的醇化物。作为金属醇化物，可例举由低级醇——如甲醇，乙醇，正丙醇和异丙醇——与金属组成的醇化物。对于脂肪酸，可例举脂族单羧酸，或脂族多羧酸——如脂族二羧酸、脂族三羧酸和脂族四羧酸。另外，构成脂肪酸的碳链可以是饱和的或不饱和的。而且，碳链可带有取代基。虽然对这种取代基的类型没有特别的限定，但可能在脂肪酸分解或燃烧时残留下来的那些是不希望的。更具体而言，饱和脂族单羧酸的实例包括甲酸，乙酸，丙酸，丁酸，戊酸，己酸，庚酸，辛酸，壬酸，癸酸，正十一烷酸，十二烷酸，正十三烷酸，十四烷酸，正十五烷酸，十六烷酸，十七烷酸和十八烷酸。不饱和脂族单羧酸的实例包括烯属单羧酸，如丙烯酸，丁烯酸，巴豆酸，异巴豆酸，乙烯基乙酸，甲基丙烯酸，戊烯酸，己烯酸，庚烯酸，辛烯酸，癸烯酸，十一烯酸，十二烯酸，十四烯酸，十六烯酸和十八烯酸；炔属单羧酸，如丙炔酸，2-丁炔酸，乙基丙炔酸，丙基丙炔酸，丁基丙炔酸，戊基丙炔酸，十一炔酸(undecinicacid)和硬脂炔酸；二烯属单羧酸，如戊二烯酸，二烯丙基乙酸，香叶酸和癸二烯酸；以及多不饱和单羧酸，如辛三烯酸，亚麻酸和油酸。饱和脂族二羧酸的实例包括草酸，丙二酸，丁二酸，戊二酸，己二酸，庚二酸，辛二酸和癸二酸。不饱和脂族二羧酸的实例包括烯属二羧酸，如丁烯二酸，衣康酸，柠康酸，中康酸，戊烯二酸，二氢粘康酸；和二烯属二羧酸，如粘康酸。在本专利技术中，对于有机金属化合物，优选脂肪酸和金属的盐。这是因为脂肪酸盐加热时易于分解或燃烧，溶剂溶解度高，在分解或燃烧后能提供质密的膜，易于处理(包括安全性)并且廉价，而且易于与各种金属成盐。另外，在脂肪酸中，优选使用具有2-19个碳的饱和脂族单羧酸。特别优选的脂肪酸为丁酸，戊酸，己酸，庚酸和壬酸。含有有机金属化合物的涂层膜可通过将含有有机金属化合物的涂层溶液涂覆在管内壁上形成。涂层溶液至少由有机金属化合物和有机溶剂组成，而且为了把所施用组合物的粘度调节到可进行最优操作的粘度，可加入增稠剂。涂层溶液的粘度优选为1-100000cps，更优选100-1000cps。在本说明书中，粘度值测量使用螺旋粘度计。对于有机溶剂，例如，可以使用伯醇，如甲醇，乙醇，1-丙醇，1-丁醇，1-戊醇，1-己醇，1-庚醇等。这些有机溶剂可单独或组合使用。对于增稠剂，可以列举的有伯醇，如乙二醇，丙二醇，丁二醇，己二醇，二甘醇，双丙二醇，双己二醇(dihexylene glycol)，乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚，乙二醇单丙醚，乙二醇单丁醚，丙二醇单甲醚，丙二醇单乙醚，丙二醇单丙醚，丙二醇单丁醚，二甘醇单甲醚，二甘醇单乙醚，二甘醇单丙醚和二甘醇单丁醚，以及丙二醇单甲醚乙酸酯，丙二醇单乙醚乙酸酯，α-terpionol，乙二醇二甲醚，乙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：山田齐，渡海章，石本学，中泽明，粟本健司，筱田传，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：