用于真空镀膜的弹性线状掩膜器制造技术

一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，主要包含：带有蒸发窗口的蒸发模具底座，带有定位槽的定位柱，弹力线通过定位柱定位构成掩膜线，其特征在于在每根掩膜线的两端均连接有拉簧。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，主要适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条纹以及金属薄膜电极线条的制备。
技术介绍
制备电致发光元件的有机薄膜彩色线条，或金属薄膜的电极线条，均需要非常精密的掩膜器(或称掩膜板，或称掩膜具)。因此，掩膜器的精度，重复率以及分辩率的好与否，对于能否制备出合格率高的电致发光元件是十分重要的。在先技术(1)，中国专利ZL0013136.0提供了一种真空镀膜的条状掩膜板。掩膜板的条线是通过铁条上的齿和刻槽固定的合金丝形成的。合金丝的两端是焊死在铁条背面的焊锡上。分辩率能够做到3条线/mm。但因为合金丝是焊死的，经过真空蒸镀过一次后，合金丝松塌下来，就无法再使其绷紧绷直。也就无法保证掩膜条线间最初的相互平行和固定等间距的要求。因此，要经常更换掩膜板，造成了很大的浪费，更何况为确保焊接时，要保持合金丝等间距的平行度，加工的难度也是比较大的。在先技术(2)，中国专利ZL3116759.4提供了一种真空蒸镀线状掩膜的掩膜板，包含有固定框架，弹性线，置于固定框架相对平行的带有定位槽和顶紧螺丝的两个定位柱，弹性线通过两定位柱上的定位槽定位绕成平直线组的掩膜线。弹性线的两端分别由固定螺钉固定在固定框架上。通过调节固定螺丝使弹性线拉紧拉直。通过调节顶紧螺丝使弹性线组绷紧绷直。与在先技术(1)相比，在先技术(2)的精度、分辩率、使用率和寿命都提高了。但不足的是通过调节固定螺钉很难使每根掩膜线都拉得很直；通过调节顶紧螺丝也很难使掩膜线组中每根掩膜线都绷紧绷直；而且掩膜线有上下两层，基板只能从边上插入使用起来不太方便。
技术实现思路
为了克服上述在先技术中存在的不足，本专利技术提供一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器。能够使每条掩膜线都很容易地拉紧拉直、使每根掩膜线都绷紧绷直。本专利技术为了达到上述目的，所采取的技术方案是掩膜器中主要包含带有蒸发窗口的真空镀膜底座，带有定位槽的定位柱。弹力线通过定位柱上的定位槽定位构成掩膜线。在每根掩膜线的两端均连接有拉簧。本专利技术的显著优点在于每根掩膜线的两端均连接有拉簧。当掩膜线一旦松塌了，掩膜线两端拉簧的弹力就会自动地使掩膜线拉紧拉直。因为每根掩膜线都连接到拉簧上，所以每根掩膜线都能够始终保持在绷紧绷直的状态中。即使其中个别的线发生变形也能自动恢复。无须再像在先技术中需要调节螺钉或螺丝。而且，在先技术中即使使用了调节螺钉或螺丝也很难保证每根掩膜线都能够拉紧拉直。所以，本专利技术不仅提高了真空镀膜的精度、分辩率和重复率，同时也易于清洗提高了掩膜器的使用寿命。大大节约了人力和物力，降低了成本，适宜批量生产。附图说明图1是本专利技术弹性线状掩膜器的一种实施例结构示意图。图2是图1中A-A面剖视图。图3是本专利技术弹性线状掩膜器另一种实施例的结构示意图。图4是图3中B-B面剖视图。具体实施例方式下面结合附图，详细说明本专利技术掩膜器的结构特征。图1、图2是实施本专利技术的一种实例。如图1、图2所示，本专利技术的掩膜器，主要包含带有蒸发窗口15的蒸发模具底座1，在蒸发窗口15相对的两侧置有相互平行的带定位槽的两个定位柱3。在两个定位柱3的外侧与其平行地置有两个拉线杆2。弹力线通过两个定位柱3上的定位槽定位绕成平行平直的掩膜线4。每根弹力线的两端都分别连接在一根绕过拉线杆2的拉簧5的两端上。在蒸发模具底座1上还置有压板架立柱10，由压板固定螺钉6固定在压板架立柱10上的带有压紧螺丝7的压板架上板8。当被蒸镀样板12置于掩膜线4组上时，盖在背面的上压板13由压紧螺丝7顶牢。为了放置方便，蒸发模具底座1下面带有垫脚11。上述构成掩膜线的每根弹力线的两端都与一根拉簧的两端相连。因此，每根掩膜线都被拉簧的弹力拉紧拉直。即使由于蒸镀或其他原因会使掩膜线松塌，而有拉簧的弹力也将自动地使其拉紧拉直。所以，整个掩膜线4始终是绷紧绷直的。图3、图4所示的是实施本专利技术的另一种具体结构。在带有蒸发窗口15的蒸发模具底座1上，置有带定位槽的定位柱3，还置有拉簧模片17。弹性细模线通过定位柱3上的定位槽定位构成掩膜线4。每根掩膜线4的两端分别与一根拉簧5的一端相连。拉簧5的另一端连接到拉簧模片17上。上面所说的带有蒸发窗口15的蒸发模具底座1是中间开口的块状物体，如图1所示的实施例，或者是中间开口的板状物体，或者是中间开口的片状物体。如图2所示的实施例。所说的带定位槽的定位住3是带定位槽的长柱形，如图1所示的，或是带定位槽的板条形，或是带定位槽的长片形，如图2所示。权利要求1.一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，主要包含带有蒸发窗口的蒸发模具底座，带有定位槽的定位柱，弹力线通过定位柱定位构成掩膜线，其特征在于在每根掩膜线的两端均连接有拉簧。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，其特征在于所说的掩膜线(4)的两端分别与一根绕过置于蒸发模具底座(1)上与两定位柱(3)相互平行的拉线杆(2)的拉簧(5)的两端相连。3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，其特征在于所说的掩膜线(4)的两端分别连接有一根拉簧(5)，而拉簧(5)的另一端连接在置于蒸发模具底座(1)的拉簧模片(17)上。4.根据权利要求1、或2、或3所述的用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，其特征在于所说的带有蒸发窗口(15)的蒸发模具底座(1)是中间开口的块状物体，或者是中间开口的板状物体，或者是中间开口的片状物体。5.根据权利要求1、或2、或3所述的用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，其特征在于所说的定位柱(3)是带定位槽的长柱形，或者是带定位槽的板条形，或者是带定位槽的长片形。全文摘要一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，特别适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条纹以及金属薄膜电极线条的制备。主要技术特征是掩膜线的两端连接有拉簧。靠拉簧的弹力将每根掩膜线都时时刻刻地拉紧拉直，绷紧绷直。提高了真空镀膜的精度、分辩率和重复率。提高了掩膜器的使用寿命，节约了人力和物力。文档编号C23C14/04GK1546721SQ200310109330公开日2004年11月17日 申请日期2003年12月12日 优先权日2003年12月12日专利技术者张志林 申请人:上海大学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张志林，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：