磁传感器用电感元件以及具备其的磁传感器制造技术

本发明专利技术的目的在于对于磁通门型磁传感器用电感元件实行小型化。本发明专利技术的磁传感器用电感元件具备被设置于绝缘基板(110)上的可饱和磁性薄板磁芯(130)、被卷绕于可饱和磁性薄板磁芯(130)的周围的线圈导体(140)。可饱和磁性薄板磁芯(130)包含在x方向上直线延伸的第1区间(131)和曲折形状的第2以及第3区间(132,133)，线圈导体140被卷绕于第1区间(131)。根据本发明专利技术，因为可饱和磁性薄板磁芯(130)包含曲折形状的区间，所以不用扩大物理长度就能够扩大实效磁路长度。

【技术实现步骤摘要】
磁传感器用电感元件以及具备其的磁传感器
本专利技术涉及磁传感器用电感元件以及具备其的磁传感器，特别是涉及磁通门(fluxgate)型磁传感器用电感元件以及具备其的磁传感器。
技术介绍
作为检测外部磁场的磁传感器众所周知有磁通门(fluxgate)型磁传感器。在专利文献1以及2中公开有磁通门型磁传感器的例子。专利文献1以及2所记载的磁通门型磁传感器具备被形成于基板上的磁通门(fluxgate)磁芯、被卷绕于该磁通门磁芯周围的螺线管线圈。这里面就专利文献1所记载的磁通门(fluxgate)型磁传感器而言，磁通门磁芯在一个方向上直线延伸，由此就能够检测在该方向上所产生的磁通。另外，就专利文献2所记载的磁通门型磁传感器而言，磁通门磁芯为环路形状(loopshape)，由此就构成了闭磁路。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2010/134348号专利文献2：特开2009-2818号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题然而，专利文献1所记载的磁通门型磁传感器因为磁通门磁芯具有直线形状，所以为了抑制反磁场的影响而有必要在一个方向上增长磁通门磁芯的长度，因而也就会有所谓元件尺寸大型化的问题。即使是对于专利文献2所记载的磁通门型磁传感器来说也是为了提高检测灵敏度而有必要对环路形状的磁通门磁芯实行大型化，最终仍然是元件尺寸大型化。因此，本专利技术的目的在于提供一种小型而且检测灵敏度高的磁通门型磁传感器用电感元件以及具备该电感元件的磁传感器。解决技术问题的手段本专利技术所涉及的磁传感器用电感元件的特征在于：具备：基体；可饱和磁性薄板磁芯，被设置于所述基体上；线圈导体，被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的周围；所述可饱和磁性薄板磁芯包含在第1方向上直线延伸的第1区间和曲折形状(meandershape)的第2区间，所述线圈导体被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间。另外，本专利技术所涉及的磁传感器的特征在于：具备以上所述的磁传感器用电感元件、被连接于所述线圈导体的检测电路。根据本专利技术，因为可饱和磁性薄板磁芯包含在直线第1区间和曲折形状(meandershape)的第2区间，所以不用扩大物理长度就能够扩大实效磁路长度。而且，因为将线圈导体卷绕于直线第1区间，所以能够高效率地使线圈导体与可饱和磁性薄板磁芯进行磁耦合。由此，提供一种小型而且检测灵敏度高的磁通门型磁传感器用电感元件以及具备该电感元件的磁传感器成为可能。在本专利技术中，所述可饱和磁性薄板磁芯可以进一步包含曲折形状(meandershape)的第3区间，所述第1区间的两端分别被连接于所述第2以及第3区间。由此，因为曲折形状(meandershape)的区间被设置多个，所以既抑制了元件尺寸的大型化又能够进一步扩大实效磁路长度。或者，所述可饱和磁性薄板磁芯可以进一步包含在所述第1方向上直线延伸的第4区间，所述第2区间的两端分别被连接于所述第1以及第4区间。由此，因为直线状区间被设置多个，所以能够增大线圈导体的匝数。在本专利技术中，也可以为，所述基体具有包含与所述第1方向垂直的第2方向上的宽度为第1宽度的第1搭载区域、所述第2方向上的宽度为大于所述第1宽度的第2宽度的第2搭载区域的形状，所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间被设置于所述基体的所述第1搭载区域上，所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第2区间被设置于所述基体的所述第2搭载区域上，所述线圈导体被卷绕于所述基体的所述第1搭载区域的周围。由此，提供一种使用了块状(bulkshape)基体的简单的磁传感器用电感元件就成为可能。在该情况下，优选进一步具备被设置于所述基体的所述第2搭载区域并且被连接于所述线圈导体端部的端子电极。由此，提供一种表面安装型磁传感器用电感元件就成为可能。另外，本专利技术所涉及的磁传感器用电感元件也可以进一步具备被固定于所述基体的所述第2搭载区域并且使在所述第2方向上所产生的磁通绕开的磁屏蔽。由此，提高相对于第1方向的磁通的选择性就成为可能。在本专利技术中，也可为，所述基体包含被层叠的多个绝缘基板，所述可饱和磁性薄板磁芯被形成于所述多个绝缘基板所具有的第1表面，所述线圈导体包含分别被形成于与所述多个绝缘基板所具有的所述第1表面不同的第2以及第3表面的第1以及第2平面导体图形、和贯通所述多个绝缘基板中的至少一个来设置并且连接所述第1平面导体图形和所述第2平面导体图形的第1通孔导体。由此，使用层叠工艺来制作第1磁传感器用电感元件就成为可能。在此情况下，所述多个绝缘基板至少包含按下述顺序被层叠的第1、第2、第3以及第4绝缘基板，优选：所述第1表面位于所述第2绝缘基板与所述第3绝缘基板之间；所述第2表面位于所述第1绝缘基板与所述第2绝缘基板之间；所述第3表面位于所述第3绝缘基板与所述第4绝缘基板之间。由此，第1～第3表面因为不露出于外部，所以提高产品的可靠性成为可能。另外，本专利技术所涉及的磁传感器用电感元件也可以进一步具备被形成于与所述多个绝缘基板所具有的所述第1～第3表面不同的第4表面并且测定对象电流流过的母线(busbar)层。由此，将由流到母线层的测定对象电流而产生的磁场施加到可饱和磁性薄板磁芯就成为可能。在本专利技术中，也可为，所述可饱和磁性薄板磁芯包含第1以及第2可饱和磁性薄板磁芯，所述线圈导体包含第1以及第2线圈导体，所述第1线圈导体被卷绕于所述第1可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间，所述第2线圈导体被卷绕于所述第2可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间，所述多个绝缘基板进一步具有与所述第1～第4表面不同的第5～第7表面，所述第1可饱和磁性薄板磁芯被形成于所述第1表面，所述第1线圈导体包含分别被形成于所述第2以及第3表面的所述第1以及第2平面导体图形、所述第1通孔导体，所述第2可饱和磁性薄板磁芯被形成于所述第5表面，所述第2线圈导体包含分别被形成于所述第6以及第7表面的第3以及第4平面导体图形、和贯通所述多个绝缘基板中的至少一个来设置并连接所述第3平面导体图形和所述第4平面导体图形的第2通孔导体，所述第4表面位于所述第1～第3表面与所述第5～第7表面之间。根据本专利技术，既抑制了元件的平面尺寸又根据流到母线层的测定对象电流获得差分信号成为可能。在本专利技术中，所述可饱和磁性薄板磁芯即使以以下所述形式进行构成也是可以的，即，包含第1以及第2可饱和磁性薄板磁芯，所述线圈导体包含第1以及第2线圈导体，所述第1线圈导体被卷绕于所述第1可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间，所述第2线圈导体被卷绕于所述第2可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间，所述第1以及第2可饱和磁性薄板磁芯都被形成于所述第1表面，所述第1线圈导体包含分别被形成于所述第2以及第3表面的所述第1以及第2平面导体图形、所述第1通孔导体，所述第2线圈导体包含分别被形成于所述第2以及第3表面的第3以及第4平面导体图形、贯通所述多个绝缘基板中的至少一个来设置并连接所述第3平面导体图形和所述第4平面导体图形的第2通孔导体，所述母线层包含从层叠方向来看与所述第1可饱和磁性薄板磁芯重叠的第1母线图形、从层叠方向来看与所述第2可饱和磁性薄板磁芯重叠的第2母线图形，在所述第1以及第2母线图形上所述测定对象电流以互相相反的方向进行流动。根据本专利技术，既抑制了元件的高度又根据流到母线层的测定对象电流获得差分信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁传感器用电感元件，其特征在于，具备：基体；可饱和磁性薄板磁芯，被设置于所述基体上；以及线圈导体，被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的周围，所述可饱和磁性薄板磁芯包含在第1方向上直线延伸的第1区间和曲折形状的第2区间，所述线圈导体被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间。

【技术特征摘要】
2016.11.16 JP 2016-2229091.一种磁传感器用电感元件，其特征在于，具备：基体；可饱和磁性薄板磁芯，被设置于所述基体上；以及线圈导体，被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的周围，所述可饱和磁性薄板磁芯包含在第1方向上直线延伸的第1区间和曲折形状的第2区间，所述线圈导体被卷绕于所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间。2.如权利要求1所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，所述可饱和磁性薄板磁芯进一步包含曲折形状的第3区间，所述第1区间的两端分别被连接于所述第2以及第3区间。3.如权利要求1所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，所述可饱和磁性薄板磁芯进一步包含在所述第1方向上直线延伸的第4区间，所述第2区间的两端分别被连接于所述第1以及第4区间。4.如权利要求1所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，所述基体具有包含与所述第1方向垂直的第2方向上的宽度为第1宽度的第1搭载区域、和所述第2方向上的宽度为大于所述第1宽度的第2宽度的第2搭载区域的形状，所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第1区间被设置于所述基体的所述第1搭载区域上，所述可饱和磁性薄板磁芯的所述第2区间被设置于所述基体的所述第2搭载区域上，所述线圈导体被卷绕于所述基体的所述第1搭载区域的周围。5.如权利要求4所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，进一步具备被设置于所述基体的所述第2搭载区域并且被连接于所述线圈导体的端部的端子电极。6.如权利要求4所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，进一步具备被固定于所述基体的所述第2搭载区域并且使在所述第2方向上所产生的磁通绕开的磁屏蔽。7.如权利要求1所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，所述基体包含被层叠的多个绝缘基板，所述可饱和磁性薄板磁芯被形成于所述多个绝缘基板所具有的第1表面，所述线圈导体包含分别被形成于与所述多个绝缘基板所具有的所述第1表面不同的第2以及第3表面的第1以及第2平面导体图形、和贯通所述多个绝缘基板中的至少一个来设置并且连接所述第1平面导体图形和所述第2平面导体图形的第1通孔导体。8.如权利要求7所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，所述多个绝缘基板至少包含依次被层叠的第1、第2、第3以及第4绝缘基板，所述第1表面位于所述第2绝缘基板与所述第3绝缘基板之间；所述第2表面位于所述第1绝缘基板与所述第2绝缘基板之间；所述第3表面位于所述第3绝缘基板与所述第4绝缘基板之间。9.如权利要求7所述的磁传感器用电感元件，其特征在于，进一步具备被形成于与所述多个绝缘基板所具有的所述第1～第3表面不同的第4表面并且测定对象电流流过的母线层。10.如权利要求9所述的磁传感器用电感元件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨村尚宏，长田贵，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP