【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种碳系薄膜,其中,包括:包含非晶体碳且沿膜厚方向伸长的多个柱状的第一相;和包含石墨结构且存在于所述第一相之间的第二相,且从以下的a)~e)中选择的至少一个成立:a)所述第二相比所述第一相每单位体积包含更多的石墨结构;b)所述第二相的密度比所述第一相的密度大;c)所述第二相的电阻率比所述第一相的电阻率低;d)所述第二相的弹性模量大于或等于所述第一相的弹性模量;e)在所述第二相中,所述石墨结构的基面沿膜厚方向取向。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:岩村荣治,
申请(专利权)人:独立行政法人科学技术振兴机构,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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