【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CVD金刚石膜连续制备系统,包括沉积装置(64),沉积装置(64)由沉积腔体(44)、罩盖(32)、衬底工作台(38)、底座(39)、热灯丝阵列(34)、匀流气盒(31)组成,罩盖(32)安装在沉积腔体(44)的上部,衬底工作台(38)、底座(39)、热灯丝阵列(34)均安装在沉积腔体(44)中,热灯丝阵列(34)位于衬底工作台(38)的上部,衬底工作台(38)安装在底座(39)上,匀流气盒(31)位于热灯丝阵列(34)的上部,其特征是在所述的沉积腔体(44)的一侧安装有一与其内腔(65)相通的过渡腔体(66),过渡腔体(66)连接有与其内腔(67)相通的装卸腔体(18);在过渡腔体(66)的内腔(67)中安装有弹性真空密封门(50),装卸腔体(18)上安装有便于衬底进出的铰链门(17),底座(39)安装在分别穿过装卸腔体(18)、过渡腔体(66)后伸入沉积腔体(44)的内腔(65)中的导杆(41)的一端上,导杆(41)的另一端从装卸腔体(18)的内腔伸出装卸腔体(18)外并连接有驱动装置(6)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:卢文壮,左敦稳,徐锋,钟磊,王珉,黎向锋,林欢庆,陈兴峰,戴军之,宋海薇,张敏,
申请(专利权)人:南京航空航天大学,
类型:发明
国别省市:84[中国|南京]
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