蚀刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。本实用新型专利技术设置干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻装置
本技术涉及一种蚀刻装置。
技术介绍
在印刷线路板领域，以手机、平板电脑为代表的移动电子产品轻薄化的技术驱动，促使精细线路不断发展,这些电子产品所采用的高密度互连线路板线路设计从3/3mil、2.4/2.4mil、到近期量产的2/2mil，产品结构不断升级。时至今日，又面临1.6/1.6mil更加精细线路的技术需求。为应对精细线路的制作，开发了适合精细线路制作工艺。但由于精细线路间距小、密度高，增加了蚀刻的难度，在线路间距小的地方存在蚀刻能力不足的现象，导致产品良率较低，从而需要进行制作工艺的优化和改良。
技术实现思路
本技术为解决上述技术问题，提供一种蚀刻装置。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案实现：一种蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。根据本技术的一个实施方案，所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。根据本技术的一个实施方案，所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀，每个风刀连接一台鼓风机。根据本技术的一个实施方案，所述的风刀的出风口为长条形或圆形的孔。根据本技术的一个实施方案，所述的传送滚轮的底部设有托水盘，托水盘中盛有流动的水，水流的方向为逆传送方向。根据本技术的一个实施方案，所述的托水盘中的水的深度为1/3传送滚轮的高度。根据本技术的一个实施方案，所述的蚀刻槽包括：母液暂存槽、第一三芯过滤器和第二三芯过滤器，其中：母液暂存槽与第一三芯过滤器相连通，第一三芯过滤器与第二三芯过滤器相连通，第二三芯过滤器与母液暂存槽相连通。根据本技术的一个实施方案，所述的第一三芯过滤器为棉芯，第二三芯过滤器为碳芯。本技术设置干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。设置托水盘，对传送滚轮进行冲洗，解决传送滚轮上异物粘附和有机污染发粘的问题。针对蚀刻槽，优化过滤系统，将一组三芯过滤器，改为两组三芯过滤器，并分别使用棉芯和碳芯进行过滤，加强过滤效果，减少槽液内油性物质和板碎杂物的污染。附图说明图1为干燥装置的结构示意图；图2为托水盘的俯视图；图3为托水盘的前侧视图；图4为托水盘的左侧视图；图5为蚀刻槽的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细的描述：如图1所示，本实施例蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀1，每个风刀1连接一台鼓风机2。所述的风刀1的出风口为长条形或圆形的孔3。传送产品从上、下对称设置的一对风刀1中通过，风刀1对传送产品进行吹干。干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。如图2、图3和图4所示，所述的传送滚轮5的底部设有托水盘4，托水盘4中盛有流动的水，水流的方向为逆传送方向。在沿着传送方向一侧设置进水口6。所述的托水盘4中的水的深度为1/3传送滚轮5的高度。设置托水盘4，托水盘4中流动的水对传送滚轮5进行冲洗，解决传送滚轮5上异物粘附和有机污染发粘的问题。如图5所示，所述的蚀刻槽包括：母液暂存槽7、第一三芯过滤器8和第二三芯过滤器9，其中：母液暂存槽7与第一三芯过滤器8相连通，第一三芯过滤器8与第二三芯过滤器9相连通，第二三芯过滤器9与母液暂存槽7相连通。所述的第一三芯过滤器8为棉芯，第二三芯过滤器9为碳芯。槽液从母液暂存槽7依次通过第一三芯过滤器8和第二三芯过滤器9过滤回到母液暂存槽7。针对蚀刻槽，优化过滤系统，将一组三芯过滤器8，改为两组三芯过滤器8，并分别使用棉芯和碳芯进行过滤，加强过滤效果，减少槽液内油性物质和板碎杂物的污染。本技术中的实施例仅用于对本技术进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本技术保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻装置，其特征在于，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。3.根据权利要求1或2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀，每个风刀连接一台鼓风机。4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的风刀的出风口为长条形或圆形的孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：武瑞黄，高群锋，黄伟，边冬，
申请(专利权)人：上海美维电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31