一种用于DLC膜的表面处理工艺制造技术

一种超低摩擦薄膜表面处理工艺，首先，将含硫有机化合物作为硫化剂溶于蒸馏水中制成硫化溶液，然后在硫化溶液中加入全氟表面活性剂；其次，将ＤＬＣ膜置于硫化溶液中，在电压为１－５００Ｖ，频率为１－１００Ｈｚ下电解２－１０小时，使ＤＬＣ膜在基体上成灰色均匀分布为止；最后，将电解后的试样置于真空室内退火，固化即可。经此处理后薄膜的摩擦系数达到０．００６，是ＤＬＣ膜１／１０甚至１／１００，可应用于所有要求润滑、耐磨的支承部件。本方法处理效率高，适用各种尺寸的、形状复杂的表面，所处理的表面适应性强，可用于各种气候下工作的零部件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超低摩擦薄膜表面处理工艺，其特征在于，按如下步骤进行：１）首先，将含硫有机化合物作为硫化剂溶于蒸馏水中配制成浓度为０．４－１ｇ／ｍｌ的硫化溶液，然后在硫化溶液中加入其体积比为１－５％的全氟表面活性剂；２）其次，将ＤＬＣ膜置于硫化溶液中，在电压为１－５００Ｖ，频率为１－１００Ｈｚ下电解２－１０小时，使ＤＬＣ膜在基体上成灰色均匀分布为止；３）最后，将电解后的试样置于真空室内在真空度为６×１０↑［－２］Ｐａ时升温至３００℃－４００℃真空退火，固化即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董光能，曾群锋，张俊锋，毛军红，谢友柏，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：87[]