一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、横向输送机构、蒸发沉积机构及纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完成蒸发沉积机构的沉积喷头相对于基板进行全平面的镀膜。具有可控性强、膜厚的均匀性好、结构紧凑及工作效率高的优点。

A vacuum coating machine for large area thermal evaporation deposition of thin film solar cell absorbing layer

The invention discloses a vacuum coating machine for the absorption layer of a thin film solar cell with large area heat evaporation, including a vacuum chamber, a continuous feeding mechanism, a transverse conveying mechanism, an evaporative deposition mechanism and a longitudinal moving mechanism, and a continuous swing feeding system using a continuous feeding mechanism to implement the powder material and an evaporative deposition mechanism. The powder material is fully vaporized and deposited, which is finally ejected by the small hole of the deposition nozzle, forming a lotus shaped air flow evenly on the substrate. The horizontal movement of the horizontal transport mechanism and the longitudinal moving mechanism control the horizontal horizontal movement of the interior substrate of the vacuum chamber and the horizontal longitudinal motion of the evaporative deposition mechanism relative to the substrate, and the evaporation is completed. The deposition spray head of the deposition mechanism is plated on the substrate in full plane. The utility model has the advantages of strong controllability, good uniformity of film thickness, compact structure and high work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机
本专利技术涉及真空镀膜
，尤其是一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机。
技术介绍
随着薄膜太阳能电池的快速发展，制备大面积的薄膜太阳能电池吸收层将显得迫切需要，现有技术的镀膜设备大部分点源沉积，但是设计时点源相对固定，故沉积也就局限于较小面积的沉积，同时点源沉积的镀膜膜厚出现两边薄中间厚的现象，就会导致膜厚均匀性较差。虽然还有一小部分针对这方面的装置有采用多个点源排列的方式解决膜厚均匀性较差的问题，但是针对不同的薄膜太阳能吸收层，点源的排布和点源的结构设计就需要同时做出更改，通用性较差，实用性不强，无法实现大面积基板均匀沉积的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术的不足而提供的一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机。本专利技术采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，其特征在于它包括真空腔室（1）、连续送料机构（2）、横向输送机构（3）、蒸发沉积机构（4）及纵向移动机构（5）；所述真空腔室（1）为后门板上设有抽真空装置（104）、顶部设有送料机构座（106）、波纹管槽及纵向电机座（107）的矩形腔体；所述连续送料机构（2）由送料支座（201）、弹性波纹管（202）、送料电机（203）及储料腔（205）构成；所述储料腔（205）为一端设有密封法兰上盖（207）及密封法兰螺母（206）、另一端设有阀门开关（208）及波纹管接口的筒体，筒体外侧径向铰接于送料支座（201）上，送料电机（203）设于送料支座（2...

【技术特征摘要】
1.一种大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，其特征在于它包括真空腔室（1）、连续送料机构（2）、横向输送机构（3）、蒸发沉积机构（4）及纵向移动机构（5）；所述真空腔室（1）为后门板上设有抽真空装置（104）、顶部设有送料机构座（106）、波纹管槽及纵向电机座（107）的矩形腔体；所述连续送料机构（2）由送料支座（201）、弹性波纹管（202）、送料电机（203）及储料腔（205）构成；所述储料腔（205）为一端设有密封法兰上盖（207）及密封法兰螺母（206）、另一端设有阀门开关（208）及波纹管接口的筒体，筒体外侧径向铰接于送料支座（201）上，送料电机（203）设于送料支座（201）上，送料电机（203）的输出轴经曲柄连杆（204）与储料腔（205）的波纹管接口铰接，弹性波纹管（202）的一端设于储料腔（205）的波纹管接口上；所述蒸发沉积机构（4）由保温石墨（401）、螺旋气化管（404）、沉积腔（405）、绝缘石英固定板（409）及石墨加热棒（408）构成；所述沉积腔（405）的周边设有数个惰性气体孔、底部设有沉积喷头（406）；所述保温石墨（401）由三瓣围合成一空心腔体，沉积腔（405）设于空心腔体底部；所述螺旋气化管（404）设于空心腔体内，螺旋气化管（404）的进口端伸出空心腔体顶部，螺旋气化管（404）的出口端设于沉积腔（405）内；所述保温石墨（401）与石英固定板（409）连接；所述石墨加热棒（40...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶加华，郭一欣，余杰金，张俏，石富文，左少华，江锦春，敬承斌，杨平雄，褚君浩，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31